【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及离子源，特别涉及离子源内热电偶的检定装置和方法。
技术介绍
1、热电偶温度传感器利用塞贝克效应，将两根不同材质的金属丝焊接在一起实现测温，具有测量精度高、测量范围广、构造简单和使用方便等优势，是质谱分析中离子源内常用的气体温度检测元件之一。然而长期在高温下使用的热电偶，由于氧化、腐蚀、热疲劳等原因，其材料特性会发生一定的变化，热特性也会随之改变，造成测温失准。对测温失准的热电偶，或报废，或重新检定后再投入使用。理论上，热电偶的检定周期为半年或一年，特殊情况可根据使用环境来确定。
2、在质谱分析中，若要检定或报废离子源内的热电偶，则必须对离子源结构进行拆装，这个过程一方面可能引起离子源的污染，另一方面可能由于拆装的不合规造成离子源参数的变化，两者都会影响质谱分析的精度。并且标准的热电偶检定平台涉及恒温加热设备、低温设备、监测设备、标准热电偶等器件，整个检定平台耗时，耗人，耗地，耗钱。
3、针对上述问题，解决方案多为：制定规范，在规定时间直接对离子源内热电偶进行报废更换，并强调了离子源拆装的标准操作程序，但部分使用者忽视这一点的影响，对长期使用的热电偶既不报废，亦不检定。上述处理方式，均不能准确的知道待测热电偶是否已失效，更不能对待测热电偶进行检定。
技术实现思路
1、为解决上述现有技术方案中的不足，本专利技术提供了一种离子源内热电偶的检定装置。
2、本专利技术的目的是通过以下技术方案实现的：
3、一种离子源内热电偶的检定装
4、筒体，所述筒体一端开口，侧壁具有气体入口，所述标准热电偶设置在所述筒体内，连接蓄能单元或驱动单元；所述筒体的开口端倾斜地插入所述离子源的气体通道内，待测热电偶处于所述气体通道内；
5、蓄能单元和第一阀，所述蓄能单元设置在所述筒体内，在驱动单元推动下蓄能，所述第一阀用于控制所述气体入口开和闭；
6、驱动单元，所述驱动单元设置在所述筒体上，用于驱动所述蓄能单元和标准热电偶，使得所述标准热电偶进入待测热电偶所处的气体通道内；
7、第二阀，所述第二阀设置在所述筒体内，用于控制所述标准热电偶和外界隔离与否。
8、本专利技术的另一目的在于提供了一种离子源内热电偶的检定方法，该专利技术目的是通过以下技术方案得以实现的：
9、根据本专利技术检定装置的离子源内热电偶的检定方法，所述检定方法包括以下步骤：
10、s1打开第二阀，驱动单元驱动标准热电偶在筒体内正向平移，使得标准热电偶进入离子源的气体通道内，蓄能单元蓄积能量，同时，第一阀封闭所述气体入口；
11、s2比较标准热电偶和待测热电偶的输出温度，完成检定；
12、s3所述蓄能单元释放能量，推动所述标准热电偶反向平移，同时，所述第一阀打开所述气体入口，关闭所述第二阀。
13、与现有技术相比，本专利技术具有的有益效果为：
14、1. 在位式检定；
15、利用本专利的检定装置，无需拆卸离子源，实现了热电偶的在位式检定；
16、2.检定效果好；
17、在推动标准热电偶进入离子源时，第一阀同步地封闭了气体入口，避免了气体对检定带来不利影响；
18、依据标准热电偶及公式准确地获得待测热电偶测温点的温度，提高了检定准确性；
19、3.操作简便；
20、需要检定时，第二阀打开，利用驱动单元正向驱动热电偶以进入离子源，蓄能单元同时蓄积能量，气体入口也被同步地封闭；检定完成后，标准热电偶退出离子源，蓄能单元蓄积的能量推动热电偶反向移动，气体入口也被同步地打开，第二阀关闭。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种离子源内热电偶的检定装置，所述离子源内热电偶的检定装置包括标准热电偶；其特征在于，所述检定装置还包括：
2.根据权利要求1所述的离子源内热电偶的检定装置，其特征在于，所述蓄能单元包括：
3.根据权利要求2所述的离子源内热电偶的检定装置，其特征在于，所述第一阀包括：
4.根据权利要求3所述的离子源内热电偶的检定装置，其特征在于，所述驱动单元包括：
5.根据权利要求1所述的离子源内热电偶的检定装置，其特征在于，所述检定装置还包括：
6.根据权利要求1所述的离子源内热电偶的检定装置，其特征在于，所述离子源插入真空腔内，所述筒体处于所述真空腔内，驱动单元处于真空腔外。
7.根据权利要求1所述的离子源内热电偶的检定装置，其特征在于，所述检定装置还包括：
8.根据权利要求1-7中任一项所述的检定装置的离子源内热电偶的检定方法，所述检定方法包括以下步骤：
9.根据权利要求8所述检定方法，其特征在于，在步骤S1中，驱动单元压缩蓄能单元中的弹性件；
10.根据权利要求8所述检定方法，
...【技术特征摘要】
1.一种离子源内热电偶的检定装置，所述离子源内热电偶的检定装置包括标准热电偶；其特征在于，所述检定装置还包括：
2.根据权利要求1所述的离子源内热电偶的检定装置，其特征在于，所述蓄能单元包括：
3.根据权利要求2所述的离子源内热电偶的检定装置，其特征在于，所述第一阀包括：
4.根据权利要求3所述的离子源内热电偶的检定装置，其特征在于，所述驱动单元包括：
5.根据权利要求1所述的离子源内热电偶的检定装置，其特征在于，所述检定装置还包括：
6.根据权利要求1所述的离子源内热...
【专利技术属性】
技术研发人员：闻路红，吴鸿飞，胡舜迪，曾敬发，
申请(专利权)人：宁波华仪宁创智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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