【技术实现步骤摘要】
本公开涉及蓝宝石晶棒加工，具体地，涉及一种蓝宝石晶棒切割方法。
技术介绍
1、蓝宝石晶棒通过采用多线高速线切机进行切割成蓝宝石晶片，但是切割完后，蓝宝石晶片的进线位置，也就是进刀口容易出现厚薄不均匀以及毛边现象，从而蓝宝石晶片残次品或者报废品较多，导致制造成本较高。
技术实现思路
1、本公开的目的是提供一种蓝宝石晶棒切割方法，以解决上述的技术问题。
2、为了实现上述目的，本公开提供一种蓝宝石晶棒切割方法，包括以下步骤：
3、将切割线沿第一切割深度方向切割蓝宝石晶棒，在所述第一切割深度，所述蓝宝石晶棒在第一摇摆角度来回摇摆，其中，所述第一摇摆角度大于或等于4°；
4、在所述切割线结束沿所述第一切割深度方向的行程后，将所述切割线沿第二切割深度方向切割所述蓝宝石晶棒，所述第二切割深度方向与所述第一切割深度方向相同。
5、可选地，在所述第二切割深度，所述蓝宝石晶棒在第二摇摆角度来回摇摆；
6、其中，所述第二摇摆角度大于所述第一摇摆角度。
7、可选地，在所述第一切割深度和所述第二切割深度，所述蓝宝石晶棒分别具有第一摇摆位置和第二摇摆位置，所述第一摇摆位置和所述第二摇摆位置以沿第三方向延伸的对称轴对称设置，所述第一摇摆角度和所述第二摇摆角度设置为所述蓝宝石晶棒在所述第一摇摆位置和所述第二摇摆位置之间摇摆夹角的二分之一。
8、可选地，所述蓝宝石晶棒沿第一方向放置，所述切割线沿第二方向延伸，所述第一方向与所述第二方
9、其中，所述第三方向与所述第一方向和所述第二方向垂直。
10、可选地，所述第一摇摆角度小于或等于6°。
11、可选地，所述第一切割深度为0mm-5mm。
12、可选地，所述第二切割深度为5mm-98mm，所述第二摇摆角度设置为大于6°，且小于或等于10°。
13、可选地，在所述切割线结束沿所述第二切割深度方向的行程后，将所述切割线沿第三切割深度方向切割所述蓝宝石晶棒，在所述第三切割深度，所述蓝宝石晶棒在第三摇摆角度来回摇摆；
14、其中，第三切割深度方向与所述第二切割深度方向相同。
15、可选地，所述第三摇摆角度小于或等于3°。
16、可选地，所述第三切割深度为98mm-104mm。
17、上述技术方案，通过设置切割线在第一切割深度的行程中，将蓝宝石晶棒在第一角度进行来回摇摆，且摇摆的角度大于或等于4°，能够边摇摆边切割蓝宝石晶棒，可以有效减少因切割线往复运动产生的偏差，从而可以减少切割的蓝宝石晶棒的进刀口的厚度不均和边缘毛边等现象，可增加线切割后蓝宝石晶片的良率。
18、本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。
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1.一种蓝宝石晶棒切割方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的蓝宝石晶棒切割方法，其特征在于，在所述第二切割深度，所述蓝宝石晶棒在第二摇摆角度来回摇摆；
3.根据权利要求2所述的蓝宝石晶棒切割方法，其特征在于，在所述第一切割深度和所述第二切割深度，所述蓝宝石晶棒分别具有第一摇摆位置和第二摇摆位置，所述第一摇摆位置和所述第二摇摆位置以沿第三方向延伸的对称轴对称设置，所述第一摇摆角度和所述第二摇摆角度设置为所述蓝宝石晶棒在所述第一摇摆位置和所述第二摇摆位置之间摇摆夹角的二分之一。
4.根据权利要求3所述的蓝宝石晶棒切割方法，其特征在于，所述蓝宝石晶棒沿第一方向放置，所述切割线沿第二方向延伸，所述第一方向与所述第二方向垂直，所述蓝宝石晶棒绕沿所述第一方向延伸的摆动轴线摆动；
5.根据权利要求1所述的蓝宝石晶棒切割方法，其特征在于，所述第一摇摆角度小于或等于6°。
6.根据权利要求1所述的蓝宝石晶棒切割方法，其特征在于，所述第一切割深度为0mm-5mm。
7.根据权利要求2所述的蓝宝石晶棒切割方法，
8.根据权利要求1-7中任一项所述的蓝宝石晶棒切割方法，其特征在于，在所述切割线结束沿所述第二切割深度方向的行程后，将所述切割线沿第三切割深度方向切割所述蓝宝石晶棒，在所述第三切割深度，所述蓝宝石晶棒在第三摇摆角度来回摇摆；
9.根据权利要求8所述的蓝宝石晶棒切割方法，其特征在于，所述第三摇摆角度小于或等于3°。
10.根据权利要求8所述的蓝宝石晶棒切割方法，其特征在于，所述第三切割深度为98mm-104mm。
...【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石晶棒切割方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的蓝宝石晶棒切割方法，其特征在于，在所述第二切割深度，所述蓝宝石晶棒在第二摇摆角度来回摇摆；
3.根据权利要求2所述的蓝宝石晶棒切割方法，其特征在于，在所述第一切割深度和所述第二切割深度，所述蓝宝石晶棒分别具有第一摇摆位置和第二摇摆位置，所述第一摇摆位置和所述第二摇摆位置以沿第三方向延伸的对称轴对称设置，所述第一摇摆角度和所述第二摇摆角度设置为所述蓝宝石晶棒在所述第一摇摆位置和所述第二摇摆位置之间摇摆夹角的二分之一。
4.根据权利要求3所述的蓝宝石晶棒切割方法，其特征在于，所述蓝宝石晶棒沿第一方向放置，所述切割线沿第二方向延伸，所述第一方向与所述第二方向垂直，所述蓝宝石晶棒绕沿所述第一方向延伸的摆动轴线摆动；
5.根据权利要求1所述的蓝宝石...
【专利技术属性】
技术研发人员：陶欣，翟虎，林宏达，孙金梅，
申请(专利权)人：浙江兆晶新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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