【技术实现步骤摘要】
本申请涉及传感器，具体涉及一种振荡电路元件及其制作方法、传感器密封性检测系统及方法。
技术介绍
1、压力传感器广泛地应用于环境及介质的压力测量，壳体密封性对影响压力传感器性能的关键因素之一，尤其是与介质直接接触的压力接口一侧壳体的密封性，因为其导致介质泄漏。以汽车进气压力传感器为例，其是内燃机运载车辆上的关键传感器之一，通过对进气歧管压力的测量，间接检测发动机的进气量大小，再经过传感器内部的电路将进气量转化为数字电压信号并提供给汽车电控系统，进而影响车辆的喷油脉宽、节气门开度等数据，时刻影响着发动机的工作状态。目前，已有的压力传感器密封性检测方法，均依赖于电学接通至传感器芯片，根据传感器芯片读数与测试压力介质的实际压力之差异大小判断介质引入通道的密封情况，尤其是与壳体与压力元件的连接处、与其他元件的连接处的密封性。在这一过程中，需要不断加压、泄压，存在检测工艺复杂、无法排除传感器芯片自身故障因素的影响等问题。因此，亟需一种成本低、操作便捷的汽车进气压力传感器密封性评估技术。
2、本部分中的陈述仅提供与本申请相关的背景信息，并且可以不构成现有技术。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本申请提供了一种振荡电路元件及其制作方法、传感器密封性检测系统及方法，以无线方式检测传感器的密封性，并对泄漏量进行评估。
2、为实现以上目的，本申请提供一种振荡电路元件，用于检测传感器的密封性，其为具有由一电感线圈和一可变平板电容器组成的一lc回路，所述平板电容器的至少一侧暴露
3、优选地，所述振荡电路元件的一侧并被隔离于所述压力介质，所述振荡电路元件的另一侧暴露于所述压力介质中；所述振荡电路元件的所述另一侧连通至所述介质引入通道且位于所述开关阀的靠近所述介质引入通道的一侧。
4、优选地，所述振荡电路元件的所述一侧紧密地贴合于介质引入接头的内腔腔壁上。
5、优选地，所述振荡电路元件整体上为柔性元件。
6、优选地，所述振荡电路元件包括：第一电路组件，具有一电感线圈及一第一极板；正对地设置于第一电路组件背面一侧的第二电路组件，具有与所述第一极板正对地组成一平板电容器的一第二极板，所述平板电容器与所述电阻相串联；以及间隔地固定于第一电路组件与第二电路组件之间并位于电感线圈及第二极板外围的板框状绝缘垫板。
7、优选地，所述第一电路组件包括膜状的第一基底，所述第一极板和所述电感线圈被印制于第一基底的朝向绝缘垫板的一侧；所述第二电路组件包括膜状的第二基底，所述第二极板被印制于第二基底的朝向绝缘垫板的一侧。
8、优选地，所述绝缘垫板和所述第一电路组件、第二电路组件围成的空间内填充有绝缘材料，或者，第一电极和第二电极这两者中的至少一者的相向一侧表面设置有绝缘保护层。
9、本申请还提供了上述振荡电路元件的制作方法，包括步骤：
10、(1)、将第二基底的正面进行表面清洁处理；
11、(2)、于第二基底的正面制作出第二极板、电感线圈和第二电极而得到第一电路组件，并于第一基底的正面制作出第一极板、第一电极以及两者的连接部分而得到第二电路组件；
12、(3)、于板框状绝缘垫板上对应于第二电极的位置处制作出通孔，并于通孔内填充导体材料以形成上述电导通部；
13、(4)、将第一电路组件、将绝缘垫板及第二电路组件顺次层叠后进行层间连接，并使电导通部的两侧分别电连接至第一电极和第二电极。
14、本申请还提供了一种传感器密封性检测系统，其包括：
15、上述的振荡电路元件；
16、可密封地连于所述压力接口的一介质引入接头，振荡电路元件固定至所述介质引入接头；
17、存储有压力介质的压力源，其经一阀及介质引入接头密封地连接至所述介质引入通道，以向压力通道内充入所述压力介质并可随后通过关闭所述阀将所述介质引入通道与压力源隔离；
18、及外部射频谐振检测装置，具有一可于传感器的外部靠近并耦合于所述lc回路的读取线圈。
19、本申请还提供了一种传感器密封性测试方法，传感器具有形成有至少一个介质引入通道的压力接口，其包括步骤：
