镀膜设备及用于镀膜设备的升华装置制造方法及图纸

本技术提供一种镀膜设备及用于镀膜设备的升华装置，所述升华装置包括：升华管，具有进口以及出口，所述进口用于提供料盒组件的入口；N个料盒组件，位于所述升华管内，所述料盒组件用于容置镀膜粉料，N为正整数；M个加热部，包覆于所述升华管的外部，所述加热部用于对所述料盒组件内的镀膜粉料进行加热升华，得到的升华气体经所述出口输出，M为正整数。采用上述方案，可以通过控制每个加热部的开启状态，来实现对每个料盒组件内的镀膜粉料的可控升华，实现升华工艺的动态调整，有助于满足长时间、大厚度或者大装炉量的镀膜工艺要求，提高镀膜效果。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及镀膜，尤其涉及一种镀膜设备及用于镀膜设备的升华装置。

技术介绍

1、派瑞林(parylene)是六十年代中期美国union carbide co.开发应用的一种新型敷形涂层材料，它采用真空气相沉积工艺制备，由活性小分子在基材表面生成敷形的聚合物薄膜涂层。派瑞林是一种保护性高分子材料，中文名聚对二甲苯，根据分子结构的不同，派瑞林可分为n型、c型、d型、f型、ht型等多种类型。因其在真空条件下制备，派瑞林活性分子的良好穿透力能在电子元件内部、底部，周围形成无针孔，厚度均匀的透明绝缘涂层，给元件提供一个完整的优质防护涂层，抵御酸碱、盐雾、霉菌及各种腐蚀性气件的侵害。

2、现有粉末状态的蒸发材料(如派瑞林)，在化学气相沉积(cvd)镀膜条件下在升华装置中通常采用单料盒一次性加料方法，无法达到长时间、大厚度、大装炉量的工艺要求。

技术实现思路

1、本技术解决的技术问题是现有升华装置中通常采用单料盒一次性加料方法，无法达到长时间、大厚度、大装炉量的工艺要求。

2、为解决上述技术问题，本技本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于镀膜设备的升华装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的升华装置，其特征在于，N个料盒组件沿着所述升华管的轴向排布。

3.如权利要求1所述的升华装置，其特征在于，M＝N，所述加热部与所述料盒组件的位置一一对应。

4.如权利要求1所述的升华装置，其特征在于，所述加热部可拆卸地包覆于所述升华管的外部。

5.如权利要求1所述的升华装置，其特征在于，所述升华管的顶部靠近所述进口的区域铰接有仓门，所述仓门用于打开或者关闭所述进口。

6.如权利要求1所述的升华装置，其特征在于，所述料盒组件包括盒体，所述盒体具有顶部开放的容...

【技术特征摘要】

1.一种用于镀膜设备的升华装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的升华装置，其特征在于，n个料盒组件沿着所述升华管的轴向排布。

3.如权利要求1所述的升华装置，其特征在于，m＝n，所述加热部与所述料盒组件的位置一一对应。

4.如权利要求1所述的升华装置，其特征在于，所述加热部可拆卸地包覆于所述升华管的外部。

5.如权利要求1所述的升华装置，其特征在于，所述升华管的顶部靠近所述进口的区域铰接有仓门，所述仓门用于打开或者关闭所述进口。

6.如权利要求1所述的升华装置，其特征在于，所述料盒组件包括盒体，所述盒体具有顶部开放的容置腔体，所述容置腔体用于容置镀膜粉...

【专利技术属性】
技术研发人员：宗坚，韩辉，
申请(专利权)人：江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：