一种真空腔体内部实现快速数片的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及真空自动化技术领域，尤其是一种真空腔体内部实现快速数片的装置，包括推送机构、检片传感器和检片传感器安装机构，其中所述检片传感器连接在所述检片传感器安装机构上，所述检片传感器安装机构与所述推送机构连接以使所述检片传感器安装机构可在所述推送机构的驱动下沿若干所述基片的排列方向运动。本实用新型专利技术的优点是：1）检测效率大幅度提升；2）大大节约了硬件成本；3）具有较好的可扩展性，尤其可适配各种PLC或控制器中；4）可应用于垂直上升的计数，及机械手在搬运前对产品装载单元的数片中；5）容易复现，通过实时扫描去匹配位置的方法也提升了检测的准确率。描去匹配位置的方法也提升了检测的准确率。描去匹配位置的方法也提升了检测的准确率。

【技术实现步骤摘要】
一种真空腔体内部实现快速数片的装置


[0001]本技术涉及真空自动化
，尤其是一种真空腔体内部实现快速数片的装置。

技术介绍

[0002]随着真空自动化技术的进步，通过在真空腔体内配置料框来装载多块基板，从而提高单次工艺所能完成的基板数量，提高产能。然而，料框位于真空腔体的内部，如何对料框上的各工位是否具有基板进行检测或计数是亟待解决的问题；如若料框上未按预设要求装载基板，则会导致设备空转，造成工艺成本的无谓增加，严重时可能还会对设备造成一定损伤。
[0003]基于此，目前料框内的基板检测主要包括以下两种：
[0004]1）检测基片在到达每一个工位都停下来进行停止检测，确认该工位上是否有基板存在。然而，这个方式缺点主要有效率低，影响设备的产能；同时，频繁起停会造成微粒较多，进而影响设备的外观；
[0005]2）在料框的每个工位上追加一个传感器，通过传感器对各自对应工位上的基板装载情况进行检测。当某一工位上未正确装载基板时，安装在该工位上的传感器触发信号以进行提示。但此种检测方式硬件成本较高，而且相应电气线路也会较为本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空腔体内部实现快速数片的装置，用于对真空腔体内的若干基片进行检测及计数，其特征在于：该装置包括推送机构、检片传感器和检片传感器安装机构，其中所述检片传感器连接在所述检片传感器安装机构上，所述检片传感器安装机构与所述推送机构连接以使所述检片传感器安装机构可在所述推送机构的驱动下沿若干所述基片的排列方向运动。2.根据权利要求1所述的一种真空腔体内部实现快速数片的装置，其特征在于：所述推送机构为一推送电机，所述推送电机的电机部分设置在所述真空腔体外部的大气侧，所述推送电机的丝杆部分设置在所述真空腔体内部的真空侧，该丝杆部分与所述检片传感器安装机构连接。3.根据权利要求1所述的一种真空腔体内部实现快速数片的装置，其特征在于：所述检片传感器安装机构为一凹型的传感器固定钣金，所述检片传感器安装在所述传感器固定钣金上。4.根据权利要求3所述的一种真空腔体内部实现快速数片的装置，其特征在于：所述检片传感器为光纤传感器，包括光纤发送端和光纤接收端，所述光纤发送端安装在所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：卜钦钦，刘新柱，赵磊，
申请(专利权)人：光驰半导体技术上海有限公司，
类型：新型
国别省市：