【技术实现步骤摘要】
本技术涉及晶圆键合，具体而言，涉及一种用于晶圆键合的等离子体活化装置。
技术介绍
1、本部分的内容仅提供了与本技术相关的背景信息，其可能并不构成现有技术。
2、晶圆键合是指通过化学和物理作用将两块已镜面抛光的同质或异质的晶圆紧密地结合起来的技术，常采用的是等离子体活化法。
3、在相关技术中，为了确保晶圆的活化效果良好，在对晶圆进行等离子体活化时，通常需要根据活化需求向收容晶圆的活化腔体内通入不同种类的工艺气体(例如氧气或惰性气体)。然而，已知的用于对晶圆进行等离子体活化处理的活化装置在一般情况下只能通入某种特定种类的工艺气体，当需要改变工艺气体的种类时往往不太容易。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种用于晶圆键合的等离子体活化装置，该等离子体活化装置通过增设多个用于向活化腔体内部通入不同种类工艺气体的供气管路，在满足对晶圆进行活化处理的基础上，扩展了能够通入至活化腔体内部的工艺气体的种类，从而使得该等离子体活化装置在实际应用时能够根据活化需求向活化腔体内部直接通入预定种类的工艺气体，提高了该等离子体活化装置在实际应用时的实用性和灵活性。
2、本技术的目的通过以下技术方案实现：
3、一种用于晶圆键合的等离子体活化装置，包括活化单元和供气单元，所述活化单元包括用于收容晶圆的活化腔体，所述供气单元包括多个供气管路，所述多个供气管路均与所述活化腔体的内部连通，所述多个供气管路中的每个所述供气管路被构造成能够单独向所述活化腔体的内部通入
4、在一些可能的实施例中，所述活化单元还包括进气口，所述多个供气管路均通过所述进气口与所述活化腔体的内部连通；
5、所述活化单元还包括气体分配盘，所述气体分配盘设于所述活化腔体的内部且正对所述进气口，以通过所述气体分配盘将流经所述进气口的所述工艺气体均匀分配至所述活化腔体的内部。
6、在一些可能的实施例中，所述活化腔体的顶部呈开口结构，所述活化单元还包括用于密封所述活化腔体的开口的盖体；
7、所述进气口设置于所述盖体上，所述气体分配盘连接至所述盖体上且位于所述进气口的下方。
8、在一些可能的实施例中，所述活化单元还包括活化基台、上电极、导电体以及顶升机构；
9、所述活化基台设置于所述活化腔体内部以承载晶圆，所述上电极设置于所述活化腔体内部且位于所述活化基台上方，所述上电极正对所述活化基台，所述导电体的一端与所述活化基台连接，所述导电体的另一端延伸至所述活化腔体外；
10、所述顶升机构包括至少一个顶升杆以及驱动部件，所述顶升杆的顶端能够竖直穿过所述活化基台的顶面，所述驱动部件用于驱动所述顶升杆的顶端沿竖直方向往复运动。
11、在一些可能的实施例中，所述活化腔体的侧壁设有与其内部连通的料口；
12、所述活化单元还包括真空门阀，所述真空门阀设置于所述料口处以开闭所述料口。
13、在一些可能的实施例中，所述活化单元还包括冷却盘，所述冷却盘设置于所述活化基台的底部。
14、在一些可能的实施例中，还包括真空单元，所述真空单元包括真空管路以及抽真空部件；
15、所述抽真空部件通过所述真空管路与所述活化腔体的内部连通，以通过所述抽真空部件对所述活化腔体的内部抽真空。
16、在一些可能的实施例中，所述活化单元还包括设置于所述活化腔体内部的气体分配环，所述真空管路通过所述气体分配环与所述活化腔体的内部连通。
17、在一些可能的实施例中，所述多个供气管路中的每个所述供气管路上均依次连接有调压阀、手动阀、供气过滤器、第一气控阀、流量控制器以及第二气控阀。
18、在一些可能的实施例中，所述供气单元还包括与所述活化腔体的内部连通的破空管路，所述破空管路上连接有破空气控阀和破空过滤器。
19、本技术实施例的技术方案至少具有如下优点和有益效果：
