【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空镀膜设备领域，尤其涉及一种使工件均匀受热的真空镀膜设备。
技术介绍
1、真空镀膜机是一种用于在物体表面形成薄膜涂层的设备。它的主要作用是在真空环境下通过物理或化学方法将一层或多层薄膜沉积在物体表面，以改变物体的光学、电学、磁学、机械性能等特性。
2、现有技术中，真空镀膜设备在对工件镀膜前，会对工件进行加热，一是可以去除工件表面或内部的气体或水分，防止在真空环境中产生气泡、孔洞或其他缺陷，从而提高工件的镀膜效果；二是可以调节工件在镀膜时的沉积速率，使得工件的镀层厚度更为均匀。
3、然而，目前的真空镀膜设备中，一般是在镀膜腔室的底部设置加热电阻丝，以对上方的镀膜工件进行加热，如果工件的面积较大，容易导致工件的表面受热不不均匀，从而使得镀层的沉积速率不一致，即存在局部区域温度分布高，沉积速率较快，而其他区域温度较低，沉积速率较慢的问题，造成工件的镀层厚度不均，影响工件的镀层质量。
4、因此，现有技术存在缺陷，需要改进。
技术实现思路
1、本技术所要解决的技术问题是：提供一种热量辐射效果好，提高工件镀膜质量的使工件均匀受热的真空镀膜设备。
2、为达此目的，本技术采用以下技术方案：
3、一种使工件均匀受热的真空镀膜设备，包括：
4、镀膜筒体、工件转架、加热管以及热反射板；
5、所述镀膜筒体内设有容置腔室，所述工件转架设于容置腔室内，所述工件转架用于承载待镀膜工件并带动其转动；
6、所
7、所述镀膜筒体的内壁沿周向设置有若干弧形槽；所述加热管设于所述弧形槽内，以产生热量对所述工件转架内的工件进行加热；
8、所述热反射板设于任意两个相邻所述加热管之间的镀膜筒体内壁上，所述热反射板用于将辐射到所述热反射板的热量反射至所述工件转架的工件上；
9、所述工件转架包括：
10、固定架、驱动电机、第一公转圆盘、公转齿轮、自转齿轮以及工件杆；
11、所述驱动电机设于所述固定架上，所述驱动电机的输出轴与所述公转齿轮连接，用于驱动所述公转齿轮旋转；
12、所述第一公转圆盘通过连接轴与所述公转齿轮固定连接；
13、若干所述自转齿轮沿所述公转齿轮的周向设置，且所述自转齿轮分别与所述公转齿轮啮合连接；
14、所述工件杆的第一轴端穿过所述第一公转圆盘并与所述自转齿轮连接；
15、所述自转齿轮用于跟随所述公转齿轮进行同步转动，以此带动所述工件杆旋转，所述工件杆用于承载待镀膜的工件。
16、采用上述技术方案，所述的使工件均匀受热的真空镀膜设备中，所述工件转架还包括第二公转圆盘；
17、所述第一公转圆盘通过公转轴与所述第二公转圆盘连接；
18、所述第二公转圆盘设于所述工件杆远离所述第一公转圆盘的一侧，且所述工件杆的第二轴端与所述第二公转圆盘活动连接。
19、采用上述各个技术方案，所述的使工件均匀受热的真空镀膜设备中，所述加热管为石英加热管。
20、采用上述各个技术方案，所述的使工件均匀受热的真空镀膜设备中，所述热反射板采用铝材质制成。
21、采用上述各个技术方案，所述的使工件均匀受热的真空镀膜设备中，所述陶瓷涂层的厚度为30～50μm。
22、采用上述各个技术方案，所述的使工件均匀受热的真空镀膜设备中，还包括移动门座以及推动机构；
23、所述镀膜筒体的一端设有门孔，所述推动机构的活动端与移动门座连接，用于驱动所述移动门座相对门孔往复移动，以实现打开或关闭门孔。
24、采用上述各个技术方案，所述的使工件均匀受热的真空镀膜设备中，所述工件转架与所述移动门座靠近门孔的一侧连接。
25、采用上述各个技术方案，所述的使工件均匀受热的真空镀膜设备中，所述推动机构包括旋转电机、丝杆、螺纹座、滑轨以及滑块；
26、两根所述滑轨分别设于所述移动门座的底部两侧，所述移动门座通过所述滑块与所述滑块连接，所述移动门座可沿着所述滑轨移动；
