【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及碳化硅切割液领域，具体涉及一种碳化硅切割液助剂组合物、改性碳化硅切割液及其制备方法和应用。
技术介绍
1、碳化硅属于第三代半导体材料的代表，具有高热导率、高临界击穿场度、高电子饱和漂移速率等优点，在半导体制造领域具有巨大的应用前景。目前，半导体产业大量应用的碳化硅片主要通过对碳化硅晶锭切割取得。在碳化硅切割领域，各大厂商均应用多线切割技术。多线切割是近年来发展成熟的切割技术，它通过金属丝带动研磨料进行研磨加工来切割晶片，具有切割效率高、材料损耗小、成本降低、晶片表面质量高、可切割大尺寸材料、方便后续加工等特点。其机理为机器导轮在高速运转中带动刚线，从而由钢线将切割液和金刚石微粉混合的砂浆送到切割区，在钢线的高速运转中与压在线网上的工件通过连续摩擦完成切割的过程。
2、在碳化硅晶片切割生产过程中，作为金属丝切割的负责耗材，晶片切割液并不可少。切割液在悬浮能力、冷却性能、润滑性能和砂浆分散性能的好坏，很大程度上决定了晶片切割的精度和效率。
3、目前市场上普通的碳化硅切割液抗杂质能力较差，多次重复使用后切割液性能明显下降，污片率和线痕片率明显上升，且成品率大大下降。
4、cn102433191a公开了一种碳化硅切割液，含有聚乙二醇切割液、二甘醇切割液和多胺醇切割液中的一种，还含有多酚类化合物。相对于市售的碳化硅切割液，该碳化硅切割液的抗杂质性能在一定程度上得到了提升，然而，该性能还有待进一步提升。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是为了
2、为了实现上述目的，本专利技术一方面提供一种碳化硅切割液助剂组合物，包含质量比为18-22：1-4：1的油酸二乙醇酰胺硼酸酯、硅酸盐和原花青素。
3、优选地，所述硅酸盐为硅酸钠。
4、本专利技术第二方面提供本专利技术第一方面提供的碳化硅切割液助剂组合物在制备碳化硅切割液中的应用。
5、本专利技术第三方面提供一种改性碳化硅切割液的制备方法，该制备方法应用本专利技术第一方面提供的碳化硅切割液助剂组合物进行，包括以下步骤：
6、s1：将原花青素与碳化硅切割液进行第一混合处理，得到混合物i；
7、s2：将油酸二乙醇酰胺硼酸酯和硅酸盐与所述混合物i进行第二混合处理，得到改性碳化硅切割液。
8、优选地，在步骤s1中，进行所述第一混合处理的所述原花青素与所述碳化硅切割液的质量比为0.3-0.8：100。
9、优选地，在步骤s1中，所述碳化硅切割液为聚乙二醇切割液、二甘醇切割液、多胺醇切割液中的至少一种。
10、优选地，在步骤s1中，所述第一混合处理至少满足以下条件：温度为105℃-115℃，压力以表压计为1600mpa-1800mpa，时间为6h-10h。
11、优选地，在步骤s2中，所述第二混合处理至少满足以下条件：温度为110℃-120℃，压力以表压计为1900mpa-2100mpa，时间为9h-13h。
12、优选地，所述第二混合处理的温度不低于所述第一混合处理的温度，所述第二混合处理的压力不低于所述第一混合处理的压力。
13、本专利技术第四方面提供本专利技术第三方面提供的制备方法制得的改性碳化硅切割液。
14、本专利技术第五方面提供碳化硅晶体的切割方法，包括以下步骤：
15、s1：将改性碳化硅切割液与金刚石粉混合，得到砂浆；
16、s2：将所述砂浆与碳化硅晶体进行接触处理，并采用碳化硅切割机对所述碳化硅晶体与所述砂浆的接触点进行切割处理；
17、其中，所述改性碳化硅切割液为本专利技术第三方面提供的制备方法制得的改性碳化硅切割液。
18、优选地，在步骤s1中，相对于每1l的所述改性碳化硅切割液，所述金刚石粉的用量为0.8kg-1.2kg。
19、本专利技术提供的碳化硅切割液助剂组合物，能够大大提升所述碳化硅切割液的各项性能，降低碳化硅切割液切割碳化硅晶体时的污片率和线痕片率，提高成品率，同时，还能够提高碳化硅切割液的重复利用率，具有较大的实用价值和经济效益。
20、本专利技术提供的改性碳化硅切割液的制备方法，将本专利技术第一方面提供的碳化硅切割液助剂组合物以特定的步骤添加至所述碳化硅切割液，制备过程简单，参数易控，制得的改性碳化硅切割液切割碳化硅晶体的污片率低、线痕片率低、成品率高，且重复利用率高。
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1.一种碳化硅切割液助剂组合物，其特征在于，包含质量比为18-22：1-4：1的油酸二乙醇酰胺硼酸酯、硅酸盐和原花青素。
2.根据权利要求1所述的碳化硅切割液助剂组合物，其特征在于，所述硅酸盐为硅酸钠。
3.权利要求1或2所述的碳化硅切割液助剂组合物在制备碳化硅切割液中的应用。
4.一种改性碳化硅切割液的制备方法，其特征在于，该制备方法应用权利要求1或2所述的碳化硅切割液助剂组合物进行，包括以下步骤：
5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，在步骤S1中，进行所述第一混合处理的所述原花青素与所述碳化硅切割液的质量比为0.3-0.8：100；
6.根据权利要求4或5所述的制备方法，其特征在于，在步骤S1中，所述第一混合处理至少满足以下条件：温度为105℃-115℃，压力以表压计为1600MPa-1800MPa，时间为6h-10h；
7.根据权利要求4或5所述的制备方法，其特征在于，所述第二混合处理的温度不低于所述第一混合处理的温度，所述第二混合处理的压力不低于所述第一混合处理的压力。
8.权利
9.一种碳化硅晶体的切割方法，其特征在于，包括以下步骤：
10.根据权利要求9所述的切割方法，其特征在于，在步骤S1中，相对于每1L的所述改性碳化硅切割液，所述金刚石粉的用量为0.8kg-1.2kg。
...【技术特征摘要】
1.一种碳化硅切割液助剂组合物，其特征在于，包含质量比为18-22：1-4：1的油酸二乙醇酰胺硼酸酯、硅酸盐和原花青素。
2.根据权利要求1所述的碳化硅切割液助剂组合物，其特征在于，所述硅酸盐为硅酸钠。
3.权利要求1或2所述的碳化硅切割液助剂组合物在制备碳化硅切割液中的应用。
4.一种改性碳化硅切割液的制备方法，其特征在于，该制备方法应用权利要求1或2所述的碳化硅切割液助剂组合物进行，包括以下步骤：
5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，在步骤s1中，进行所述第一混合处理的所述原花青素与所述碳化硅切割液的质量比为0.3-0.8：100；
6.根据权利要求4或5所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈健磊，翟虎，林宏达，孙金梅，
申请(专利权)人：浙江兆晶新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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