20、1、本技术提供的等离子体活化装置，在满足对晶圆进行活化处理的基础上，扩展了能够通入至活化腔体内部的工艺气体的种类，从而使得该等离子体活化装置在实际应用时能够根据活化需求向活化腔体内部直接通入预定种类的工艺气体，提高了该等离子体活化装置在实际应用时的实用性和灵活性。
21、2、本技术提供的等离子体活化装置，在实际活化阶段，通入活化腔体内部的工艺气体能够均匀的在活化腔体的内部扩散，且通入活化腔体内部的工艺气体的量可控，同时，抽真空时抽气均匀，且活化腔体内部的真空度可控，并能够根据活化需求调整活化功率，从而进一步提升晶圆的活化效果。
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1.一种用于晶圆键合的等离子体活化装置，其特征在于，包括活化单元和供气单元，所述活化单元包括用于收容晶圆的活化腔体，所述供气单元包括多个供气管路，所述多个供气管路均与所述活化腔体的内部连通，所述多个供气管路中的每个所述供气管路被构造成能够单独向所述活化腔体的内部通入一种工艺气体；
2.根据权利要求1所述的用于晶圆键合的等离子体活化装置，其特征在于，所述活化腔体的顶部呈开口结构，所述活化单元还包括用于密封所述活化腔体的开口的盖体；
3.根据权利要求1所述的用于晶圆键合的等离子体活化装置，其特征在于，所述活化单元还包括活化基台、上电极、导电体以及顶升机构；
4.根据权利要求3所述的用于晶圆键合的等离子体活化装置，其特征在于，所述活化腔体的侧壁设有与其内部连通的料口；
5.根据权利要求3所述的用于晶圆键合的等离子体活化装置，其特征在于，所述活化单元还包括冷却盘，所述冷却盘设置于所述活化基台的底部。
6.根据权利要求1所述的用于晶圆键合的等离子体活化装置，其特征在于，还包括真空单元，所述真空单元包括真空管路以及抽真空部件；>
7.根据权利要求6所述的用于晶圆键合的等离子体活化装置，其特征在于，所述活化单元还包括设置于所述活化腔体内部的气体分配环，所述真空管路通过所述气体分配环与所述活化腔体的内部连通。
8.根据权利要求6所述的用于晶圆键合的等离子体活化装置，其特征在于，所述多个供气管路中的每个所述供气管路上均依次连接有调压阀、手动阀、供气过滤器、第一气控阀、流量控制器以及第二气控阀。
9.根据权利要求1所述的用于晶圆键合的等离子体活化装置，其特征在于，所述供气单元还包括与所述活化腔体的内部连通的破空管路，所述破空管路上连接有破空气控阀和破空过滤器。
...【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆键合的等离子体活化装置，其特征在于，包括活化单元和供气单元，所述活化单元包括用于收容晶圆的活化腔体，所述供气单元包括多个供气管路，所述多个供气管路均与所述活化腔体的内部连通，所述多个供气管路中的每个所述供气管路被构造成能够单独向所述活化腔体的内部通入一种工艺气体；
2.根据权利要求1所述的用于晶圆键合的等离子体活化装置，其特征在于，所述活化腔体的顶部呈开口结构，所述活化单元还包括用于密封所述活化腔体的开口的盖体；
3.根据权利要求1所述的用于晶圆键合的等离子体活化装置，其特征在于，所述活化单元还包括活化基台、上电极、导电体以及顶升机构；
4.根据权利要求3所述的用于晶圆键合的等离子体活化装置，其特征在于，所述活化腔体的侧壁设有与其内部连通的料口；
5.根据权利要求3所述的用于晶圆键合的等离子体活化装置，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘林，解家剑，程锐，何军，
申请(专利权)人：环诚智能装备成都有限公司，
类型：新型
国别省市：
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