【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于涂层制备，尤其涉及一种基于pecvd的燃料电池金属极板碳基涂层制备装置 。
技术介绍
1、等离子体增强化学气相沉积(plasma enhanced chemical vapor deposition,pecvd）技术是一种在沉积腔室利用辉光放电使其电离后在衬底上进行化学反应沉积的半导体薄膜材料制备和其他材料薄膜的制备方法，其通过等离子体激活作用增强化学气相反应物质活性，提高表面反应速率，并通过高能离子显著降低了薄膜沉积温度。在等离子体的作用下，气体在腔室中被解离，形成包含气体分子、高能离子、电子、活性自由基等粒子的强反应物质。在沉积表面上不仅存在着通常的热化学反应，还存在着复杂的等离子体化学反应，沉积膜就是在这两种化学反应的共同作用下生长成膜。激发辉光放电的方法主要有：射频激发，直流高压激发，脉冲激发和微波激发。
2、现有技术一般将工艺品放置在衬板上，通过对衬底加热，衬底将热量传递给工艺品，这样接触加热的传热效率高，同时衬底与接地或接阴极，使产生平行电场更稳定，衬底温度的提高有利于薄膜表面悬挂键的补偿，使薄膜的缺陷密度下降；但是工艺品材质不同，所要的薄膜质量不同，一般通过改变射频电源的频率，但是频率高，等离子体中离子的轰击作用强，淀积的薄膜更加致密，但对衬底的损伤也比较大，这时候加大射频电极板与衬板之间的间距，但是间距较大时，虽然对衬底的损伤较小，会加重电场的边缘效应，影响淀积的均匀性。
技术实现思路
1、本专利技术提供一种基于pecvd的燃料电池金属极板
2、本专利技术是这样实现的，一种基于pecvd的燃料电池金属极板碳基涂层制备装置，包括：
3、控制器；
4、真空泵，所述真空泵的驱动电机与控制器建立电性连接；
5、射频电源，所述射频电源与控制器建立电性连接；
6、涂层组件，所述涂层组件包括反应室、射频极板以及衬底板，所述反应室的底部固定有多个立柱，所述反应室的一侧开设有室口，所述室口的一侧位置铰接安装有室门，所述射频极板和衬底板呈上下设置，且两者均设置在反应室内，所述衬底板固定在反应室内，所述衬底板的底部安装有电热管，所述反应室的外侧设置有步进升降组件，所述射频极板通过步进升降组件在反应室内进行上下直线移动，所述步进升降组件由控制器进行控制，所述射频电源的正极与射频极板建立电性连接；
7、极板补偿机构，所述极板补偿机构包括多个补偿极板，各个补偿极板在反应室内呈台阶分布，所述补偿极板的顶部一侧固定有多个接触板，所述补偿极板与反应室的顶部之间设置有使两者相连接的多节伸缩筒；
8、衬底补偿组件，所述衬底补偿组件包括多个并排呈一线的补偿衬底，所述衬底补偿组件还包括与各个补偿衬底相连接的推动组件，且推动组件用于使各个补偿衬底逐个推起。
9、优选地，所述反应室的顶部固定安装有与其相连通的抽气管，所述真空泵的抽气端通过软管与抽气管相连通。
10、优选地，所述反应室的外侧安装有气压检测器，所述气压检测器的检测端位于反应室内。
11、优选地，所述反应室的内部安装有条形气刀，所述反应室的外侧安装有工艺气体进气管，所述工艺气体进气管与条形气刀相连通。
12、优选地，所述步进升降组件包括螺纹杆、内螺纹筒、第一锥齿轮、第二锥齿轮以及槽轮机构，所述反应室的顶部开设有第一转动孔，所述内螺纹筒的外侧转动安装在第一转动孔内，所述螺纹杆的外侧转动安装在内螺纹筒内，所述第二锥齿轮与内螺纹筒同轴固定，所述槽轮机构包括伺服电机、第一固定板、槽轮、拨动轮以及转动轴，所述伺服电机与控制器建立电性连接，所述第一固定板与反应室相固定，所述第一固定板的外侧开设有第二转动孔，所述转动轴转动安装在第二转动孔内，所述转动轴的两端分别与槽轮和第二锥齿轮同轴固定，所述第一锥齿轮与第二锥齿轮想啮合，所述伺服电机的机壳固定在第一固定板上，所述伺服电机的输出轴与拨动轮同轴固定，所述拨动轮与槽轮相适配。
13、优选地，所述推动组件包括滑杆、第一齿板、第二齿板、齿轮柱、基准板以及槽板，所述槽板的两端均固定有中间板，所述中间板的两端均开设有第二滑孔，两个正对齐的第二滑孔内共同滑动设置有横杆，所述横杆的两端与反应室内壁共同固定有第三固定板，所述反应室的底部开设有第一滑孔，所述滑杆滑动设置在第一滑孔内，所述第一齿板的一端固定在滑杆的顶端上，所述第二齿板与槽板相固定，所述齿轮柱的两端均转动安装有第二固定板，所述第二固定板与反应室相固定，所述第一齿板以及第二齿板均与齿轮柱相啮合，各个所述补偿衬底的底部均固定有竖直设置的立板，且各个立板依次伸长，所述槽板的板面开设有多个呈台阶分布的z字槽，从上而下各个z字槽的尾段逐个延长，各个立板的底端转动安装有圆柱滑块，各个圆柱滑块分别滑动设置在各个z字槽内。
