【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体加工的输送装置
[0001]本技术涉及半导体加工
,具体涉及一种用于半导体加工的输送装置。
技术介绍
[0002]目前现有技术中的干燥方式,多使用室温去湿,但该种方式需要较长时间,从而降低了生产效率,而一般的运输装置对半导体进行烘干,烘干效果并不好,且对半导体底部的烘干效果不佳,故而提出一种半导体加工用输送装置来解决上述所提出的问题。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于针对现有技术的缺陷和不足,提供一种用于半导体加工的输送装置。
[0004]为实现上述目的,本技术采用的技术方案是:一种用于半导体加工的输送装置,包括机架,其创新点在于:所述机架内设置多个空心辊,且每个空心辊均开设多个出气孔,所述空心辊的一端封闭,且设置皮带轮,所述皮带轮之间采用皮带进行传动连接,且皮带通过电机驱动,所述空心辊的另一端设置旋转接头,所述旋转接头共同连接一个气管,所述气管上设置多个进气口,所述进气口外接热气源;所述空心辊的上方设置烘干箱,所述烘干箱的底部设置多个出气嘴,所述烘干箱的顶部设置多个进气管,所述进气管外接热气源。
[0005]进一步的,所述出气嘴排列设置,且每一排对应着一个空心辊。
[0006]进一步的,所述烘干箱也可采用电热管的方式进行加热。
[0007]进一步的,所述进气口和进气管均至少包括3个,且分别位于左中右。
[0008]采用上述结构后,本技术有益效果为:
[0009]本技术结构紧凑合理,使用方便;通过设置空心辊和烘干箱能够对半导体进 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于半导体加工的输送装置,包括机架,其特征在于:所述机架内设置多个空心辊,且每个空心辊均开设多个出气孔,所述空心辊的一端封闭,且设置皮带轮,所述皮带轮之间采用皮带进行传动连接,且皮带通过电机驱动,所述空心辊的另一端设置旋转接头,所述旋转接头共同连接一个气管,所述气管上设置多个进气口,所述进气口外接热气源;所述空心辊的上方设置烘干箱,所述烘干箱的底部设置多个出气嘴,所述烘干箱的顶...
【专利技术属性】
技术研发人员:尤红权,陈磊,施剑,
申请(专利权)人:南通国尚精密机械有限公司,
类型:新型
国别省市:
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