【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光通信领域，尤其涉及一种薄膜铌酸锂模斑转换器。
技术介绍
1、光子作为一种信息载体在通信领域被广泛使用，光子集成芯片的小型化、规模化使得其在该领域中具有重要的应用前景。铌酸锂由于其特殊的电光、声光和非线性光学性质，以及宽的透明窗口，成为光子学中最具吸引力的材料之一。绝缘衬底上铌酸锂（ln oninsulator，lnoi）平台的出现，使得铌酸锂材料在微米至纳米尺度上实现光的强空间约束，大大提高了铌酸锂在光子集成芯片领域的价值。
2、lnoi上的铌酸锂波导层为薄膜铌酸锂，这使得铌酸锂波导与光纤或大光斑激光器之间的模场不匹配，直接将光纤或大光斑激光器与lnoi器件耦合会产生很大的损耗，而通过模斑转换器耦合可以提高耦合效率，降低偏振敏感度和尺寸需求。但是，目前的模斑转换器的特征尺寸大都在几十纳米到几百纳米之间，需要进行电子束光刻，制造成本高。
技术实现思路
1、针对上述技术问题，本专利技术实施例提供了一种薄膜铌酸锂模斑转换器。
2、本专利技术实施例提供了一种...
【技术保护点】
1.一种薄膜铌酸锂模斑转换器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的薄膜铌酸锂模斑转换器，其特征在于，所述铌酸锂光波导包括第一耦合部和第一传输部，所述第一耦合部用于和所述片上光器件相接，所述第一传输部为锥形结构，设有宽端和尖端，所述第一传输部的宽端连接于所述第一耦合部，所述第一传输部的尖端朝向所述外部光纤所在的一端；
3.根据权利要求2所述的薄膜铌酸锂模斑转换器，其特征在于，所述引导片为锥形结构，设有宽端和尖端，所述引导片的宽端对准于所述第二传输部的宽端，所述引导片的尖端对准于所述第二传输部的尖端。
4.根据权利要求3所述的薄...
【技术特征摘要】
1.一种薄膜铌酸锂模斑转换器，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的薄膜铌酸锂模斑转换器，其特征在于，所述铌酸锂光波导包括第一耦合部和第一传输部，所述第一耦合部用于和所述片上光器件相接，所述第一传输部为锥形结构，设有宽端和尖端，所述第一传输部的宽端连接于所述第一耦合部，所述第一传输部的尖端朝向所述外部光纤所在的一端；
3.根据权利要求2所述的薄膜铌酸锂模斑转换器，其特征在于，所述引导片为锥形结构，设有宽端和尖端，所述引导片的宽端对准于所述第二传输部的宽端，所述引导片的尖端对准于所述第二传输部的尖端。
4.根据权利要求3所述的薄膜铌酸锂模斑转换器，其特征在于，所述第二传输部的尖端对准于所述第一传输部的宽端，所述第二传输部的尖端和两侧所述引导片的尖端的宽度之和小于等于所述第一传输部的宽端宽度。
5.根据权利要求4所述的薄膜铌酸锂模斑转换器，其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员：郑婉华，易赵正，王明金，刘文振，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：发明
国别省市：
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