一种金刚石温度测量装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种金刚石温度测量装置，解决了红外测温仪测量金刚石温度准确性较低的技术问题。包括若干个周向均布于金刚石生长腔顶部的视窗，以及滑动安装于金刚石生长腔顶部的相机，相机能环绕金刚石生长腔顶部做周向圆周运动，相机在经过视窗时通过视窗拍摄金刚石生长腔内部情形。本实用新型专利技术利用相机对生长腔内金刚石生长过程进行拍照，对所得照片进行识别分析，再通过金刚石颜色与温度的映射关系计算出金刚石温度，通过对照片进行分析计算得到生长腔内大部分金刚石晶体的温度，相对于红外测温仪，提高了对生长腔内金刚石温度测量的准确性。的准确性。的准确性。

【技术实现步骤摘要】
一种金刚石温度测量装置


[0001]本技术属于人造金刚石
，具体涉及一种金刚石温度测量装置。

技术介绍

[0002]微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)是制备高品质金刚石的首选方法。其中温度为金刚石生长过程中的关键参数，适当的温度范围可以有效提高金刚石生长的效率和成膜质量，而温度范围过低或过高，均将影响金刚石的生长效率和质量，因此，金刚石生长过程中测量金刚石温度尤为重要，目的在于实时了解金刚石温度变化，以便于根据金刚石温度变化对金刚石生长腔内各参数进行调整，使得金刚石晶体温度处于适当范围。
[0003]目前MPCVD金刚石生长过程中主要通过红外测温仪对金刚石晶体温度进行测量，但红外测温仪存在温度测量准确性低的缺陷，其只能对金刚石生长腔体内的单点进行探测，所测出的温度仅能代表腔体中众多金刚石晶体中的一片金刚石晶体的温度，代表不了其他金刚石晶体的生长温度。而生长腔内生长基台上不同区域内的金刚石晶体温度存在差异，后续根据单片金刚石晶体温度调整生长腔内各参数所得的温度范围并不适用于其他金刚石晶体。
[0004]现有热成像技术能很好解决红外测温仪仅能测量单点温度的问题，但MPCVD工艺生长过程中，金刚石晶体表面形成有一超高温等离子团，该高温等离子团会干扰热成像技术对金刚石晶体温度的测试，影响热成像技术测量金刚石晶体温度的准确性。

