一种镍铬合金溅射靶材用热压机制造技术

本技术公开了一种镍铬合金溅射靶材用热压机，涉及靶材热压技术领域，包括底座，底座上固定设有四根相对对称的升降柱，升降柱的顶端固定设有安装板，安装板的中心点处固定设有电动升缩杆，电动升缩杆的输出端固定设有推杆，推杆下端固定设有升降板，升降板的四角处与升降柱滑动相连，底座对应升降板处设有热压槽，热压槽的两侧固定设有相对称的调节座，底座位于热压槽的下方设有冷却仓，底座的侧边固定设有循环箱；冷却仓内滑动设有导热板，本技术操作简便，在对镍铬合金溅射靶材热压成型时，可以在热压成型后，自动对镍铬靶材进行快速降温，提高工作效率，实用性强，适合推广。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于靶材热压，具体涉及一种镍铬合金溅射靶材用热压机。

技术介绍

1、铬合金具有高强度和抗腐蚀性，与铁和镍组成的合金俗称不锈钢。靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，镍铬合金溅射靶材在真空镀膜行业也应用较广，可以做成一定比例的合金靶材，作磁控溅射镀膜的原材料。在镍铬合金溅射靶材生产时，多是通过热压机热压成型。

2、热压机是一种将两个预先上好助焊剂镀锡的零件加热到足以使焊锡熔化、流动的温度，固化后，在零件与焊锡之间形成一个永久的电气机械连接设备。在镍铬合金溅射靶材通过热压机热压成型时，由于温度过高，在热压成型后，需要等待冷却后取出，使工作效率低。

技术实现思路

1、本技术的目的是提供一种镍铬合金溅射靶材用热压机，操作简便，在对镍铬合金溅射靶材热压成型时，可以在热压成型后，自动对镍铬靶材进行快速降温，提高工作效率，实用性强，适合推广。

2、本技术提供了如下的技术方案：一种镍铬合金溅射靶材用热压机，包括底座，所述底座前端固定设有操控台，所述底座上固定设有四根相对对称的升降柱，所述升降柱的顶端固定设有安装板，所述安装板的中心点处固定设有电动升缩杆，所述电动升缩杆的输出端固定设有推杆，所述推杆下端固定设有升降板，所述升降板的四角处与升降柱滑动相连，所述底座对应升降板处设有热压槽，所述热压槽的两侧固定设有相对称的调节座，所述底座位于热压槽的下方设有冷却仓，所述底座的侧边固定设有循环箱；

3、所述冷却仓内滑动设有导热板，所述导热板两侧固定设有两排支撑弹簧，所述支撑弹簧的另一端与冷却仓的底部相连，所述导热板在不受外力的状态下贴合在热压槽的下方，所述循环箱连接有输液管，所述输液管连通有盘绕管，所述盘绕管固定盘绕在导热板的下方，所述调节座上设置有压转机构，压转机构与导热板相连。

4、优选地，压转机构包括第一转轴，所述调节座位于冷却仓处相贯通，第一转轴固定在贯通处，所述第一转轴位于调节座处设有倾斜向外延伸的下压架，所述第一转轴位于冷却仓内设有旋转架，所述旋转架与下压架位于第一转轴处固定相连，所述下压架的另一端通过第二转轴连接有滑条，所述导热板两侧对应滑条处固定设有滑动槽，所述滑动槽与滑条滑动相连。

