System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种水冷光学镀膜伞制造技术_技高网

一种水冷光学镀膜伞制造技术

技术编号:41289211 阅读:5 留言:0更新日期:2024-05-11 09:38
本发明专利技术提出了一种水冷光学镀膜伞,涉及光学镀膜技术领域,包括固定在镀膜伞上的转轴,镀膜伞的内部设置有冷却管道,转轴的内部安装有冷却进水管道和冷却出水管道,冷却管道的两端分别与冷却进水管道和冷却出水管道连接,转轴上开设有进水环道和出水环道,冷却进水管道与进水环道连通,冷却出水管道与出水环道连通,转轴的外侧转动连接有轴套。该水冷光学镀膜伞的有益效果是:该水冷镀膜伞能够实现冷却水的循环,在镀膜伞温度过高的时候能够及时对镀膜伞进行冷却,避免镀膜伞温度过高对镀膜或者光学工件造成影响,整体实用性强,使用效果好。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光学镀膜,具体涉及一种水冷光学镀膜伞


技术介绍

1、光学镀膜是光学领域中常见的改善光学器件表面性能的技术手段。常见的镀膜形式为蒸发镀膜,即加热靶材使表面组分以原子团或者离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程形成薄膜。

2、为了能够使得成膜均匀,现在常见的工件夹具均为可旋转的伞状。在蒸发镀膜的过程中,工件均匀排布在光学镀膜伞上,同时光学镀膜伞旋转,如此能够最大程度的克服光学工件边缘薄膜分布差异的问题。

3、但是,随着使用时间的增加,镀膜伞在长时间受到热辐射或者热传导后,导致镀膜伞的温度居高不下,而某些特殊的光学工件在高温下容易出现损坏或者性能降低,进而造成整体使用寿命减少,增加企业成本的问题,为此需要一种能够自动降温的镀膜伞。


技术实现思路

1、本专利技术提出了一种水冷光学镀膜伞,用于解决目前镀膜伞在长时间受到加热后,镀膜伞温度过高导致部分光学工件出现损坏或者性能降低的问题。

2、本专利技术提出了一种水冷光学镀膜伞,包括固定在镀膜伞上的转轴,镀膜伞的内部设置有冷却管道,转轴的内部安装有冷却进水管道和冷却出水管道,冷却管道的两端分别与冷却进水管道和冷却出水管道连接,转轴上开设有进水环道和出水环道,冷却进水管道与进水环道连通,冷却出水管道与出水环道连通,转轴的外侧转动连接有轴套,在使用时,通过转轴带动镀膜伞进行转动,同时,转轴内部的冷却进水管道和冷却出水管道跟随镀膜伞进行转动,通过进水环道加注冷却水,通过出水环道将冷却水排出,形成水循环,实现对镀膜伞的水冷,避免镀膜伞出现温度过高的现象。

3、进一步的,轴套上安装有进水管道和出水管道,通过进水管道和出水管道能够进行冷却水的加注和排出。

4、进一步的,进水管道与进水环道连通,出水管道与出水环道连通。

5、进一步的,轴套与转轴采用盘根密封,通过盘根密封避免冷却水外泄。

6、进一步的,进水环道与出水环道之间设置有密封环,通过密封环避免进出水混合,导致水冷效果降低。

7、进一步的,密封环安装在轴套上。

8、进一步的,镀膜伞的内部的冷却管道采用s形布置,通过s形布置的冷却管道,增加冷却面积,提高冷却效果。

9、进一步的,轴套与镀膜伞之间留有间隙,通过间隙避免轴套对镀膜伞的转动造成干扰。

10、本专利技术的有益效果是:

11、该水冷镀膜伞能够实现冷却水的循环,在镀膜伞温度过高的时候能够及时对镀膜伞进行冷却,避免镀膜伞温度过高对镀膜或者光学工件造成影响,整体实用性强,使用效果好。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种水冷光学镀膜伞,包括固定在镀膜伞(1)上的转轴(3),其特征在于,镀膜伞(1)的内部设置有冷却管道,转轴(3)的内部安装有冷却进水管道(6)和冷却出水管道(7),冷却管道的两端分别与冷却进水管道(6)和冷却出水管道(7)连接,转轴(3)上开设有进水环道(8)和出水环道(9),冷却进水管道(6)与进水环道(8)连通,冷却出水管道(7)与出水环道(9)连通,转轴(3)的外侧转动连接有轴套(2)。

2.根据权利要求1所述的水冷光学镀膜伞,其特征在于,轴套(2)上安装有进水管道(4)和出水管道(5)。

3.根据权利要求2所述的水冷光学镀膜伞,其特征在于,进水管道(4)与进水环道(8)连通,出水管道(5)与出水环道(9)连通。

4.根据权利要求1所述的水冷光学镀膜伞,其特征在于,轴套(2)与转轴(3)采用盘根密封。

5.根据权利要求1所述的水冷光学镀膜伞,其特征在于,进水环道(8)与出水环道(9)之间设置有密封环。

6.根据权利要求5所述的水冷光学镀膜伞,其特征在于,密封环安装在轴套(2)上。

7.根据权利要求1所述的水冷光学镀膜伞,其特征在于,镀膜伞(1)的内部的冷却管道采用S形布置。

8.根据权利要求1所述的水冷光学镀膜伞,其特征在于,轴套(2)与镀膜伞(1)之间留有间隙。

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【技术特征摘要】

1.一种水冷光学镀膜伞,包括固定在镀膜伞(1)上的转轴(3),其特征在于,镀膜伞(1)的内部设置有冷却管道,转轴(3)的内部安装有冷却进水管道(6)和冷却出水管道(7),冷却管道的两端分别与冷却进水管道(6)和冷却出水管道(7)连接,转轴(3)上开设有进水环道(8)和出水环道(9),冷却进水管道(6)与进水环道(8)连通,冷却出水管道(7)与出水环道(9)连通,转轴(3)的外侧转动连接有轴套(2)。

2.根据权利要求1所述的水冷光学镀膜伞,其特征在于,轴套(2)上安装有进水管道(4)和出水管道(5)。

3.根据权利要求2所述的水冷光学镀膜伞,其特征在于,进水...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨舒童崔胜友张彦鑫王钊王江北曲婷
申请(专利权)人:济南晶众光电科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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