【技术实现步骤摘要】
本技术涉及3c蒸镀,尤其涉及一种新型真空腔体盖板结构。
技术介绍
1、真空腔体是一个被精密封闭的空间,其内部气压低于大气压,以实现特定的实验条件或应用需求,为了保持腔体内的真空状态,需要使用盖板来封闭腔体的开口。
2、现有真空腔室盖板材质为铝合金。真空腔室在抽真空时,由于材质特性,真空腔室盖板受到大气压的挤压,变形量大,最大可以达到0.8mm。腔室主体材质为sus304,真空腔室由正常大气压向真空状态切换的过程中(整个过程预计30s),铝合金盖板由于变形与腔室边缘形成接触状态,金属与金属摩擦产生颗粒,污染真空腔室内产品。
3、因此,本领域技术人员提供了一种新型真空腔体盖板结构,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
技术实现思路
1、为了弥补以上不足,本技术提供了一种新型真空腔体盖板结构,旨在改善铝合金盖板与腔室边缘摩擦产生颗粒,污染真空腔室内产品的问题。
2、为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:一种新型真空腔体盖板结构,包括盖板,所述盖板的底端开设有
...【技术保护点】
1.一种新型真空腔体盖板结构,包括盖板(1),其特征在于:所述盖板(1)的底端开设有避空槽(4),所述盖板(1)底端前后侧固定连接有多个垫块一(5),所述盖板(1)的底端前后侧固定连接有多个垫块二(6),所述盖板(1)的顶端焊接有加强筋组件。
2.根据权利要求1所述的一种新型真空腔体盖板结构,其特征在于:所述加强筋组件包括两个纵筋(2),两个所述纵筋(2)均焊接在盖板(1)的顶端,所述盖板(1)的顶端焊接有两个横筋(3)。
3.根据权利要求1所述的一种新型真空腔体盖板结构,其特征在于:所述避空槽(4)开设在盖板(1)底端边缘位置。
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【技术特征摘要】
1.一种新型真空腔体盖板结构,包括盖板(1),其特征在于:所述盖板(1)的底端开设有避空槽(4),所述盖板(1)底端前后侧固定连接有多个垫块一(5),所述盖板(1)的底端前后侧固定连接有多个垫块二(6),所述盖板(1)的顶端焊接有加强筋组件。
2.根据权利要求1所述的一种新型真空腔体盖板结构,其特征在于:所述加强筋组件包括两个纵筋(2),两个所述纵筋(2)均焊接在盖板(1)的顶端,所述盖板(1)的顶端焊接有两个横筋(3)。
3.根...
【专利技术属性】
技术研发人员:蒋海军,段晓峰,
申请(专利权)人:苏州永良机械设备有限公司,
类型:新型
国别省市:
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