【技术实现步骤摘要】
本申请涉及晶圆搬移的，尤其涉及一种用于晶圆搬运的机械臂。
技术介绍
1、现有技术中，晶圆传输装置通常采取托举式或者负压式吸片的方式取片，即利用吸盘原理将半导体晶片吸附于石英或陶瓷手指上，并通过机械臂的伸缩、旋转和升降等的动作搬运半导体晶片，便于对晶圆的拿取，提高工作效率。
2、进一步的，现有的晶圆传输装置通过双eef控制中心，控制晶圆传输装置的行走以及对机械手臂的伸缩、旋转和升降等的动作搬运晶圆，节省传输时间，提高工作效率。
3、为了解决上述问题，现有技术中专利申请号为cn202310491328.7的专利公布了一种大角度运动末端执行机构，包括：第一末端执行器以及第二末端执行器；第一传动组件以及第二传动组件，第一传动组件包括第一空心转轴，第二传动组件包括第二空心转轴，第二空心转轴套设于第一空心转轴上，第一末端执行器以及第二末端执行器分别与第一空心转轴以及第二空心转轴相连；第一限位结构，第一限位结构包括开设于第一末端执行器及第二末端执行器上的第一弧形限位槽以及第二弧形限位槽，及两端分别活动设置于第一弧形限位槽以及第...
【技术保护点】
1.一种用于晶圆搬运的机械臂，其特征在于，包括伸缩臂以及转动设置于所述伸缩臂末端的第一夹爪和第二夹爪；
2.根据权利要求1所述的机械臂，其特征在于，所述第一走线通道的一端贯通至所述第一夹爪内部，另一端贯通整个所述第一传动组件，并连通至所述伸缩臂内部；
3.根据权利要求2所述的机械臂，其特征在于，所述伸缩臂内部设置有第一走线层和第二走线层；
4.根据权利要求1所述的机械臂，其特征在于：所述伸缩臂包括第一旋转臂和第二旋转臂；
5.根据权利要求4所述的机械臂，其特征在于，所述第一驱动组件通过所述第一传动轴独立驱动所述第一夹爪转...
【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆搬运的机械臂，其特征在于，包括伸缩臂以及转动设置于所述伸缩臂末端的第一夹爪和第二夹爪；
2.根据权利要求1所述的机械臂，其特征在于，所述第一走线通道的一端贯通至所述第一夹爪内部，另一端贯通整个所述第一传动组件，并连通至所述伸缩臂内部；
3.根据权利要求2所述的机械臂，其特征在于，所述伸缩臂内部设置有第一走线层和第二走线层；
4.根据权利要求1所述的机械臂，其特征在于：所述伸缩臂包括第一旋转臂和第二旋转臂；
5.根据权利要求4所述的机械臂，其特征在于，所述第一驱动组件通过所述第一传动轴独立驱动所述第一夹爪转动，所述第二驱动组件通过所述第二传动轴独立驱动所述第二夹爪转动；...
【专利技术属性】
技术研发人员：董彬，包蕊，周锐，刘华鹏，
申请(专利权)人：无锡富创得智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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