【技术实现步骤摘要】
本技术涉及镀膜装置，特别涉及一种设备零部件表面镀膜装置。
技术介绍
1、镀膜制程在工业界的应用极广，一般常使用在金属加工业、半导体业以及光电产业等等，其中类金刚石薄膜由于具有许多优异的物理、化学性能，如高硬度、低摩擦系数、优良的耐磨性化学惰性和生物相容性等，类金刚石薄膜可采用pvd镀膜技术进行镀膜，即在真空环境下，采用低电压，大电流的电弧放电技术蒸发阴极石墨靶，利用气体放电，使靶材蒸发，由此产生含有阴极靶材料的等离子体，进而在零部件的表面镀上一层类金刚石薄膜，加强对其防护；
2、中国专利授权公告号cn217173852u公开了一种类金刚石薄膜用真空镀膜装置，涉及真空镀膜装置领域，包括真空镀膜机主体，所述真空镀膜机主体的内侧壁固定连接有第一支撑盘，所述真空镀膜机主体远离第一支撑盘的内侧壁安装有第二支撑盘，所述第二支撑盘靠近第一支撑盘的侧面转动连接有若干圆周阵列分布的滤网筒，所述第一支撑盘的侧面穿设并转动连接有若干与滤网筒相对应的旋转块。本申请通过将待镀膜的材料放置于滤网筒的内部，伺服电机驱动滤网筒转动，使得滤网筒内的材料始终处...
【技术保护点】
1.一种设备零部件表面镀膜装置，包括真空镀膜机主体(1)，其特征在于：所述真空镀膜机主体(1)的顶端安装有密封罩(2)，所述真空镀膜机主体(1)内部的顶端安装有预清洁箱(12)，且预清洁箱(12)内部的两侧均安装有吸尘管(3)，所述吸尘管(3)的一端均延伸至真空镀膜机主体(1)的外部并与外部吸尘设备连接，所述预清洁箱(12)的内部设置有清洁组件，所述预清洁箱(12)的底端均匀安装有导料管(11)，且导料管(11)的外侧均安装有阀门(15)，所述真空镀膜机主体(1)内部底端的两侧均安装有电动伸缩杆(4)，且电动伸缩杆(4)的顶端连接有顶料板(5)，所述顶料板(5)的底端...
【技术特征摘要】
1.一种设备零部件表面镀膜装置，包括真空镀膜机主体(1)，其特征在于：所述真空镀膜机主体(1)的顶端安装有密封罩(2)，所述真空镀膜机主体(1)内部的顶端安装有预清洁箱(12)，且预清洁箱(12)内部的两侧均安装有吸尘管(3)，所述吸尘管(3)的一端均延伸至真空镀膜机主体(1)的外部并与外部吸尘设备连接，所述预清洁箱(12)的内部设置有清洁组件，所述预清洁箱(12)的底端均匀安装有导料管(11)，且导料管(11)的外侧均安装有阀门(15)，所述真空镀膜机主体(1)内部底端的两侧均安装有电动伸缩杆(4)，且电动伸缩杆(4)的顶端连接有顶料板(5)，所述顶料板(5)的底端安装有旋转电机(6)，所述顶料板(5)的两侧均安装有滑块(7)，且滑块(7)均与真空镀膜机主体(1)的内壁滑动连接，所述旋转电机(6)的输出端安装有转盘(10)，且转盘(10)的顶端均匀设置有拆卸机构(8)，所述转盘(10)的底端连接有导向块(14)，所述拆卸机构(8)的顶端均安装有物料滤篮(9)。
2.根据权利要求1所述的一种设备零部件表面镀膜装置，其特征在于：所述清洁组件包括设置于预清洁箱(12)内部的扫灰机构(13)，且扫灰机构(13)包括伺服电机(1301)，且伺服电机(1301)安装于预清洁箱(12)内部的一侧，所述伺服电机(1301)的一端安装有旋转筒(1302)，且旋转筒(1302)的外侧均匀安装有清洁刷条(1303)。
3.根据权利要求2所述的一种设备零部件表面镀膜装置，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：陆樟栋，
申请(专利权)人：苏州辉钻纳米新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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