连续真空镀膜用蒸发舟和真空蒸镀系统技术方案

技术编号:41316910 阅读:4 留言:0更新日期:2024-05-13 14:58
本技术公开了一种连续真空镀膜用蒸发舟和真空蒸镀系统,属于蒸发舟技术领域。连续真空镀膜用蒸发舟包括腔室主体,凹设有容置腔和安装槽,所述容置腔沿所述腔室主体的长度方向延伸,两个所述安装槽分别设置于所述容置腔的相对两端;熔丝部件,可拆卸地设置于所述安装槽内,所述熔丝部件凹设有熔丝槽,所述熔丝槽与所述容置腔连通,所述熔丝槽的内侧壁设置有至少两个斜面,所述熔丝槽的槽底面的高度大于所述容置腔的腔底面的高度。本技术能够长期使用,提高蒸镀的均匀性和效率,降低使用成本。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及蒸发舟,尤其涉及一种连续真空镀膜用蒸发舟和真空蒸镀系统


技术介绍

1、锂电池复合集流体具有低成本、高安全、高比能和长寿命等多方面的优势。新型复合集流体的主要制备工艺是在高分子基膜双面以磁控溅射或真空蒸镀方式沉积50~80nm金属层,再继续通过真空蒸镀或水电镀将金属层增厚到1μm左右,相比于传统铝箔铜箔集流体,工艺流程缩短,降低了金属污染物对环境的危害。其中真空蒸镀镀膜过程中,蒸镀设备所需的蒸发舟与铝或铝合金等金属接触,使金属蒸发,然后沉积在复合集流体高分子基材表面上,形成金属导电层。

2、目前所用蒸发舟为加热腔室形式,通常在真空蒸镀设备中排列一排或两排蒸发舟,每排蒸发舟数量根据镀膜宽度确定,对于宽幅复合集流体连续镀膜工艺,每排蒸发舟大于20个。同时,因为铝丝直接接触蒸发舟腔室表面,造成一定程度腐蚀,所以连续镀膜工作十小时左右就需要更换新的蒸发舟,操作繁琐,且蒸发舟利用效率低。此外,因为蒸发舟数量较多,每个蒸发舟的铝丝独立进丝,存在镀膜均匀性较差及蒸发舟溅铝问题。

3、为此,亟需提供一种连续真空镀膜用蒸发舟和真空蒸镀系统以解决上述问题。


技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种连续真空镀膜用蒸发舟和真空蒸镀系统,能够长期使用,提高蒸镀的均匀性和效率,降低使用成本。

2、为实现上述目的,提供以下技术方案:

3、连续真空镀膜用蒸发舟,包括:

4、腔室主体,凹设有容置腔和安装槽,所述容置腔沿所述腔室主体的长度方向延伸,两个所述安装槽分别设置于所述容置腔的相对两端;

5、熔丝部件,可拆卸地设置于所述安装槽内,所述熔丝部件凹设有熔丝槽,所述熔丝槽与所述容置腔连通,所述熔丝槽的内侧壁设置有至少两个斜面,所述熔丝槽的槽底面的高度大于所述容置腔的腔底面的高度。

6、作为连续真空镀膜用蒸发舟的可选方案,所述腔室主体为相对中心线对称的结构。

7、作为连续真空镀膜用蒸发舟的可选方案,所述容置腔的槽深沿靠近所述中心线的方向逐渐增大。

8、作为连续真空镀膜用蒸发舟的可选方案,所述容置腔的腔底面的坡度为3°-15°。

9、作为连续真空镀膜用蒸发舟的可选方案,所述熔丝槽的内侧壁设置有三个所述斜面。

10、作为连续真空镀膜用蒸发舟的可选方案,所述安装槽相对两侧的内壁面设置有条形限位槽和条形凸起中的其中之一,所述熔丝部件相对两侧的外壁面设置有对应的所述条形凸起和所述条形限位槽中的其中另一,所述条形凸起插设于所述条形限位槽内。

11、作为连续真空镀膜用蒸发舟的可选方案,所述容置腔的腔底均匀设置有多个凸起机构。

12、作为连续真空镀膜用蒸发舟的可选方案,所述凸起机构为半球形、圆柱形或正多面体形。

13、真空蒸镀系统,包括如上所述的连续真空镀膜用蒸发舟。

14、作为真空蒸镀系统的可选方案,还包括基座和设置于所述基座上的压力传感器、控制器和送丝部件,且所述压力传感器位于所述基座和所述连续真空镀膜用蒸发舟之间,所述压力传感器和所述送丝部件均与所述控制器电连接。

