基于PVD镀膜的纳米多层AlCrN/CrN超厚膜材料制造技术

本实用新型专利技术适用于镀膜技术领域，提供了基于PVD镀膜的纳米多层AlCrN/CrN超厚膜材料，解决了镀膜过渡过程会在靶材表面生成大小和数量都不可控的液滴，这些大液滴会被喷溅到正在生长的膜层当中，并一起被沉积到产品表面，从而使得镀膜层出现缺陷的问题；包括：镀膜基材；设置在所述镀膜基材上的复合镀膜体，所述复合镀膜体用于保证镀膜基材强度；复合镀膜体包括：底镀膜层，与镀膜基材接触，用于保护镀膜基层；顶镀膜层，设置在镀膜基材的一侧，用于保护所述镀膜基层以及底镀膜层；本申请通过设置复合镀膜体，复合镀膜体的设置能够控制膜层内部涂层增长缺陷的大小和数量，同时，在保证膜层性能不被改变和弱化的情况下，降低和优化内应力。力。力。

【技术实现步骤摘要】
基于PVD镀膜的纳米多层AlCrN/CrN超厚膜材料


[0001]本技术属于镀膜
，尤其涉及基于PVD镀膜的纳米多层AlCrN/CrN超厚膜材料。

技术介绍

[0002]电弧离子镀膜技术Cathodic Vacuum Arc(CVA)是现有的成熟技术，它最常见的应用领域是工具镀膜行业，比如说在切削刀具和冲压模具的产品表面镀上微米厚度级别的薄膜材料(如TiN、CrN、TiAlN、AlCrN、TiSiN等等)，通过这项技术开发的薄膜材料，它具体较高的膜层纳米硬度、较强的耐磨性、较高的高温抗氧化性，这些特性使得工具的使用寿命被明显延长。
[0003]CVA技术存在一个明显的缺点，镀膜材料在从固态被蒸发到气态的过程当中，会经历一个液态的过渡过程，此中液态的过渡过程会在靶材表面生成大小和数量都不可控的液滴，这些大液滴会被喷溅到正在生长的膜层当中，并一起被沉积到产品表面，从而使得镀膜层出现缺陷，影响产品的质量和外观。

技术实现思路

[0004]本技术提供基于PVD镀膜的纳米多层AlCrN/CrN超厚膜材料，旨在解决镀膜过渡过程会在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.基于PVD镀膜的纳米多层AlCrN/CrN超厚膜材料，所述基于PVD镀膜的纳米多层AlCrN/CrN超厚膜材料包括：镀膜基材，所述镀膜基材用于承载多层镀膜材料；其特征在于，设置在所述镀膜基材上的复合镀膜体，所述复合镀膜体用于保证镀膜基材强度；其中，所述复合镀膜体包括：底镀膜层，与镀膜基材接触，用于保护镀膜基层；顶镀膜层，设置在镀膜基材的一侧，用于保护所述镀膜基层以及底镀膜层。2.如权利要求1所述的基于PVD镀膜的纳米多层AlCrN/CrN超厚膜材料，其特征在于，所述镀膜基材为硬质合金或高速钢。3.如权利要求2所述的基于PVD镀膜的纳米多层AlCrN/CrN超厚膜材料，其特征在于，所述底镀膜层为氮化钛。4.如权利要求3所述的基于PVD镀膜的纳米多层AlCrN/CrN超厚膜材料，其特征在于，所述顶镀膜层为氮化铝铬/氮化...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆樟栋，
申请(专利权)人：苏州辉钻纳米新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：