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薄膜铌酸锂模斑转换器制造技术
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下载薄膜铌酸锂模斑转换器的技术资料
文档序号:41512970
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本发明实施例提供了一种薄膜铌酸锂模斑转换器,涉及光通信领域,薄膜铌酸锂模斑转换器包括:衬底层;绝缘层;铌酸锂光波导;填充层;第二光波导;引导片;引导片布设于第二光波导两侧,引导片的侧边接触于第二光波导的边沿,引导片用于引导光信号从第二光波导...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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