技术实现思路

[0005]本技术要解决的技术问题是：提供一种金刚石温度测量装置，以解决金刚石晶体生长过程中采用红外测温准确性低的技术问题。
[0006]为实现上述目的，本技术采用的技术方案如下：
[0007]一种金刚石温度测量装置，包括若干个周向均布于金刚石生长腔顶部的视窗，以及滑动安装于金刚石生长腔顶部的相机，相机能环绕金刚石生长腔顶部做周向圆周运动，相机在经过视窗时通过视窗拍摄金刚石生长腔内部情形。
[0008]进一步地，金刚石生长腔顶部设有环形导轨，环形导轨上滑动连接有滑块，相机安装于滑块上，金刚石生长腔顶部设有与滑块相连接用于驱动滑块沿着环形导轨做周向圆周运动的驱动机构。
[0009]进一步地，驱动机构包括设于金刚石生长腔顶部中心的驱动电机，以及连接于驱动电机驱动轴上并与滑块相连接的连接件。
[0010]进一步地，连接件包括连接于驱动电机驱动轴上的转动轴，与转动轴相连的驱动杆，以及一对连接于驱动杆上的弧形连动杆，滑块与弧形连动杆相连接。
[0011]进一步地，驱动杆和一对弧形连动杆位于同一平面并且一对弧形连动杆以驱动杆为对称轴对称分布。
[0012]进一步地，一对弧形连动杆之间围成有与相机拍摄视角方向相适配的拍摄孔。
[0013]进一步地，滑块上设有连接板，连接板上设有转动机构，相机通过转动机构转动安装于连接板上。
[0014]进一步地，转动机构包括设于连接板上的转轴，安装于转轴上的转动块，设于转动块上的箍圈，以及设于滑块上的直线电机；直线电机驱动轴与转动块铰接，相机安装于箍圈内。
[0015]进一步地，连接板上设有一对连接柱，转轴转动安装于一对连接柱之间。
[0016]进一步地，转动块包括与转轴相连接的连接块，以及与连接块为一体结构的延伸块，延伸块与连接块之间形成有30
°‑
45
°
的夹角，直线电机驱动轴与延伸块相铰接。
[0017]与现有技术相比，本技术具有以下有益效果：
[0018]本技术结构简单、设计科学合理，使用方便，利用相机对金刚石生长腔内金刚石生长过程进行拍照，对所得照片进行识别、分析，再通过金刚石颜色与温度的映射关系，计算出金刚石温度，由于拍照所得照片内包含了大部分金刚石晶体图像，因此可通过对照片进行分析计算得到生长腔内大部分金刚石晶体的温度，相对于红外测温仪，提高了对金刚石生长腔内金刚石温度测量的准确性。
附图说明
[0019]图1为本技术结构示意图。
[0020]图2为连接板结构示意图。
[0021]图3为环形导轨与支撑杆的截面图。
[0022]图4为滑块结构示意图。
[0023]图5为金刚石生长腔外观图。
[0024]图6为直线电机驱动轴与连接块的铰接关系图。
[0025]其中，附图标记对应的名称为：
[0026]1‑
金刚石生长腔、2
‑
相机、3
‑
单片机、4
‑
环形导轨、5
‑
滑块、6
‑
支撑杆、7
‑
视窗、8
‑
连接板、9
‑
连接柱、10
‑
转轴、11
‑
转动块、12
‑
箍圈、13
‑
连接块、14
‑
延伸块、16
‑
直线电机、19
‑
驱动电机、20
‑
驱动杆、21
‑
拍摄孔、22
‑
弧形连动杆、23
‑
转动轴、24
‑
触控屏、25
‑
金刚石晶体。
具体实施方式
[0027]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图，对本技术进一步详细说明。显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0028]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位或者以特定的方位构造和操作，因此其不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0029]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地
连接；当然的，还可以是机械连接，也可以是电连接；另外的，还可以是直接相连，也可以是通过中间媒介间接相连，或者可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0030]实施例1
[0031]如图1
‑
6所示，本技术提供的一种金刚石温度测量装置，包括若干个周向均布于金刚石生长腔1顶部的视窗7，以及滑动安装于金刚石生长腔1顶部的相机2，相机2能环绕金刚石生长腔1顶部做周向圆周运动，相机2在经过视窗7时通过视窗7拍摄金刚石生长腔1内部情形。
[0032]本实施例1中，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种金刚石温度测量装置，其特征在于，包括若干个周向均布于金刚石生长腔(1)顶部的视窗(7)，以及滑动安装于金刚石生长腔(1)顶部的相机(2)，相机(2)能环绕金刚石生长腔(1)顶部做周向圆周运动，相机(2)在经过视窗(7)时通过视窗(7)拍摄金刚石生长腔(1)内部情形。2.根据权利要求1所述的一种金刚石温度测量装置，其特征在于，金刚石生长腔(1)顶部设有环形导轨(4)，环形导轨(4)上滑动连接有滑块(5)，相机(2)安装于滑块(5)上，金刚石生长腔(1)顶部设有与滑块(5)相连接用于驱动滑块(5)沿着环形导轨(4)做周向圆周运动的驱动机构。3.根据权利要求2所述的一种金刚石温度测量装置，其特征在于，驱动机构包括设于金刚石生长腔(1)顶部中心的驱动电机(19)，以及连接于驱动电机(19)驱动轴上并与滑块(5)相连接的连接件。4.根据权利要求3所述的一种金刚石温度测量装置，其特征在于，连接件包括连接于驱动电机(19)驱动轴上的转动轴(23)，与转动轴(23)相连的驱动杆(20)，以及一对连接于驱动杆(20)上的弧形连动杆(22)，滑块(5)与弧形连动杆(22)相连接。5.根据权利要求4所述的一种金刚石温度测量装置，其特征在于，驱动杆(20)和一对弧形连动杆(22)位于同一平面并且一对弧形连动杆(22)...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁稳，郑怡，王政磊，李兵，郑华，
申请(专利权)人：成都晶创未来科技有限公司，
类型：新型
国别省市：