【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于多晶硅生产，具体涉及一种应用于颗粒硅生产尾气的硅烷气回收系统及方法。
技术介绍
1、多晶硅是电子信息产业和太阳能光伏发电产业最重要的基础材料，多晶硅的生产工艺较多，但已经大规模实现产业化的主要工艺有改良西门子法和硅烷热分解法，硅烷热分解法相对于改良西门子法生产多晶硅具有流程简单、分解温度低、能耗低的优势，因此硅烷法越来越成为生产多晶硅的主要方法。
2、而硅烷热分解法在生产过程中会产生尾气，这些尾气中具有可回收利用的硅烷，如果尾气直接排放将造成硅烷的浪费，同时还会污染环境。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于克服现有技术中的不足，提供一种应用于颗粒硅生产尾气的硅烷气回收系统及方法，实现了对颗粒硅生产尾气中硅烷的分离和回收，减少了硅烷的浪费。
2、本专利技术提供了如下的技术方案：
3、第一方面，提供一种应用于颗粒硅生产尾气的硅烷气回收系统，包括尾气输送管、换热机构、第一换热器、储罐和硅烷提纯机构；硅烷提纯机构包括除甲烷塔，除甲烷塔设有第一进...
【技术保护点】
1.一种应用于颗粒硅生产尾气的硅烷气回收系统，其特征在于，包括尾气输送管(1)、换热机构、第一换热器(2)、储罐(3)和硅烷提纯机构；
2.根据权利要求1所述的一种应用于颗粒硅生产尾气的硅烷气回收系统，其特征在于，所述换热机构包括第二换热器(5)和第三换热器(6)；
3.根据权利要求2所述的一种应用于颗粒硅生产尾气的硅烷气回收系统，其特征在于，所述第二换热器(5)的壳程进口连接氢气气源，第二换热器(5)的壳程出口连接有氢气排气管(52)。
4.根据权利要求1所述的一种应用于颗粒硅生产尾气的硅烷气回收系统，其特征在于，所述第一换热器(...
【技术特征摘要】
1.一种应用于颗粒硅生产尾气的硅烷气回收系统，其特征在于，包括尾气输送管(1)、换热机构、第一换热器(2)、储罐(3)和硅烷提纯机构；
2.根据权利要求1所述的一种应用于颗粒硅生产尾气的硅烷气回收系统，其特征在于，所述换热机构包括第二换热器(5)和第三换热器(6)；
3.根据权利要求2所述的一种应用于颗粒硅生产尾气的硅烷气回收系统，其特征在于，所述第二换热器(5)的壳程进口连接氢气气源，第二换热器(5)的壳程出口连接有氢气排气管(52)。
4.根据权利要求1所述的一种应用于颗粒硅生产尾气的硅烷气回收系统，其特征在于，所述第一换热器(2)的壳程进口连接液氮液源，第一换热器(2)的壳程出口连接有氮气排气管。
5.根据权利要求1所述的一种应用于颗粒硅生产尾气的硅烷气回收系统，其特征在于，所述硅烷提纯机构还包括第四换热器(7)，除甲烷塔(4)还包括第二出口和第二进口；
...【专利技术属性】
技术研发人员：姜从强，常露露，樊晓冬，朱言志，郭伟，王国强，
申请(专利权)人：江苏中能硅业科技发展有限公司，
类型：发明
国别省市：
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