14、优选地，所述滑杆与螺纹杆之间设置有移动架，所述移动架呈方框状，所述移动架的两侧滑动套设有滑动块，所述滑动块与反应室相固定，所述螺纹杆的顶端转动安装在移动架上，所述滑杆的底端与移动架相固定。
15、优选地，所述反应室的内部设置有夹持组件，所述夹持组件包括方框板，所述反应室的两侧均固定有导轨，所述方框的两侧分别滑动套设在两个滑轨上，所述方框的两端均设置有移动板，所述移动板的外侧开设有多个滑孔，各个所述滑孔的内部滑动设置有第二导向柱，所述第二导向柱的一端与方框相固定，所述第二导向柱的另一端固定有第二限位块，所述第二导向柱的外侧套设有第二复位弹簧，所述第二复位弹簧的两端分别与移动板和方框相接触，所述方框的两侧均设置有凹形状的夹板，所述夹板的外侧开设有多个第四滑孔，所述第四滑孔的内部滑动设置有定位杆，所述定位杆的一端固定在方框上，所述夹板的两端开设有直角块，所述夹板与移动板共同转动安装有第一连杆，两个所述滑轨共同滑动套设有限位板，所述射频极板的外侧固定安装有绝缘架，所述绝缘架与限位板之间共同转动安装有一个第二连杆，所述限位板的板面固定有横板，所述横板的顶部开设有多个滑孔，所述滑孔的内部滑动设置有第一导向柱，所述第一导向柱的顶端固定有第一限位块，所述第一导向柱的一端固定有三角块，所述第一导向柱的外侧套设有第一复位弹簧，所述第一复位弹簧的两端分别与第一限位块和横板相接触，与限位板相靠近的移动板的顶部开设有凹槽，所述凹槽的两侧均转动安装有滚动辊。
16、采用以上结构后，本专利技术相较于现有技术，具备以下优点：
17、本专利技术中，射频电源的频率加大的时候，射频极板通过步进升降组件在反应室内进行上下直线移动，当射频极板向上一定距离，与最下方的补偿极板相接触，射频极板与补偿极板传电，扩大了电容面积，从而降低边缘效应，当射频极板继续向上移动，当射频极板的电容面积扩大，推动组件随之推本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种基于PECVD的燃料电池金属极板碳基涂层制备装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的一种基于PECVD的燃料电池金属极板碳基涂层制备装置，其特征在于，所述反应室(5）的顶部固定安装有与其相连通的抽气管(9），所述真空泵(2）的抽气端通过软管与抽气管(9）相连通。
3.如权利要求1所述的一种基于PECVD的燃料电池金属极板碳基涂层制备装置，其特征在于，所述反应室(5）的外侧安装有气压检测器(62），所述气压检测器(62）的检测端位于反应室(5）内。
4.如权利要求1所述的一种基于PECVD的燃料电池金属极板碳基涂层制备装置，其特征在于，所述反应室(5）的内部安装有条形气刀(11），所述反应室(5）的外侧安装有工艺气体进气管(10），所述工艺气体进气管(10）与条形气刀(11）相连通。
5.如权利要求1所述的一种基于PECVD的燃料电池金属极板碳基涂层制备装置，其特征在于，所述步进升降组件(8）包括螺纹杆(24）、内螺纹筒(26）、第一锥齿轮(25）、第二锥齿轮(28）以及槽轮机构，所述反应室(5）的顶部开设有第一转动孔
6.如权利要求5所述的一种基于PECVD的燃料电池金属极板碳基涂层制备装置，其特征在于，所述推动组件包括滑杆(34）、第一齿板(33）、第二齿板(38）、齿轮柱(37）、基准板(44）以及槽板(40），所述槽板(40）的两端均固定有中间板(39），所述中间板(39）的两端均开设有第二滑孔，两个正对齐的第二滑孔内共同滑动设置有横杆，所述横杆的两端与反应室(5）内壁共同固定有第三固定板(36），所述反应室(5）的底部开设有第一滑孔，所述滑杆(34）滑动设置在第一滑孔内，所述第一齿板(33）的一端固定在滑杆(34）的顶端上，所述第二齿板(38）与槽板(40）相固定，所述齿轮柱(37）的两端均转动安装有第二固定板(35），所述第二固定板(35）与反应室(5）相固定，所述第一齿板(33）以及第二齿板(38）均与齿轮柱(37）相啮合，各个所述补偿衬底(18）的底部均固定有竖直设置的立板(42），且各个立板(42）依次伸长，所述槽板(40）的板面开设有多个呈台阶分布的Z字槽(41），从上而下各个Z字槽(41）的尾段逐个延长，各个立板(42）的底端转动安装有圆柱滑块(43），各个圆柱滑块(43）分别滑动设置在各个Z字槽(41）内。
