下载镀膜设备及用于镀膜设备的升华装置的技术资料

文档序号:41318095

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本技术提供一种镀膜设备及用于镀膜设备的升华装置,所述升华装置包括:升华管,具有进口以及出口,所述进口用于提供料盒组件的入口;N个料盒组件,位于所述升华管内,所述料盒组件用于容置镀膜粉料,N为正整数;M个加热部,包覆于所述升华管的外部,所述加...
该专利属于江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司授权不得商用。

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