一种半导体芯片检测装置制造方法及图纸

本技术公开了一种半导体芯片检测装置，包括输入输送带、输出输送带、不合格品输送带、上视觉检测装置、下视觉检测装置和物料转移装置；所述输入输送带、输出输送带和不合格品输送带上均设置托盘，所述物料转移装置位于输入输送带、输出输送带、不合格品输送带和下视觉检测装置的包围中心，所述物料转移装置包括转盘，所述转盘采用步进电机驱动，所述转盘的外部环形阵列设置四根臂杆，且每个臂杆上均设置真空吸盘，且每个真空吸盘分别对应着输入输送带的输出端、输出输送带的输入端、不合格品输送带的输入端及下视觉检测装置，所述真空吸盘配置下压缸。本技术无需对半导体芯片可进行翻面，有效的提升了半导体芯片缺陷检测的效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体，具体涉及一种半导体芯片检测装置。

技术介绍

1、在半导体芯片生产制造出来之后需要经过一系列的检测才可正式投入市场使用，现有技术中对半导体芯片进行缺陷检测时，往往都是将半导体芯片固定起来，对半导体芯片进行缺陷检测时，需要先检测一面，然后再手动翻面检测另一面，降低了半导体芯片检测的效率。

技术实现思路

1、本技术的目的在于针对现有技术的缺陷和不足，提供一种半导体芯片检测装置。

2、为实现上述目的，本技术采用的技术方案是：一种半导体芯片检测装置，其创新点在于：包括输入输送带、输出输送带、不合格品输送带、上视觉检测装置、下视觉检测装置和物料转移装置；所述输入输送带、输出输送带和不合格品输送带上均设置托盘，所述物料转移装置位于输入输送带、输出输送带、不合格品输送带和下视觉检测装置的包围中心，所述物料转移装置包括转盘，所述转盘采用步进电机驱动，所述转盘的外部环形阵列设置四根臂杆，且每个臂杆上均设置真空吸盘，且每个真空吸盘分别对应着输入输送带的输出端、输出输送带的输入端、不合格品输送带的输入端及下视觉检测装置，所述真空吸盘配置下压缸；所述上视觉检测装置位于输入输送带旁侧，且上视觉检测装置检测相机位于输入输送带的上方；所述下视觉检测装置的检测相机位于真空吸盘的正下方。

3、进一步的，所述托盘采用橡胶材质。

4、进一步的，还包括plc控制系统，所述plc控制系统分别与输入输送带、输出输送带、不合格品输送带、上视觉检测装置、下视觉检测装置和物料转移装置电性连接。

5、采用上述结构后，本技术有益效果为：

6、本技术通过设置上视觉检测装置对半导体芯片的上表面进行检测，再通过下视觉检测装置和物料转移装置之间的配合，对半导体芯片的下表面进行检测，并通过不通的输送带输出，无需对半导体芯片可进行翻面，有效的提升了半导体芯片缺陷检测的效率。

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【技术保护点】

1.一种半导体芯片检测装置，其特征在于：包括输入输送带、输出输送带、不合格品输送带、上视觉检测装置、下视觉检测装置和物料转移装置；所述输入输送带、输出输送带和不合格品输送带上均设置托盘，所述物料转移装置位于输入输送带、输出输送带、不合格品输送带和下视觉检测装置的包围中心，所述物料转移装置包括转盘，所述转盘采用步进电机驱动，所述转盘的外部环形阵列设置四根臂杆，且每个臂杆上均设置真空吸盘，且每个真空吸盘分别对应着输入输送带的输出端、输出输送带的输入端、不合格品输送带的输入端及下视觉检测装置，所述真空吸盘配置下压缸；所述上视觉检测装置位于输入输送带旁侧，且上视觉检测装置检测相机位于输入输送带的上方；所述下视觉检测装置的检测相机位于真空吸盘的正下方。

2.根据权利要求1所述的一种半导体芯片检测装置，其特征在于：所述托盘采用橡胶材质。

3.根据权利要求1所述的一种半导体芯片检测装置，其特征在于：还包括PLC控制系统，所述PLC控制系统分别与输入输送带、输出输送带、不合格品输送带、上视觉检测装置、下视觉检测装置和物料转移装置电性连接。

【技术特征摘要】

1.一种半导体芯片检测装置，其特征在于：包括输入输送带、输出输送带、不合格品输送带、上视觉检测装置、下视觉检测装置和物料转移装置；所述输入输送带、输出输送带和不合格品输送带上均设置托盘，所述物料转移装置位于输入输送带、输出输送带、不合格品输送带和下视觉检测装置的包围中心，所述物料转移装置包括转盘，所述转盘采用步进电机驱动，所述转盘的外部环形阵列设置四根臂杆，且每个臂杆上均设置真空吸盘，且每个真空吸盘分别对应着输入输送带的输出端、输出输送带的输入端、不合格品输送带的输入端及下视...

【专利技术属性】
技术研发人员：尤红权，邓光伟，朱志松，陈磊，
申请(专利权)人：南通国尚精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：