【技术实现步骤摘要】
本申请涉及传感器，具体涉及一种电容式压力传感器。
技术介绍
1、现有的陶瓷电容式压力传感器，其通常具有两个上下正对的陶瓷板，其中一个为刚性基板，另一个为弹性薄板，两个陶瓷板的相向一侧表面分别设置有固定极板和可动极板，两极板组成可变电容器。弹性薄板朝向接收压力的一侧，弹性薄板在两侧压力之差的作用下朝一侧弯曲，通过测量可变电容器的电容可以得到该压力差；弹性薄板的外侧边缘与传感器壳体上形成的支撑台阶之间通过密封圈进行压力密封。为了避免两极板间具有固定的间距，需要在两陶瓷板之间隔有陶瓷制的隔环，该环状板与陶瓷板之间通过玻璃填料进行高温熔接。上述的陶瓷电容式压力传感器的制作温度高、工艺复杂；为了获得更大的电容值以尽量提高测量精度，就需要降低隔环的厚度，但通常导致陶瓷隔环在烧结时易产生翘曲而导致表面平面度，提高了密封性的风险，并使两极板表面不平行而反而降低其测量精度。对此，公开号为特开平8-240500的日本专利所采取在两陶瓷板之间加入陶瓷小球或树脂小球的方案，导致工艺复杂；而us20030221493a1则在电极周围设置环状间隔墩，不仅导致工艺复...
【技术保护点】
1.一种电容式压力传感器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的电容式压力传感器，其特征在于，所述金属支撑筒(6)、所述弹性膜(21)及所述第一壳体(2)的材质相同。
3.根据权利要求1所述的电容式压力传感器，其特征在于，基板(3)的内侧表面覆接有与固定极板(30)相断开的参考极板(31)，参考极板(31)的外侧表面抵近于弹性膜(21)的内侧面(214)而形成参考电容器。
4.根据权利要求1所述的电容式压力传感器，其特征在于，弹性膜(21)的内侧表面覆盖有绝缘层(217)。
5.根据权利要求4所述的电容式压力传感器...
【技术特征摘要】
1.一种电容式压力传感器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的电容式压力传感器，其特征在于，所述金属支撑筒(6)、所述弹性膜(21)及所述第一壳体(2)的材质相同。
3.根据权利要求1所述的电容式压力传感器，其特征在于，基板(3)的内侧表面覆接有与固定极板(30)相断开的参考极板(31)，参考极板(31)的外侧表面抵近于弹性膜(21)的内侧面(214)而形成参考电容器。
4.根据权利要求1所述的电容式压力传感器，其特征在于，弹性膜(21)的内侧表面覆盖有绝缘层(217)。
5.根据权利要求4所述的电容式压力传感器，其特征在于，所述弹性膜(21)包括可接收压力通道(20)内的待测压力的弹性部分及连接于弹性部分周围的刚性部分，弹性膜(21)的内侧面(214)朝远离基板(3)的凹陷而形成下沉凹腔(218)；所述绝缘层(217)的外周缘朝上支撑于基板(3)的外侧表面上；所述固定极板(30)和参考极板(31)位于所述下沉凹腔(218)内。
6.根据权利要求5所述的电容式压力传感器，其特征在于，所述绝缘层(217)覆盖所述下沉凹腔(218)的底部。
7.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：王小平，曹万，杨军，吴林，王红明，李凡亮，梁世豪，洪鹏，吴登峰，李兵，
申请(专利权)人：武汉飞恩微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：
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