【技术实现步骤摘要】
本技术属于人造金刚石，具体涉及一种金刚石生长腔。
技术介绍
1、金刚石具备较高的应用价值，其应用领域广泛。天然金刚石数量有限且深埋于地底不易挖掘，金刚石的广泛应用使得其供不应求。为解决天然金刚石供不应求的问题，人造金刚石应运而生，传统人造金刚石方法多样，技术成熟的人造金刚石方法，主要有高压高温法、化学气相沉积法、水热生长法和脉冲激光辐照法等。最常用且能工厂化推广生产的人造金刚石方法为高压高温法和化学气相沉积法。其中化学气相沉积法主要利用金刚石生长腔内形成的等离子体沉积生成金刚石。现今，化学气相沉积法生成金刚石的技术虽日渐成熟，但用于沉积生成金刚石的金刚石生长腔仍具备结构复杂不易制作、重量大整体笨重不易搬移、生长腔腔门不易开启和占用空间较大等缺陷。
技术实现思路
1、本技术要解决的技术问题是：提供一种金刚石生长腔，以至少解决上述部分技术问题。
2、为实现上述目的，本技术采用的技术方案如下：
3、一种金刚石生长腔，包括基座板，以及设于基座板上的生长腔架；生长腔架侧壁可拆...
【技术保护点】
1.一种金刚石生长腔，其特征在于，包括基座板(1)，以及设于基座板(1)上的生长腔架(2)；生长腔架(2)侧壁可拆卸连接有腔门(7)；基座板(1)上开设有金刚石生长基台安装让位孔(3)，生长腔架(2)顶面设有等离子发生器安装让位孔(4)，等离子发生器安装让位孔(4)与金刚石生长基台安装让位孔(3)同轴心分布。
2.根据权利要求1所述的一种金刚石生长腔，其特征在于，生长腔架(2)包括固定安装于基座板(1)上的四根腔架柱(5)，以及固定安装于四根腔架柱(5)上的腔架盖板(6)，腔门(7)安装于相邻腔架柱(5)之间。
3.根据权利要求2所述的一种金刚...
【技术特征摘要】
1.一种金刚石生长腔，其特征在于，包括基座板(1)，以及设于基座板(1)上的生长腔架(2)；生长腔架(2)侧壁可拆卸连接有腔门(7)；基座板(1)上开设有金刚石生长基台安装让位孔(3)，生长腔架(2)顶面设有等离子发生器安装让位孔(4)，等离子发生器安装让位孔(4)与金刚石生长基台安装让位孔(3)同轴心分布。
2.根据权利要求1所述的一种金刚石生长腔，其特征在于，生长腔架(2)包括固定安装于基座板(1)上的四根腔架柱(5)，以及固定安装于四根腔架柱(5)上的腔架盖板(6)，腔门(7)安装于相邻腔架柱(5)之间。
3.根据权利要求2所述的一种金刚石生长腔，其特征在于，腔架柱(5)与腔门(7)相接触的外壁上设有台阶(8)，台阶(8)上开设有嵌装槽(9)，嵌装槽(9)内嵌装有与腔门(7)相密封的密封条(10)。
4.根据权利要求2所述的一种金刚石生长腔，其特征在于，腔门(7)包括固定腔门(11)和活动腔门(12)。
5.根据权利要求4所述的一种金刚石生长腔，其特征在于，安装活动腔门(12)的腔架柱(5)上设有磁铁块a(13)，活动腔门(12)上设有与磁铁块a(13)相适配的磁铁块b(14)，活动腔门(12)与相应腔架柱(5)之间通过磁铁块a(13...
【专利技术属性】
技术研发人员：王政磊，袁稳，郑怡，郑华，袁良，
申请(专利权)人：成都晶创未来科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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