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一种电容式压力传感器制造技术
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下载一种电容式压力传感器的技术资料
文档序号:41366110
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本申请提供的一种电容式压力传感器,其包括:壳体,包括金属制的第一壳体,第一壳体内开设有一压力通道;设置于壳体内部的金属制弹性膜,其外侧面密封地连通至压力通道的内侧一端以接收压力通道内的待测压力;设置于壳体内部的金属支撑筒,其一端固定连接至第...
该专利属于武汉飞恩微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉飞恩微电子有限公司授权不得商用。
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