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【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光学镀膜,具体涉及一种水冷光学镀膜伞。
技术介绍
1、光学镀膜是光学领域中常见的改善光学器件表面性能的技术手段。常见的镀膜形式为蒸发镀膜,即加热靶材使表面组分以原子团或者离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程形成薄膜。
2、为了能够使得成膜均匀,现在常见的工件夹具均为可旋转的伞状。在蒸发镀膜的过程中,工件均匀排布在光学镀膜伞上,同时光学镀膜伞旋转,如此能够最大程度的克服光学工件边缘薄膜分布差异的问题。
3、但是,随着使用时间的增加,镀膜伞在长时间受到热辐射或者热传导后,导致镀膜伞的温度居高不下,而某些特殊的光学工件在高温下容易出现损坏或者性能降低,进而造成整体使用寿命减少,增加企业成本的问题,为此需要一种能够自动降温的镀膜伞。
技术实现思路
1、本专利技术提出了一种水冷光学镀膜伞,用于解决目前镀膜伞在长时间受到加热后,镀膜伞温度过高导致部分光学工件出现损坏或者性能降低的问题。
2、本专利技术提出了一种水冷光学镀膜伞,包括固定在镀膜伞上的转轴,镀膜伞的内部设置有冷却管道,转轴的内部安装有冷却进水管道和冷却出水管道,冷却管道的两端分别与冷却进水管道和冷却出水管道连接,转轴上开设有进水环道和出水环道,冷却进水管道与进水环道连通,冷却出水管道与出水环道连通,转轴的外侧转动连接有轴套,在使用时,通过转轴带动镀膜伞进行转动,同时,转轴内部的冷却进水管道和冷却出水管道跟随镀膜伞进行转动,通过进水环道加注冷却水,通过出水环道将冷却水排
3、进一步的,轴套上安装有进水管道和出水管道,通过进水管道和出水管道能够进行冷却水的加注和排出。
4、进一步的,进水管道与进水环道连通,出水管道与出水环道连通。
5、进一步的,轴套与转轴采用盘根密封,通过盘根密封避免冷却水外泄。
6、进一步的,进水环道与出水环道之间设置有密封环,通过密封环避免进出水混合,导致水冷效果降低。
7、进一步的,密封环安装在轴套上。
8、进一步的,镀膜伞的内部的冷却管道采用s形布置,通过s形布置的冷却管道,增加冷却面积,提高冷却效果。
9、进一步的,轴套与镀膜伞之间留有间隙,通过间隙避免轴套对镀膜伞的转动造成干扰。
10、本专利技术的有益效果是:
11、该水冷镀膜伞能够实现冷却水的循环,在镀膜伞温度过高的时候能够及时对镀膜伞进行冷却,避免镀膜伞温度过高对镀膜或者光学工件造成影响,整体实用性强,使用效果好。
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1.一种水冷光学镀膜伞,包括固定在镀膜伞(1)上的转轴(3),其特征在于,镀膜伞(1)的内部设置有冷却管道,转轴(3)的内部安装有冷却进水管道(6)和冷却出水管道(7),冷却管道的两端分别与冷却进水管道(6)和冷却出水管道(7)连接,转轴(3)上开设有进水环道(8)和出水环道(9),冷却进水管道(6)与进水环道(8)连通,冷却出水管道(7)与出水环道(9)连通,转轴(3)的外侧转动连接有轴套(2)。
2.根据权利要求1所述的水冷光学镀膜伞,其特征在于,轴套(2)上安装有进水管道(4)和出水管道(5)。
3.根据权利要求2所述的水冷光学镀膜伞,其特征在于,进水管道(4)与进水环道(8)连通,出水管道(5)与出水环道(9)连通。
4.根据权利要求1所述的水冷光学镀膜伞,其特征在于,轴套(2)与转轴(3)采用盘根密封。
5.根据权利要求1所述的水冷光学镀膜伞,其特征在于,进水环道(8)与出水环道(9)之间设置有密封环。
6.根据权利要求5所述的水冷光学镀膜伞,其特征在于,密封环安装在轴套(2)上。
7.根据权利要求
8.根据权利要求1所述的水冷光学镀膜伞,其特征在于,轴套(2)与镀膜伞(1)之间留有间隙。
...【技术特征摘要】
1.一种水冷光学镀膜伞,包括固定在镀膜伞(1)上的转轴(3),其特征在于,镀膜伞(1)的内部设置有冷却管道,转轴(3)的内部安装有冷却进水管道(6)和冷却出水管道(7),冷却管道的两端分别与冷却进水管道(6)和冷却出水管道(7)连接,转轴(3)上开设有进水环道(8)和出水环道(9),冷却进水管道(6)与进水环道(8)连通,冷却出水管道(7)与出水环道(9)连通,转轴(3)的外侧转动连接有轴套(2)。
2.根据权利要求1所述的水冷光学镀膜伞,其特征在于,轴套(2)上安装有进水管道(4)和出水管道(5)。
3.根据权利要求2所述的水冷光学镀膜伞,其特征在于,进水...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨舒童,崔胜友,张彦鑫,王钊,王江北,曲婷,
申请(专利权)人:济南晶众光电科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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