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一种玻璃基板蚀刻装置，包括反应室、位于反应室内用于将玻璃基板垂直固定住的固定装置、与反应室相通的药液存储罐和与药液存储罐相通的药液循环系统，药液循环系统包括若干个喷嘴，其中所述喷嘴在每块玻璃基板的上方均布成一排。本发明的玻璃基板蚀刻装置将喷...该专利属于满纳韩宏电子科技（南京）有限公司;烟台韩宏电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过满纳韩宏电子科技（南京）有限公司;烟台韩宏电子科技有限公司授权不得商用。