15、与现有技术相比,本技术的有益效果:

16、本技术所提供的连续真空镀膜用蒸发舟,在熔丝部件的熔丝槽的内侧壁设置有至少两个斜面,当其中一个斜面腐蚀失效后,铝丝可以与其中另一个斜面接触,熔丝部件可拆卸地安装到腔室主体的两个安装槽内,延长了蒸发舟的腔室主体的使用周期,减少了更换蒸发舟的次数,提高了腔室主体蒸镀的均匀性和效率,降低了蒸镀工艺的使用成本;铝丝与斜面接触后,由于熔丝槽的槽底面的高度大于容置腔的腔底面的高度,便于融化后的镀液全部流入容置腔内,提高铝丝的利用率。

17、本技术所提供的真空蒸镀系统,延长了蒸发舟的腔室主体的使用周期,减少了更换蒸发舟的次数,提高了腔室主体蒸镀的均匀性和效率,降低了蒸镀工艺的使用成本。

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【技术保护点】

1.连续真空镀膜用蒸发舟,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的连续真空镀膜用蒸发舟,其特征在于,所述腔室主体(1)为相对中心线(13)对称的结构。

3.根据权利要求2所述的连续真空镀膜用蒸发舟,其特征在于,所述容置腔(11)的槽深沿靠近所述中心线(13)的方向逐渐增大。

4.根据权利要求3所述的连续真空镀膜用蒸发舟,其特征在于,所述容置腔(11)的腔底面的坡度为3°-15°。

5.根据权利要求1所述的连续真空镀膜用蒸发舟,其特征在于,所述熔丝槽(21)的内侧壁设置有三个所述斜面(211)。

6.根据权利要求1所述的连续真空镀膜用蒸发舟,其特征在于,所述安装槽(12)相对两侧的内壁面设置有条形限位槽(3)和条形凸起(4)中的其中之一,所述熔丝部件(2)相对两侧的外壁面设置有所述条形凸起(4)和所述条形限位槽(3)中的其中另一,所述条形凸起(4)插设于所述条形限位槽(3)内。

7.根据权利要求1所述的连续真空镀膜用蒸发舟,其特征在于,所述容置腔(11)的腔底均匀设置有多个凸起机构(14)。

8.根据权利要求7所述的连续真空镀膜用蒸发舟,其特征在于,所述凸起机构(14)为半球形、圆柱形或正多面体形。

9.真空蒸镀系统,其特征在于,包括如权利要求1-8任一项所述的连续真空镀膜用蒸发舟。

10.根据权利要求9所述的真空蒸镀系统,其特征在于,还包括基座(200)和设置于所述基座(200)上的压力传感器(300)、控制器(400)和送丝部件(500),且所述压力传感器(300)位于所述基座(200)和所述连续真空镀膜用蒸发舟之间,所述压力传感器(300)和所述送丝部件(500)均与所述控制器(400)电连接。

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【技术特征摘要】

1.连续真空镀膜用蒸发舟,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的连续真空镀膜用蒸发舟,其特征在于,所述腔室主体(1)为相对中心线(13)对称的结构。

3.根据权利要求2所述的连续真空镀膜用蒸发舟,其特征在于,所述容置腔(11)的槽深沿靠近所述中心线(13)的方向逐渐增大。

4.根据权利要求3所述的连续真空镀膜用蒸发舟,其特征在于,所述容置腔(11)的腔底面的坡度为3°-15°。

5.根据权利要求1所述的连续真空镀膜用蒸发舟,其特征在于,所述熔丝槽(21)的内侧壁设置有三个所述斜面(211)。

6.根据权利要求1所述的连续真空镀膜用蒸发舟,其特征在于,所述安装槽(12)相对两侧的内壁面设置有条形限位槽(3)和条形凸起(4)中的其中之一,所述熔丝部件(2)相对两侧的外壁面设置有所述条形凸起(4)和...

【专利技术属性】
技术研发人员:王帅朱中亚夏建中曾来源
申请(专利权)人:扬州纳力新材料科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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