一种溅射靶材绑定用焊接台制造技术

技术编号:41152561 阅读:3 留言:0更新日期:2024-04-30 18:18
本技术公开了一种溅射靶材绑定用焊接台,具体涉及溅射靶材技术领域,包括底架,所述底架的顶部固定连接有操作板,且操作板的顶部贯穿开设有排槽,所述操作板的外壁设置有电机,所述一号丝杆的外壁螺纹连接有螺纹环,所述调节板的一侧固定连接有连接架,所述连接架的另一侧固定连接有调节环。该用于溅射靶材绑定用焊接台,通过设置的调节板、清理板与卸料仓,采用同步调节的方式,完成对操作板表面的清理,从而方便了工作人员对溅射靶材背板绑定后对操作板表面进行快速清理,进而提高了工作人员后续对操作板进行清理的效率,同时保障了工作人员后续对操作板进行使用的整洁性,增加了整体装置的实用性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及溅射靶材,具体为一种溅射靶材绑定用焊接台


技术介绍

1、溅射靶材的要求较传统材料行业高,一般要求如,尺寸、平整度、纯度、各项杂质含量、密度、n/o/c/s、晶粒尺寸与缺陷控制;较高要求或特殊要求包含:表面粗糙度、电阻值、晶粒尺寸均匀性、成份与组织均匀性、异物含量与尺寸、导磁率、超高密度与超细晶粒等等,磁控溅射镀膜是一种新型的物理气相镀膜方式,就是用电子枪系统把电子发射并聚焦在被镀的材料上,使其被溅射出来的原子遵循动量转换原理以较高的动能脱离材料飞向基片淀积成膜,这种被镀的材料就叫溅射靶材。

2、现有的溅射靶材绑定用焊接台,通常在工作人员对溅射靶材绑定完成后,需要第一时间对焊接台进行清理,从而导致焊接胶残留在溅射靶材绑定用焊接台上,进而影响工作人员后续对溅射靶材绑定的效果,同时后续需要工作人员花费较多的时间对绑定用焊接台进行清理,进而增加了工作人员后续对溅射靶材绑定用焊接台进行清理的工作强度,因此,现有的溅射靶材绑定用焊接台需要进行一定的改进。


技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种溅射靶材绑定用焊接台,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种溅射靶材绑定用焊接台,包括底架,所述底架的顶部固定连接有操作板,且操作板的顶部贯穿开设有排槽,所述操作板的外壁设置有电机,且电机的输出轴通过联轴器连接有一号丝杆,所述一号丝杆的外壁螺纹连接有螺纹环,且螺纹环的外壁固定连接有调节板;

3、所述调节板的一侧固定连接有连接架,所述连接架的另一侧固定连接有调节环,所述底架的内壁贯穿开设有滑槽,且滑槽的内壁滑动连接有滑块,所述滑块的一侧固定连接有收集箱,且收集箱的一侧固定连接有把手。

4、优选的,所述一号丝杆通过电机构成旋转结构,且一号丝杆的另一端固定连接有连接杆,所述连接杆的另一端固定连接有二号丝杆。

5、优选的,所述二号丝杆通过连接杆与一号丝杆构成一体化旋转结构,且二号丝杆与一号丝杆为相反螺纹设置,所述二号丝杆与一号丝杆的外壁螺纹连接有螺纹环。

6、优选的,所述螺纹环的内壁贯穿开设有螺纹孔,且螺纹环通过螺纹孔与一号丝杆构成螺纹滑动结构,所述调节板的底端固定连接有清理板。

7、优选的,所述连接架的两侧固定连接有调节板与调节环,且调节环通过连接架与调节板构成一体化结构,所述调节环的内壁开设有调节槽,且调节槽的内壁设置有弹簧架。

8、优选的,所述弹簧架的一端固定连接有垫板,且垫板通过弹簧架与调节槽构成伸缩结构,所述垫板的材质为橡胶。

9、优选的,所述底架的内壁固定连接有卸料仓,且卸料仓与底架水平面之间的夹角为30度,所述卸料仓与收集箱在同意垂直线上。

10、与现有技术相比,本技术的有益效果是:该用于溅射靶材绑定用焊接台;

11、1.通过设置的调节板、清理板与卸料仓,采用同步调节的方式,此时调节板带动清理板进行同步调节,以使得工作人员对溅射靶材背板进行取出时,从而带动清理板沿着操作板的表面进行滑动,进而将操作板表面产留的杂质清理至排槽内,以使得杂质通过卸料仓落入收集箱内,完成对操作板表面的清理,从而方便了工作人员对溅射靶材背板绑定后对操作板表面进行快速清理,进而提高了工作人员后续对操作板进行清理的效率,同时保障了工作人员后续对操作板进行使用的整洁性,增加了整体装置的实用性;

