【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光纤通信与集成光学，尤其涉及一种粗波分复用器。
技术介绍
1、随着网络和通讯技术的发展，对于信息量的需求成爆炸式增长。传统的电通信已经无法满足使用需求，波分复用技术是光通信系统中的关键技术，是当前提升光网络通信容量的核心内容之一。其中信道间隔20nm的粗波分复用技术，被广泛应用于各种短距离互联。
2、基于级联马赫曾德尔干涉仪结构的滤波器是一种常见的波分复用器，相较于阵列波导光栅和波导布拉格光栅等方案，级联马赫曾德尔干涉仪同时具有较低的串扰与损耗，以及较小的器件尺寸。但是，传统的级联马赫曾德尔干涉的相移臂多采用宽度为400nm的单模波导宽度，或者只加宽直波导部分，这导致了该结构的工艺容差较小，波导宽度的微小改变就会导致器件的响应光谱发生较大的偏移，在实际使用中，往往需要通过电极利用热光效应进行调谐，进而增加了器件的功耗和复杂度。
技术实现思路
1、有鉴于此，本专利技术提供一种粗波分复用器，用于解决现有的粗波分复用器存在相移臂的工艺容差较小的问题。
2、本专利技术实施例提供一种粗波分复用器，包括：
3、第一级滤波器，包括第一干涉仪；
4、第二级滤波器，连接所述第一级滤波器的输出端，所述第二级滤波器包括第二干涉仪和第三干涉仪；
5、其中，所述第一干涉仪、所述第二干涉仪和所述第三干涉仪均包括依次连接的分光器、相移波导和合束器；
6、所述相移波导包括第一相移臂和第二相移臂，所述第一相移臂包括相对设置的两个直
7、根据本专利技术的实施例，所述第一弯曲波导包括依次连接的第一渐变段、第二渐变段和第三渐变段；
8、沿所述第一弯曲波导的延伸方向，所述第一渐变段的宽度逐渐变小，所述第三渐变段的宽度逐渐变大。
9、根据本专利技术的实施例，由所述第二渐变段的中部区域朝向所述第二渐变段的两端延伸，所述第二渐变段的宽度逐渐变小。
10、根据本专利技术的实施例，所述第二弯曲波导包括依次连接的第四渐变段、第五渐变段和第六渐变段；
11、沿所述第二弯曲波导的延伸方向，所述第四渐变段的宽度逐渐变小，所述第六渐变段的宽度逐渐变大。
12、根据本专利技术的实施例，由所述第五渐变段的中部区域朝向所述第五渐变段的两端延伸，所述第五渐变段的宽度逐渐变小。
13、根据本专利技术的实施例，所述第一干涉仪中所述直线波导的长度大于所述第二干涉仪中所述直线波导的长度，且所述第一干涉仪中所述直线波导的长度大于所述第三干涉仪中所述直线波导的长度。
14、根据本专利技术的实施例，所述第一弯曲波导的内侧曲线和外侧曲线为多阶贝塞尔曲线，和/或，所述第二弯曲波导的内侧曲线和外侧曲线为多阶贝塞尔曲线。
15、根据本专利技术的实施例，所述分光器和所述合束器均为多模干涉耦合器。
16、根据本专利技术的实施例，所述多模干涉耦合器包括耦合区波导和两个锥形波导；
17、所述耦合区波导的一端与所述相移波导连接，所述耦合区波导的另一端连接两个所述锥形波导。
18、根据本专利技术的实施例，所述第一相移臂中的所述第一弯曲波导和所述第二相移臂中的所述第一弯曲波导沿所述耦合区波导的宽度方向间隔设置。
19、根据本专利技术实施例提供的粗波分复用器，至少能够实现以下技术效果：相移波导包括第一相移臂和第二相移臂，第一相移臂由两个直线波导、两个第一弯曲波导和两个第二弯曲波导组成，第二相移臂由两个第一弯曲波导和两个第二弯曲波导组成，此结构有利于拓宽第一相移臂和第二相移臂的宽度，减小波导模式有效折射率对波导宽度的敏感度，增大相移波导的工艺容差，进而有利于降低粗波分复用器的功耗。
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1.一种粗波分复用器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的粗波分复用器，其特征在于，所述第一弯曲波导包括依次连接的第一渐变段、第二渐变段和第三渐变段；
3.根据权利要求2所述的粗波分复用器，其特征在于，由所述第二渐变段的中部区域朝向所述第二渐变段的两端延伸，所述第二渐变段的宽度逐渐变小。
4.根据权利要求1所述的粗波分复用器，其特征在于，所述第二弯曲波导包括依次连接的第四渐变段、第五渐变段和第六渐变段；
5.根据权利要求4所述的粗波分复用器，其特征在于，由所述第五渐变段的中部区域朝向所述第五渐变段的两端延伸，所述第五渐变段的宽度逐渐变小。
6.根据权利要求1所述的粗波分复用器，其特征在于，所述第一干涉仪中所述直线波导的长度大于所述第二干涉仪中所述直线波导的长度，且所述第一干涉仪中所述直线波导的长度大于所述第三干涉仪中所述直线波导的长度。
7.根据权利要求1所述的粗波分复用器，其特征在于，所述第一弯曲波导的内侧曲线和外侧曲线为多阶贝塞尔曲线，和/或，所述第二弯曲波导的内侧曲线和外侧曲线为多阶贝塞尔曲线。
8.根据权利要求1至7任一项所述的粗波分复用器，其特征在于，所述分光器和所述合束器均为多模干涉耦合器。
9.根据权利要求8所述的粗波分复用器，其特征在于，所述多模干涉耦合器包括耦合区波导和两个锥形波导；
10.根据权利要求9所述的粗波分复用器，其特征在于，所述第一相移臂中的所述第一弯曲波导和所述第二相移臂中的所述第一弯曲波导沿所述耦合区波导的宽度方向间隔设置。
...【技术特征摘要】
1.一种粗波分复用器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的粗波分复用器，其特征在于，所述第一弯曲波导包括依次连接的第一渐变段、第二渐变段和第三渐变段；
3.根据权利要求2所述的粗波分复用器，其特征在于，由所述第二渐变段的中部区域朝向所述第二渐变段的两端延伸，所述第二渐变段的宽度逐渐变小。
4.根据权利要求1所述的粗波分复用器，其特征在于，所述第二弯曲波导包括依次连接的第四渐变段、第五渐变段和第六渐变段；
5.根据权利要求4所述的粗波分复用器，其特征在于，由所述第五渐变段的中部区域朝向所述第五渐变段的两端延伸，所述第五渐变段的宽度逐渐变小。
6.根据权利要求1所述的粗波分复用器，其特征在于，所述第一干涉仪中所述直线波导的长度...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈洪良，付鑫，杨林，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：发明
国别省市：
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