【技术实现步骤摘要】
本技术涉及过滤装置，尤其涉及一种尾气过滤装置和原子层沉积镀膜设备。
技术介绍
1、原子层沉积是一种将物质以单原子膜的形式逐层沉积在基底表面的技术，它以连续脉冲的方式在样品表面和反应前驱体材料之间发生化学反应。然而，在原子层沉积镀膜设备运行的过程中，必然存在有未反应完全的前驱体材料，多余的前驱体材料会混合在尾气中通过排气系统由腔体流向干泵，使干泵暴露于有机金属前驱体脉冲，从而造成干泵使用寿命的降低。因此，现有的原子层沉积镀膜装备通常会在腔体与干泵之间设置有尾气过滤装置，将尾气中未反应完全的前驱体材料过滤后再通入干泵，以延长干泵的使用寿命。
2、在尾气的过滤过程中，会向尾气过滤装置中通入化学源，化学源与尾气之间进行反应从而降低尾气中有害物质的含量，然而，化学源与尾气反应后会生成一种膜料，膜料附着在尾气过滤装置内部的滤芯上，不仅会堵塞滤芯、影响过滤效果，还会导致尾气过滤装置使用寿命的降低，大大增加了维护成本。
技术实现思路
1、本技术的第一个目的在于提供一种尾气过滤装置，该装置能够去除附着在尾气过滤装置内部的滤芯上的膜料，从而实现该尾气过滤装置的可持续使用，提高了尾气过滤装置的使用寿命，降低了使用成本。
2、本技术的第二个目的在于提供一种原子层沉积镀膜设备，该原子层沉积镀膜设备的过滤效果好，使用寿命长。
3、为达此目的，本技术采用以下技术方案：
4、一种尾气过滤装置，包括：装置本体，所述装置本体包括壳体和滤芯，所述壳体上开设有进气口和出气口
5、作为优选地，所述尾气过滤装置还包括有密封盖，所述密封盖与所述进气口相连通，所述密封盖上开设有第一输入口和第二输入口，所述第一输入口用于输入尾气，所述第二输入口用于输入与尾气进行反应的化学源。
6、作为优选地，所述第二输入口处设置有通断阀。
7、作为优选地，所述加强板包括分别固定在所述软刮片两侧的第一加强板和第二加强板。
8、作为优选地，所述刮片组件为矩形结构，且所述软刮片远离所述杆体的一侧边缘突出于所述第一加强板和所述第二加强板并与所述滤芯的表面抵接，所述驱动机构能够驱动所述杆体绕所述杆体的中心轴线转动。
9、作为优选地，所述刮片组件为环形结构，且所述软刮片远离所述杆体的一侧边缘突出于所述第一加强板和所述第二加强板并与所述滤芯的表面抵接，所述驱动机构能够驱动所述杆体沿所述滤芯的轴向上移动。
10、作为优选地，所述刮片机构还包括固定杆和连接件，所述软刮片通过所述固定杆和所述连接件与所述杆体可拆卸连接。
11、作为优选地，所述固定杆为可伸缩结构，所述固定杆上设置有锁定结构，所述锁定结构用于固定所述固定杆的长度。
12、作为优选地，所述出气口连接有真空抽气系统。
13、一种原子层沉积镀膜设备，包括排气装置和干泵，包括上述的尾气过滤装置，所述尾气过滤装置连接在所述排气装置和所述干泵之间。
14、有益效果：
15、本技术提供了一种尾气过滤装置，在其内部设置有刮片机构，能够在长时间使用后通过刮片机构清除滤芯表面的附着物，避免附着物堵塞滤芯从而导致的过滤效果的下降，不仅保证了过滤效果，还提高了尾气过滤装置的使用寿命，尾气过滤装置可持续使用还能够降低维护成本，提高装置的安全性和可靠性。
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1.一种尾气过滤装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的尾气过滤装置，其特征在于，所述尾气过滤装置还包括有密封盖(4)，所述密封盖(4)与所述进气口相连通，所述密封盖(4)上开设有第一输入口(41)和第二输入口(42)，所述第一输入口(41)用于输入尾气，所述第二输入口(42)用于输入与尾气进行反应的化学源。
3.根据权利要求2所述的尾气过滤装置，其特征在于，所述第二输入口(42)处设置有通断阀(43)。
4.根据权利要求1所述的尾气过滤装置，其特征在于，所述加强板包括分别固定在所述软刮片(221)两侧的第一加强板(222)和第二加强板(223)。
5.根据权利要求4所述的尾气过滤装置，其特征在于，所述刮片组件(22)为矩形结构，且所述软刮片(221)远离所述杆体(21)的一侧边缘突出于所述第一加强板(222)和所述第二加强板(223)并与所述滤芯(12)的表面抵接，所述驱动机构(3)能够驱动所述杆体(21)绕所述杆体(21)的中心轴线转动。
6.根据权利要求4所述的尾气过滤装置，其特征在于，所述刮片组件(22
7.根据权利要求1所述的尾气过滤装置，其特征在于，所述刮片机构(2)还包括固定杆(23)和连接件(24)，所述软刮片(221)通过所述固定杆(23)和所述连接件(24)与所述杆体(21)可拆卸连接。
8.根据权利要求7所述的尾气过滤装置，其特征在于，所述固定杆(23)为可伸缩结构，所述固定杆(23)上设置有锁定结构，所述锁定结构用于固定所述固定杆(23)的长度。
9.根据权利要求1所述的尾气过滤装置，其特征在于，所述出气口(13)连接有真空抽气系统。
10.一种原子层沉积镀膜设备，包括排气装置和干泵，其特征在于，包括权利要求1-9中任一项所述的尾气过滤装置，所述尾气过滤装置连接在所述排气装置和所述干泵之间。
...【技术特征摘要】
1.一种尾气过滤装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的尾气过滤装置，其特征在于，所述尾气过滤装置还包括有密封盖(4)，所述密封盖(4)与所述进气口相连通，所述密封盖(4)上开设有第一输入口(41)和第二输入口(42)，所述第一输入口(41)用于输入尾气，所述第二输入口(42)用于输入与尾气进行反应的化学源。
3.根据权利要求2所述的尾气过滤装置，其特征在于，所述第二输入口(42)处设置有通断阀(43)。
4.根据权利要求1所述的尾气过滤装置，其特征在于，所述加强板包括分别固定在所述软刮片(221)两侧的第一加强板(222)和第二加强板(223)。
5.根据权利要求4所述的尾气过滤装置，其特征在于，所述刮片组件(22)为矩形结构，且所述软刮片(221)远离所述杆体(21)的一侧边缘突出于所述第一加强板(222)和所述第二加强板(223)并与所述滤芯(12)的表面抵接，所述驱动机构(3)能够驱动所述杆体(21)绕所述杆体(21)的中心轴线转动。
6.根据权利要求4...
【专利技术属性】
技术研发人员：魏晓庆，秦志勇，
申请(专利权)人：光驰半导体技术上海有限公司，
类型：新型
国别省市：
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