12、2.通过设置的调节板与调节环,采用双向丝杆调节,此时两个调节板带动调节环向中心处进行移动,以使得两个调节环对溅射靶材背板进行固定,从而保障溅射靶材后续进行绑定的稳定性,同时通过弹簧复位调节,从而带动垫板进行调节,完成对溅射靶材背板的限位,从而方便了工作人员对不同规格溅射靶材进行快速限位,保障了工作人员对溅射靶材进行限位的稳定性,同时防止了后续溅射靶材进行绑定时发生偏移的现象,进而提高了后续工作人员对溅射靶材绑定的质量。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种溅射靶材绑定用焊接台,包括底架(1),其特征在于:所述底架(1)的顶部固定连接有操作板(2),且操作板(2)的顶部贯穿开设有排槽(3),所述操作板(2)的外壁设置有电机(4),且电机(4)的输出轴通过联轴器连接有一号丝杆(5),所述一号丝杆(5)的外壁螺纹连接有螺纹环(8),且螺纹环(8)的外壁固定连接有调节板(9);

2.根据权利要求1所述的一种溅射靶材绑定用焊接台,其特征在于,所述一号丝杆(5)通过电机(4)构成旋转结构,且一号丝杆(5)的另一端固定连接有连接杆(6),所述连接杆(6)的另一端固定连接有二号丝杆(7)。

3.根据权利要求2所述的一种溅射靶材绑定用焊接台,其特征在于,所述二号丝杆(7)通过连接杆(6)与一号丝杆(5)构成一体化旋转结构,且二号丝杆(7)与一号丝杆(5)为相反螺纹设置,所述二号丝杆(7)与一号丝杆(5)的外壁螺纹连接有螺纹环(8)。

4.根据权利要求1所述的一种溅射靶材绑定用焊接台,其特征在于,所述螺纹环(8)的内壁贯穿开设有螺纹孔,且螺纹环(8)通过螺纹孔与一号丝杆(5)构成螺纹滑动结构,所述调节板(9)的底端固定连接有清理板(16)。

5.根据权利要求1所述的一种溅射靶材绑定用焊接台,其特征在于,所述连接架(11)的两侧固定连接有调节板(9)与调节环(12),且调节环(12)通过连接架(11)与调节板(9)构成一体化结构,所述调节环(12)的内壁开设有调节槽(13),且调节槽(13)的内壁设置有弹簧架(14)。

6.根据权利要求5所述的一种溅射靶材绑定用焊接台,其特征在于,所述弹簧架(14)的一端固定连接有垫板(15),且垫板(15)通过弹簧架(14)与调节槽(13)构成伸缩结构,所述垫板(15)的材质为橡胶。

7.根据权利要求1所述的一种溅射靶材绑定用焊接台,其特征在于,所述底架(1)的内壁固定连接有卸料仓(17),且卸料仓(17)与底架(1)水平面之间的夹角为30度,所述卸料仓(17)与收集箱(20)在同意垂直线上。

...

【技术特征摘要】

1.一种溅射靶材绑定用焊接台,包括底架(1),其特征在于:所述底架(1)的顶部固定连接有操作板(2),且操作板(2)的顶部贯穿开设有排槽(3),所述操作板(2)的外壁设置有电机(4),且电机(4)的输出轴通过联轴器连接有一号丝杆(5),所述一号丝杆(5)的外壁螺纹连接有螺纹环(8),且螺纹环(8)的外壁固定连接有调节板(9);

2.根据权利要求1所述的一种溅射靶材绑定用焊接台,其特征在于,所述一号丝杆(5)通过电机(4)构成旋转结构,且一号丝杆(5)的另一端固定连接有连接杆(6),所述连接杆(6)的另一端固定连接有二号丝杆(7)。

3.根据权利要求2所述的一种溅射靶材绑定用焊接台,其特征在于,所述二号丝杆(7)通过连接杆(6)与一号丝杆(5)构成一体化旋转结构,且二号丝杆(7)与一号丝杆(5)为相反螺纹设置,所述二号丝杆(7)与一号丝杆(5)的外壁螺纹连接有螺纹环(8)。

4.根据权利要求1所述的一种溅射靶材绑定用焊接台,其特征在于,...

【专利技术属性】
技术研发人员:侯金明周心立王舒宇陈玲冷
申请(专利权)人:南京欧美达应用材料科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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