20、提供具有由一电感线圈和一可变平板电容器组成的一lc回路的无线无源的一振荡电路元件，所述平板电容器的至少一个极板可暴露于所述介质引入通道且电容值随所述介质引入通道内的压力大小发生改变；
21、将一介质引入接头密封连接至所述介质引入通道以引入压力介质，同时使所述振荡电路元件的一侧暴露于所述介质引入通道；
22、使外部射频谐振检测装置的读取线圈靠近振荡电路元件，在测量的前后分别记录谐振频率的变化量。
23、根据谐振频率的变化计算介质引入通道内的前后压力的变化率，并根据其是否在预定范围内来判定传感器的介质引入通道的密封性是否符合预定要求。
24、与现有技术相比，本申请的有益效果是：
25、1.本申请的传感器密封性检测方法依靠独立的无线无源柔性振荡电路进行无接触式检测，不需要电连接至传感器的电气接口，简化了测漏工艺步骤，节省测漏工艺装备成本。
26、2.本申请的传感器密封性检测方法所获得的泄露量数据可传递至传感器芯片中进行校正，实现修复传感器检测精度。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种振荡电路元件(1)，用于检测传感器的密封性，其特征在于，其为具有由一电感线圈和一可变平板电容器组成的一LC回路，所述平板电容器的至少一侧暴露于传感器的介质引入通道内，以感受介质引入通道内的压力介质之压力且其电容值随所述压力大小发生改变。
2.根据权利要求1所述的振荡电路元件，其特征在于，所述振荡电路元件(1)的一侧并被隔离于所述压力介质，所述振荡电路元件(1)的另一侧暴露于所述压力介质中；所述振荡电路元件(1)的所述另一侧连通至所述介质引入通道且位于所述开关阀的靠近所述介质引入通道的一侧。
3.根据权利要求2所述的传感器密封性检测系统，其特征在于，所述振荡电路元件(1)的所述一侧紧密地贴合于介质引入接头(5)的内腔腔壁(51)上。
4.根据权利要求1所述的振荡电路元件，其特征在于，所述振荡电路元件(1)整体上为柔性元件。
5.根据权利要求4所述的振荡电路元件，其特征在于，所述振荡电路元件(1)包括：
6.根据权利要求5所述的振荡电路元件，其特征在于，所述第一电路组件(13)包括膜状的第一基底(131)，所述第一极
7.根据权利要求6所述的振荡电路元件，其特征在于，所述绝缘垫板(12)和所述第一电路组件(13)、第二电路组件(11)围成的空间内填充有绝缘材料，或者，第一电极(133)和第二电极(114)这两者中的至少一者的相向一侧表面设置有绝缘保护层。
8.一种根据权利要求6至7的任一项所述的振荡电路元件(1)的制作方法，包括步骤：
9.一种传感器密封性检测系统，其特征在于，包括：
10.一种传感器密封性测试方法，传感器具有形成有一个介质引入通道的压力接口(2)，其特征在于，包括步骤：
...【技术特征摘要】
1.一种振荡电路元件(1)，用于检测传感器的密封性，其特征在于，其为具有由一电感线圈和一可变平板电容器组成的一lc回路，所述平板电容器的至少一侧暴露于传感器的介质引入通道内，以感受介质引入通道内的压力介质之压力且其电容值随所述压力大小发生改变。
2.根据权利要求1所述的振荡电路元件，其特征在于，所述振荡电路元件(1)的一侧并被隔离于所述压力介质，所述振荡电路元件(1)的另一侧暴露于所述压力介质中；所述振荡电路元件(1)的所述另一侧连通至所述介质引入通道且位于所述开关阀的靠近所述介质引入通道的一侧。
3.根据权利要求2所述的传感器密封性检测系统，其特征在于，所述振荡电路元件(1)的所述一侧紧密地贴合于介质引入接头(5)的内腔腔壁(51)上。
4.根据权利要求1所述的振荡电路元件，其特征在于，所述振荡电路元件(1)整体上为柔性元件。
5.根据权利要求4所述的振荡电路元件，其特征在于，所述振荡电路元件(1)包括：
...【专利技术属性】
技术研发人员：曹万，王小平，熊波，陈列，陈耀源，陈明艳，齐擎，
申请(专利权)人：武汉飞恩微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。