5、优选地，循环箱内循环输送有冷凝液，所述输液管在冷却仓内为弯曲的软管。

6、优选地，热压槽内放置有镍铬合金原料，所述升降板下端对应热压槽处设有热压板，所述下压架上端对应升降板的两侧，且设有挤压倒角。

7、本技术的有益效果：操作简便，在对镍铬合金溅射靶材热压成型时，可以在热压成型后，自动对镍铬靶材进行快速降温，提高工作效率，实用性强，具体如下：

8、本技术设有调节座，在镍铬合金原料进行热压成型时，电动升缩杆运转，升降板与热压板下压，在热压板下压至热压槽处时，升降板与下压架接触，将其下压，下压架绕第一转轴旋转，下压架旋转时，旋转架随之绕第一转轴旋转，其顶端的位置向下偏移，带动导热板向下移动，使其与热压槽的底部分离，不影响热压板对镍铬合金原料加热，在镍铬合金靶材成型之后，升降板与热压板上抬，支撑弹簧将导热板复位，使其贴合在热压槽底部，通过盘绕管循环的冷凝液对镍铬合金靶材进行快速降温，以提高工作效率。

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【技术保护点】

1.一种镍铬合金溅射靶材用热压机，包括底座(1)，所述底座(1)前端固定设有操控台(12)，所述底座(1)上固定设有四根相对对称的升降柱(2)，所述升降柱(2)的顶端固定设有安装板(3)，所述安装板(3)的中心点处固定设有电动升缩杆(5)，所述电动升缩杆(5)的输出端固定设有推杆(6)，所述推杆(6)下端固定设有升降板(4)，所述升降板(4)的四角处与升降柱(2)滑动相连，其特征在于，所述底座(1)对应升降板(4)处设有热压槽(8)，所述热压槽(8)的两侧固定设有相对称的调节座(9)，所述底座(1)位于热压槽(8)的下方设有冷却仓(11)，所述底座(1)的侧边固定设有循环箱(13)；

2.根据权利要求1所述的一种镍铬合金溅射靶材用热压机，其特征在于，所述压转机构包括第一转轴(20)，所述调节座(9)位于冷却仓(11)处相贯通，第一转轴(20)固定在贯通处，所述第一转轴(20)位于调节座(9)处设有倾斜向外延伸的下压架(21)，所述第一转轴(20)位于冷却仓(11)内设有旋转架(18)，所述旋转架(18)与下压架(21)位于第一转轴(20)处固定相连，所述旋转架(18)的另一端通过第二转轴(22)连接有滑条(23)，所述导热板(14)两侧对应滑条(23)处固定设有滑动槽(19)，所述滑动槽(19)与滑条(23)滑动相连。

3.根据权利要求1所述的一种镍铬合金溅射靶材用热压机，其特征在于，所述循环箱(13)内循环输送有冷凝液，所述输液管(15)在冷却仓(11)内为弯曲的软管。

4.根据权利要求1所述的一种镍铬合金溅射靶材用热压机，其特征在于，所述热压槽(8)内放置有镍铬合金原料，所述升降板(4)下端对应热压槽(8)处设有热压板(10)，所述下压架(21)上端对应升降板(4)的两侧，且设有挤压倒角(24)。

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【技术特征摘要】

1.一种镍铬合金溅射靶材用热压机，包括底座(1)，所述底座(1)前端固定设有操控台(12)，所述底座(1)上固定设有四根相对对称的升降柱(2)，所述升降柱(2)的顶端固定设有安装板(3)，所述安装板(3)的中心点处固定设有电动升缩杆(5)，所述电动升缩杆(5)的输出端固定设有推杆(6)，所述推杆(6)下端固定设有升降板(4)，所述升降板(4)的四角处与升降柱(2)滑动相连，其特征在于，所述底座(1)对应升降板(4)处设有热压槽(8)，所述热压槽(8)的两侧固定设有相对称的调节座(9)，所述底座(1)位于热压槽(8)的下方设有冷却仓(11)，所述底座(1)的侧边固定设有循环箱(13)；

2.根据权利要求1所述的一种镍铬合金溅射靶材用热压机，其特征在于，所述压转机构包括第一转轴(20)，所述调节座(9)位于冷却仓(11)处相贯通，第一转轴(20)固定在贯通处，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶庭，黄家荣，王舒宇，聂翔，
申请(专利权)人：南京欧美达应用材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：