【技术实现步骤摘要】
本技术涉及镀膜，尤其涉及一种用于镀膜设备的料盒组件及升华装置。
技术介绍
1、派瑞林(parylene)是六十年代中期美国union carbide co.开发应用的一种新型敷形涂层材料，它采用真空气相沉积工艺制备，由活性小分子在基材表面生成敷形的聚合物薄膜涂层。派瑞林是一种保护性高分子材料，中文名聚对二甲苯，根据分子结构的不同，派瑞林可分为n型、c型、d型、f型、ht型等多种类型。因其在真空条件下制备，派瑞林活性分子的良好穿透力能在电子元件内部、底部，周围形成无针孔，厚度均匀的透明绝缘涂层，给元件提供一个完整的优质防护涂层，抵御酸碱、盐雾、霉菌及各种腐蚀性气件的侵害。
2、目前，现有粉末状态的蒸发材料(如派瑞林)，在镀膜时，需要对其进行升华，然而在升华过程中，由于受热不均匀，导致升华效率低且不均匀，影响镀膜品质。
技术实现思路
1、本技术解决的技术问题是在升华过程中，由于受热不均匀，导致升华效率低且升华不均匀，影响镀膜品质。
2、为解决上述技术问题，本技术实施例提供一种用于镀膜设备的料盒组件，包括：盒体，具有用于容置镀膜粉料的容置腔体，所述容置腔体的顶部开放；导热隔件，位于所述容置腔体内，所述导热隔件将所述容置腔体分隔成多个子腔体。
3、可选的，所述导热隔件为多孔结构件，所述多孔结构件具有多个孔洞，每个孔洞形成一个子腔体。
4、可选的，所述孔洞的底部开口至顶部开口的方向与所述容置腔体的底部至顶部的方向平行。
5、可选的，
6、可选的，所述镂空开孔的孔径小于所述孔洞的最小尺寸。
7、可选的，所述导热隔件与所述盒体热耦合。
8、可选的，所述导热隔件与所述容置腔体的顶部齐平或者低于所述容置腔体的顶部。
9、可选的，所述盒体的侧壁上设置有拉手。
10、本技术还提供一种用于镀膜设备的升华装置，包括：升华管；上述任一种料盒组件，所述料盒组件位于所述升华管内。
11、可选的，所述盒体与所述升华管热耦合，且所述盒体的外表面与所述升华管的内壁的形状适配。
12、与现有技术相比，本技术实施例的技术方案具有以下有益效果：
13、通过导热隔件将盒体的容置腔体分隔成多个子腔体，镀膜粉料容置于子腔体内，由于导热隔件导热，从而可以增加镀膜粉料的受热面积，提高镀膜粉料的受热均匀性，进而提高升华效率和均匀性，有助于提高镀膜品质。
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1.一种用于镀膜设备的料盒组件，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的料盒组件，其特征在于，所述导热隔件为多孔结构件，所述多孔结构件具有多个孔洞，每个孔洞形成一个子腔体。
3.如权利要求2所述的料盒组件，其特征在于，所述孔洞的底部开口至顶部开口的方向与所述容置腔体的底部至顶部的方向平行。
4.如权利要求2所述的料盒组件，其特征在于，还包括匀料板，盖于所述盒体，所述匀料板具有多个均匀分布的镂空开孔。
5.如权利要求4所述的料盒组件，其特征在于，所述镂空开孔的孔径小于所述孔洞的最小尺寸。
6.如权利要求1所述的料盒组件，其特征在于，所述导热隔件与所述盒体热耦合。
7.如权利要求1所述的料盒组件，其特征在于，所述导热隔件与所述容置腔体的顶部齐平或者低于所述容置腔体的顶部。
8.如权利要求1所述的料盒组件，其特征在于，所述盒体的侧壁上设置有拉手。
9.一种用于镀膜设备的升华装置，其特征在于，包括：
10.如权利要求9所述的升华装置，其特征在于，所述盒体与所述升华管热耦合，且所述
...【技术特征摘要】
1.一种用于镀膜设备的料盒组件，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的料盒组件，其特征在于，所述导热隔件为多孔结构件，所述多孔结构件具有多个孔洞，每个孔洞形成一个子腔体。
3.如权利要求2所述的料盒组件，其特征在于，所述孔洞的底部开口至顶部开口的方向与所述容置腔体的底部至顶部的方向平行。
4.如权利要求2所述的料盒组件，其特征在于，还包括匀料板，盖于所述盒体，所述匀料板具有多个均匀分布的镂空开孔。
5.如权利要求4所述的料盒组件，其特征在于，所述镂空开孔的孔径小...
【专利技术属性】
技术研发人员：宗坚，韩辉，
申请(专利权)人：江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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