27、所述旋转电机的输出轴与所述丝杆连接，所述丝杆通过所述螺纹座与所述移动门座连接。
28、采用上述各个技术方案，所述的使工件均匀受热的真空镀膜设备中，还包括有真空抽吸装置；所述真空抽吸装置与所述镀膜筒体连通，以对所述容置腔室进行抽真空处理。
29、采用上述各个技术方案，所述的使工件均匀受热的真空镀膜设备中，还包括有锁紧夹件，若干所述锁紧夹件沿所述门孔的周向间隔设置；
30、当所述移动门座被所述推动机构移动至与所述门孔相抵接时，所述锁紧夹件用于将所述移动门座夹定在所述门孔上，以实现密封贴合。
31、与现有技术相比，本技术具有以下有益效果：
32、本技术的待镀膜工件设置于工件转架上，镀膜筒体的内壁沿周向设置有多个加热管，以使热量从不同角度均匀辐射到工件表面；在相邻两个加热管之间设置的热反射板，可将加热管向容置腔室其他区域散射的热量反射回工件转架上，使热量更多辐射在工件表面，这不仅减少热量的损失，提高加热效率，还能确保更多的热量被工件吸收，从而提高工件的受热均匀性；同时，在镀膜筒体的内壁涂覆有陶瓷涂层，陶瓷涂层具有较低的热导率和热吸收能力，当镀膜筒体内壁受热后，陶瓷涂层可减缓热量从内壁向外辐射的速度，并促使部分热量以辐射的形式传递到工件表面，减少热量流失，提高工件的受热均匀性；另外；在加热过程中，工件转架可带动工件在公转的同时实现自转，使得工件表面与加热管之间的距离保持相对稳定，从而实现对工件更均匀的受热。
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1.一种使工件均匀受热的真空镀膜设备，其特征在于，包括镀膜筒体(1)、工件转架(2)、加热管(3)以及热反射板(4)；
2.根据权利要求1所述的使工件均匀受热的真空镀膜设备，其特征在于，所述工件转架(2)还包括第二公转圆盘(27)；
3.根据权利要求1所述的使工件均匀受热的真空镀膜设备，其特征在于，所述加热管(3)为石英加热管(3)。
4.根据权利要求1所述的使工件均匀受热的真空镀膜设备，其特征在于，所述热反射板(4)采用铝材质制成。
5.根据权利要求1所述的使工件均匀受热的真空镀膜设备，其特征在于，所述陶瓷涂层的厚度为30～50μm。
6.根据权利要求2所述的使工件均匀受热的真空镀膜设备，其特征在于，还包括移动门座(12)以及推动机构(5)；
7.根据权利要求6所述的使工件均匀受热的真空镀膜设备，其特征在于，所述工件转架(2)与所述移动门座(12)靠近门孔(100)的一侧连接。
8.根据权利要求6所述的使工件均匀受热的真空镀膜设备，其特征在于，所述推动机构(5)包括旋转电机(51)、丝杆(52)
9.根据权利要求1所述的使工件均匀受热的真空镀膜设备，其特征在于，还包括有真空抽吸装置(6)；
10.根据权利要求6所述的使工件均匀受热的真空镀膜设备，其特征在于，还包括有锁紧夹件(13)；
...【技术特征摘要】
1.一种使工件均匀受热的真空镀膜设备，其特征在于，包括镀膜筒体(1)、工件转架(2)、加热管(3)以及热反射板(4)；
2.根据权利要求1所述的使工件均匀受热的真空镀膜设备，其特征在于，所述工件转架(2)还包括第二公转圆盘(27)；
3.根据权利要求1所述的使工件均匀受热的真空镀膜设备，其特征在于，所述加热管(3)为石英加热管(3)。
4.根据权利要求1所述的使工件均匀受热的真空镀膜设备，其特征在于，所述热反射板(4)采用铝材质制成。
5.根据权利要求1所述的使工件均匀受热的真空镀膜设备，其特征在于，所述陶瓷涂层的厚度为30～50μm。
6.根据权利要求2...
【专利技术属性】
技术研发人员：宁德，张哲，林铨振，王军，周冬，胡永军，王思达，吴唯，李伟民，杨春雷，徐晗飞，田涵湫，
申请(专利权)人：飞镀科技浙江有限公司，
类型：新型
国别省市：
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