连续真空镀膜用蒸发舟和真空蒸镀系统技术方案

本技术公开了一种连续真空镀膜用蒸发舟和真空蒸镀系统，属于蒸发舟技术领域。连续真空镀膜用蒸发舟包括腔室主体，凹设有容置腔和安装槽，所述容置腔沿所述腔室主体的长度方向延伸，两个所述安装槽分别设置于所述容置腔的相对两端；熔丝部件，可拆卸地设置于所述安装槽内，所述熔丝部件凹设有熔丝槽，所述熔丝槽与所述容置腔连通，所述熔丝槽的内侧壁设置有至少两个斜面，所述熔丝槽的槽底面的高度大于所述容置腔的腔底面的高度。本技术能够长期使用，提高蒸镀的均匀性和效率，降低使用成本。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及蒸发舟，尤其涉及一种连续真空镀膜用蒸发舟和真空蒸镀系统。

技术介绍

1、锂电池复合集流体具有低成本、高安全、高比能和长寿命等多方面的优势。新型复合集流体的主要制备工艺是在高分子基膜双面以磁控溅射或真空蒸镀方式沉积50～80nm金属层，再继续通过真空蒸镀或水电镀将金属层增厚到1μm左右，相比于传统铝箔铜箔集流体，工艺流程缩短，降低了金属污染物对环境的危害。其中真空蒸镀镀膜过程中，蒸镀设备所需的蒸发舟与铝或铝合金等金属接触，使金属蒸发，然后沉积在复合集流体高分子基材表面上，形成金属导电层。

2、目前所用蒸发舟为加热腔室形式，通常在真空蒸镀设备中排列一排或两排蒸发舟，每排蒸发舟数量根据镀膜宽度确定，对于宽幅复合集流体连续镀膜工艺，每排蒸发舟大于20个。同时，因为铝丝直接接触蒸发舟腔室表面，造成一定程度腐蚀，所以连续镀膜工作十小时左右就需要更换新的蒸发舟，操作繁琐，且蒸发舟利用效率低。此外，因为蒸发舟数量较多，每个蒸发舟的铝丝独立进丝，存在镀膜均匀性较差及蒸发舟溅铝问题。

3、为此，亟需提供一种连续真空镀膜用蒸发舟和真空蒸镀系统以本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.连续真空镀膜用蒸发舟，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的连续真空镀膜用蒸发舟，其特征在于，所述腔室主体(1)为相对中心线(13)对称的结构。

3.根据权利要求2所述的连续真空镀膜用蒸发舟，其特征在于，所述容置腔(11)的槽深沿靠近所述中心线(13)的方向逐渐增大。

4.根据权利要求3所述的连续真空镀膜用蒸发舟，其特征在于，所述容置腔(11)的腔底面的坡度为3°-15°。

5.根据权利要求1所述的连续真空镀膜用蒸发舟，其特征在于，所述熔丝槽(21)的内侧壁设置有三个所述斜面(211)。

6.根据权利要求1所述的连续真...

【技术特征摘要】

1.连续真空镀膜用蒸发舟，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的连续真空镀膜用蒸发舟，其特征在于，所述腔室主体(1)为相对中心线(13)对称的结构。

3.根据权利要求2所述的连续真空镀膜用蒸发舟，其特征在于，所述容置腔(11)的槽深沿靠近所述中心线(13)的方向逐渐增大。

4.根据权利要求3所述的连续真空镀膜用蒸发舟，其特征在于，所述容置腔(11)的腔底面的坡度为3°-15°。

5.根据权利要求1所述的连续真空镀膜用蒸发舟，其特征在于，所述熔丝槽(21)的内侧壁设置有三个所述斜面(211)。

6.根据权利要求1所述的连续真空镀膜用蒸发舟，其特征在于，所述安装槽(12)相对两侧的内壁面设置有条形限位槽(3)和条形凸起(4)中的其中之一，所述熔丝部件(2)相对两侧的外壁面设置有所述条形凸起(4)和...

【专利技术属性】
技术研发人员：王帅，朱中亚，夏建中，曾来源，
申请(专利权)人：扬州纳力新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：