一种用于半导体加工的输送装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于半导体加工的输送装置，包括机架，所述机架内设置多个空心辊，且每个空心辊均开设多个出气孔，所述空心辊的一端封闭，且设置皮带轮，所述皮带轮之间采用皮带进行传动连接，且皮带通过电机驱动，所述空心辊的另一端设置旋转接头，所述旋转接头共同连接一个气管，所述气管上设置多个进气口，所述进气口外接热气源；所述空心辊的上方设置烘干箱，所述烘干箱的底部设置多个出气嘴，所述烘干箱的顶部设置多个进气管，所述进气管外接热气源。本实用新型专利技术结构紧凑合理，使用方便；通过设置空心辊和烘干箱能够对半导体进行上下同时加热烘干，提高烘干效率和烘干质量。量。量。

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体加工的输送装置


[0001]本技术涉及半导体加工
，具体涉及一种用于半导体加工的输送装置。

技术介绍

[0002]目前现有技术中的干燥方式，多使用室温去湿，但该种方式需要较长时间，从而降低了生产效率，而一般的运输装置对半导体进行烘干，烘干效果并不好，且对半导体底部的烘干效果不佳，故而提出一种半导体加工用输送装置来解决上述所提出的问题。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于针对现有技术的缺陷和不足，提供一种用于半导体加工的输送装置。
[0004]为实现上述目的，本技术采用的技术方案是：一种用于半导体加工的输送装置，包括机架，其创新点在于：所述机架内设置多个空心辊，且每个空心辊均开设多个出气孔，所述空心辊的一端封闭，且设置皮带轮，所述皮带轮之间采用皮带进行传动连接，且皮带通过电机驱动，所述空心辊的另一端设置旋转接头，所述旋转接头共同连接一个气管，所述气管上设置多个进气口，所述进气口外接热气源；所述空心辊的上方设置烘干箱，所述烘干箱的底部设置多个出气嘴，所述烘干箱的顶部设置多个进气管，所述进气管外接热气源本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体加工的输送装置，包括机架，其特征在于：所述机架内设置多个空心辊，且每个空心辊均开设多个出气孔，所述空心辊的一端封闭，且设置皮带轮，所述皮带轮之间采用皮带进行传动连接，且皮带通过电机驱动，所述空心辊的另一端设置旋转接头，所述旋转接头共同连接一个气管，所述气管上设置多个进气口，所述进气口外接热气源；所述空心辊的上方设置烘干箱，所述烘干箱的底部设置多个出气嘴，所述烘干箱的顶...

【专利技术属性】
技术研发人员：尤红权，陈磊，施剑，
申请(专利权)人：南通国尚精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：