7.如权利要求6所述的一种基于PECVD的燃料电池金属极板碳基涂层制备装置，其特征在于，所述滑杆(34）与螺纹杆(24）之间设置有移动架(7），所述移动架(7）呈方框状，所述移动架(7）的两侧滑动套设有滑动块，所述滑动块与反应室(5）相固定，所述螺纹杆(24）的顶端转动安装在移动架(7）上，所述滑杆(34）的底端与移动架(7）相固定。
8.如权利要求1所述的一种基于PECVD的燃料电池金属极板碳基涂层制备装置，其特征在于，所述反应室(5）的内部设置有夹持组件(17），所述夹持组件(17）包括方框板(45），所述反应室(5）的两侧均固定有导轨(46），所述方框的两侧分别滑动套设在两个滑轨上，所述方框的两端均设置有移动板(50），所述移动板(50）的外侧开设有多个滑孔，各个所述滑孔的内部滑动设置有第二导向柱(58），所述第二导向柱(58）的一端与方框相固定，所述第二导向柱(58）的另一端固定有第二限位块(56），所述第二导向柱(58）的外侧套设有第二复位弹簧(57），所述第二复位弹簧(57）的两端分别与移动板(50）和方框相接触，所述方框的两侧均设置有凹形状的夹板，所述夹板的外侧开设有多个第四滑孔，所述第四滑孔的内部滑动设置有定位杆(47），所述定位杆(47）的一端固定在方框上，所述夹板的两端开设有直角块(48），所述夹板与移动板(50）共同转动安装有第一连杆(49），两个所述滑轨共同滑动套设有限位板(20...
【技术特征摘要】
1.一种基于pecvd的燃料电池金属极板碳基涂层制备装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的一种基于pecvd的燃料电池金属极板碳基涂层制备装置，其特征在于，所述反应室(5）的顶部固定安装有与其相连通的抽气管(9），所述真空泵(2）的抽气端通过软管与抽气管(9）相连通。
3.如权利要求1所述的一种基于pecvd的燃料电池金属极板碳基涂层制备装置，其特征在于，所述反应室(5）的外侧安装有气压检测器(62），所述气压检测器(62）的检测端位于反应室(5）内。
4.如权利要求1所述的一种基于pecvd的燃料电池金属极板碳基涂层制备装置，其特征在于，所述反应室(5）的内部安装有条形气刀(11），所述反应室(5）的外侧安装有工艺气体进气管(10），所述工艺气体进气管(10）与条形气刀(11）相连通。
5.如权利要求1所述的一种基于pecvd的燃料电池金属极板碳基涂层制备装置，其特征在于，所述步进升降组件(8）包括螺纹杆(24）、内螺纹筒(26）、第一锥齿轮(25）、第二锥齿轮(28）以及槽轮机构，所述反应室(5）的顶部开设有第一转动孔，所述内螺纹筒(26）的外侧转动安装在第一转动孔内，所述螺纹杆(24）的外侧转动安装在内螺纹筒(26）内，所述第二锥齿轮(28）与内螺纹筒(26）同轴固定，所述槽轮机构包括伺服电机(30）、第一固定板(29）、槽轮(27）、拨动轮(31）以及转动轴(32），所述伺服电机(30）与控制器(4）建立电性连接，所述第一固定板(29）与反应室(5）相固定，所述第一固定板(29）的外侧开设有第二转动孔，所述转动轴(32）转动安装在第二转动孔内，所述转动轴(32）的两端分别与槽轮(27）和第二锥齿轮(28）同轴固定，所述第一锥齿轮(25）与第二锥齿轮(28）相啮合，所述伺服电机(30）的机壳固定在第一固定板(29）上，所述伺服电机(30）的输出轴与拨动轮(31）同轴固定，所述拨动轮(31）与槽轮(27）相适配。
6.如权利要求5所述的一种基于pecvd的燃料电池金属极板碳基涂层制备装置，其特征在于，所述推动组件包括滑杆(34）、第一齿板(33）、第二齿板(38）、齿轮柱(37）、基准板(44）以及槽板(40），所述槽板(40）的两端均固定有中间板(39），所述中间板(39）的两端均开设有第二滑孔，两个正对齐的第二滑孔内共同滑动设置有横杆，所述横杆的两端与反应室(5）内壁共同固定有第三固定板(36），所述反应室(5）的底部开设有第一滑孔，所述滑杆(34）滑动设置在第一滑孔内，所述第一齿板(33）的一端固定在滑杆(34）的顶端上，所述第二齿板(38）与槽板(40）相固定，所述齿轮柱(37）...
【专利技术属性】
技术研发人员：陆樟栋，
申请(专利权)人：苏州辉钻纳米新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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