【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种硅烷尾气吸收装置，属于硅烷回收。
技术介绍
1、硅基材料是电子信息产业和太阳能光伏发电产业最重要的基础材料，目前用于太阳能光伏发电的多晶硅，是一种高效、环保和清洁的新能源技术。硅烷作为生产颗粒硅最主要的反应原料，直接影响颗粒归的生产成本，而尾气排放中含有硅烷，会造成硅烷的损失，增加颗粒硅的生产成本。如何回收尾气中硅烷是降低生产成本的途径之一，传统的冷凝分离回收不仅冷凝温度低，冷凝链比较长，控制不稳定，设备多且要求高，如含有氯硅烷可能会造成系统“冰堵”，影响生产的连续，导致硅烷吸收效率低。
技术实现思路
1、为解决现有技术的不足，本专利技术的目的在于提供一种硅烷尾气吸收装置，解决了现有技术中传统冷凝分离回收尾气中硅烷吸收效率低的问题。
2、为了实现上述目标，本专利技术采用如下的技术方案：
3、一种硅烷尾气吸收装置，包括吸收塔和进气管线；
4、吸收塔内部设置有气相再分布装置和液相分布装置，液相分布装置设置在气相再分布装置上方，吸收塔塔体上还设有进气孔，进气孔位于气相再分布装置下方，进气孔通过进气管线与外部连接，进气管线上设有扩径口，扩径口沿进气方向横截面内径依次递增。
5、进一步地，前述进气孔与进气管线之间还设有斜口，斜口两端布置有高度差，斜口高的一端与进气管线连接，斜口低的一端与进气孔连接。
6、进一步地，前述硅烷尾气吸收装置还包括缓冲罐，缓冲罐入口连接吸收塔塔顶，缓冲罐内设置有挡板和除沫器，除沫器位于挡板
7、进一步地，前述硅烷尾气吸收装置还包括加压泵和液相吸收中和液管线，加压泵进口连接吸收塔底部，加压泵出口通过液相吸收中和液管线连接液相分布装置。
8、进一步地，前述加压泵出口还通过液相吸收中和液管线连接缓冲罐。
9、进一步地，前述加压泵与缓冲罐之间的液相吸收中和液管线上还设有调节阀。
10、进一步地，前述缓冲罐顶部设有气体出口，气体出口通过排气管线连接外部，气体出口与排气管线之间设有缩径口，缩径口沿出气方向横截面内径依次递减。
11、本专利技术所达到的有益效果：
12、1、塔体内气相再分布装置、液相分布装置保障塔内气液两相充分接触，可以有效提高液相吸收效率，扩径口用于降低硅烷尾气进入塔内的流速，确保尾气进塔后能充分进行传质，进一步提高吸收效率。
13、2、斜口前高后低设置，可以避免液相吸收中和液流至进气管线内造成管道阻塞。
14、3、塔顶缓冲罐设计有挡板、除沫器，用于回收塔顶放空尾气携带的液滴，降低液相吸收中和液的损失。
15、4、液相吸收中和液管线设有两条，提高了装置的容错率。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种硅烷尾气吸收装置，其特征在于，包括吸收塔（2）和进气管线（4）；
2.根据权利要求1所述的硅烷尾气吸收装置，其特征在于，所述进气孔与进气管线（4）之间还设有斜口（42），所述斜口（42）两端布置有高度差，所述斜口（42）高的一端与进气管线（4）连接，所述斜口（42）低的一端与进气孔连接。
3.根据权利要求1所述的硅烷尾气吸收装置，其特征在于，还包括缓冲罐（3），所述缓冲罐（3）入口连接吸收塔（2）塔顶，所述缓冲罐（3）内设置有挡板（31）和除沫器（32），所述除沫器（32）位于挡板（31）上方，所述挡板（31）设置在缓冲罐（3）的入口处。
4.根据权利要求3所述的硅烷尾气吸收装置，其特征在于，还包括加压泵（1）和液相吸收中和液管线（5），所述加压泵（1）进口连接吸收塔（2）底部，所述加压泵（1）出口通过液相吸收中和液管线（5）连接液相分布装置（22）。
5.根据权利要求4所述的硅烷尾气吸收装置，其特征在于，所述加压泵（1）出口还通过液相吸收中和液管线（5）连接缓冲罐（3）。
6.根据权利要求5所述的硅烷尾气吸收装
7.根据权利要求3所述的硅烷尾气吸收装置，其特征在于，所述缓冲罐（3）顶部设有气体出口，所述气体出口通过排气管线（6）连接外部，所述气体出口与排气管线（6）之间设有缩径口（61），所述缩径口（61）沿出气方向横截面内径依次递减。
...【技术特征摘要】
1.一种硅烷尾气吸收装置，其特征在于，包括吸收塔（2）和进气管线（4）；
2.根据权利要求1所述的硅烷尾气吸收装置，其特征在于，所述进气孔与进气管线（4）之间还设有斜口（42），所述斜口（42）两端布置有高度差，所述斜口（42）高的一端与进气管线（4）连接，所述斜口（42）低的一端与进气孔连接。
3.根据权利要求1所述的硅烷尾气吸收装置，其特征在于，还包括缓冲罐（3），所述缓冲罐（3）入口连接吸收塔（2）塔顶，所述缓冲罐（3）内设置有挡板（31）和除沫器（32），所述除沫器（32）位于挡板（31）上方，所述挡板（31）设置在缓冲罐（3）的入口处。
4.根据权利要求3所述的硅烷尾气吸收装置，其特征在于，还包括加压泵（1）和...
【专利技术属性】
技术研发人员：许跃，
申请(专利权)人：江苏中能硅业科技发展有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。