下载基于PVD镀膜的纳米多层AlCrN/CrN超厚膜材料的技术资料

文档序号:37090866

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本实用新型适用于镀膜技术领域,提供了基于PVD镀膜的纳米多层AlCrN/CrN超厚膜材料,解决了镀膜过渡过程会在靶材表面生成大小和数量都不可控的液滴,这些大液滴会被喷溅到正在生长的膜层当中,并一起被沉积到产品表面,从而使得镀膜层出现缺陷的问...
该专利属于苏州辉钻纳米新材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州辉钻纳米新材料有限公司授权不得商用。

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