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本发明公开了一种应用于颗粒硅生产尾气的硅烷气回收系统及方法，系统包括尾气输送管、换热机构、第一换热器、储罐和硅烷提纯机构；硅烷提纯机构包括除甲烷塔，除甲烷塔设有第一进口和第一出口；换热机构设有用于热交换的管程流道和壳程流道，换热机构的管程流...
该专利属于江苏中能硅业科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏中能硅业科技发展有限公司授权不得商用。

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