一种真空腔体内部实现快速数片的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及真空自动化技术领域，尤其是一种真空腔体内部实现快速数片的装置，包括推送机构、检片传感器和检片传感器安装机构，其中所述检片传感器连接在所述检片传感器安装机构上，所述检片传感器安装机构与所述推送机构连接以使所述检片传感器安装机构可在所述推送机构的驱动下沿若干所述基片的排列方向运动。本实用新型专利技术的优点是：1）检测效率大幅度提升；2）大大节约了硬件成本；3）具有较好的可扩展性，尤其可适配各种PLC或控制器中；4）可应用于垂直上升的计数，及机械手在搬运前对产品装载单元的数片中；5）容易复现，通过实时扫描去匹配位置的方法也提升了检测的准确率。描去匹配位置的方法也提升了检测的准确率。描去匹配位置的方法也提升了检测的准确率。

【技术实现步骤摘要】
一种真空腔体内部实现快速数片的装置


[0001]本技术涉及真空自动化
，尤其是一种真空腔体内部实现快速数片的装置。

技术介绍

[0002]随着真空自动化技术的进步，通过在真空腔体内配置料框来装载多块基板，从而提高单次工艺所能完成的基板数量，提高产能。然而，料框位于真空腔体的内部，如何对料框上的各工位是否具有基板进行检测或计数是亟待解决的问题；如若料框上未按预设要求装载基板，则会导致设备空转，造成工艺成本的无谓增加，严重时可能还会对设备造成一定损伤。
[0003]基于此，目前料框内的基板检测主要包括以下两种：
[0004]1）检测基片在到达每一个工位都停下来进行停止检测，确认该工位上是否有基板存在。然而，这个方式缺点主要有效率低，影响设备的产能；同时，频繁起停会造成微粒较多，进而影响设备的外观；
[0005]2）在料框的每个工位上追加一个传感器，通过传感器对各自对应工位上的基板装载情况进行检测。当某一工位上未正确装载基板时，安装在该工位上的传感器触发信号以进行提示。但此种检测方式硬件成本较高，而且相应电气线路也会较为繁杂，后期维护较为不便。

技术实现思路

[0006]本技术的目的是根据上述现有技术的不足，提供了一种真空腔体内部实现快速数片的装置，通过推送机构沿基板的排列方向在真空腔体内推送检片传感器，实现真空腔体内连续式的快速检片。
[0007]本技术目的实现由以下技术方案完成：
[0008]一种真空腔体内部实现快速数片的装置，用于对真空腔体内的若干基片进行检测及计数，其特征在于：该装置包括推送机构、检片传感器和检片传感器安装机构，其中所述检片传感器连接在所述检片传感器安装机构上，所述检片传感器安装机构与所述推送机构连接以使所述检片传感器安装机构可在所述推送机构的驱动下沿若干所述基片的排列方向运动。
[0009]所述推送机构为一推送电机，所述推送电机的电机部分设置在所述真空腔体外部的大气侧，所述推送电机的丝杆部分设置在所述真空腔体内部的真空侧，该丝杆部分与所述检片传感器安装机构连接。
[0010]所述检片传感器安装机构为一凹型的传感器固定钣金，所述检片传感器安装在所述传感器固定钣金上。
[0011]所述检片传感器为光纤传感器，包括光纤发送端和光纤接收端，所述光纤发送端安装在所述传感器固定钣金的一侧端部，所述光纤接收端安装在所述传感器固定钣金的另
一侧端部，所述光纤发送端和所述光纤接收端之间构成位置对应且位于基板的两侧。
[0012]所述光纤接收端连接有放大器。
[0013]所述装置包括PLC控制单元，所述PLC控制单元包括PLC单元CPU模块、PLC单元轴控制器、PLC单元IO模块，其中所述PLC单元CPU模块与所述PLC单元轴控制器和所述PLC单元IO模块连接，所述PLC单元轴控制器连接控制所述推送机构，所述PLC单元IO模块接收所述检片传感器的信号。
[0014]所述PLC单元轴控制器通过伺服驱动器连接控制所述推送机构。
[0015]所述检片传感器的接口通过真空导入法兰导入至所述真空腔体的内部。
[0016]本技术的优点是：
[0017]1）相较于传统的停止检测，检测效率大幅度提升；
[0018]2）相较于每个工位追加一个传感器，大大节约了硬件成本；
[0019]3）具有较好的可扩展性，尤其可适配各种PLC或控制器中；
[0020]4）可应用于垂直上升的计数，及机械手在搬运前对产品装载单元的数片中；
[0021]5）容易复现，通过实时扫描去匹配位置的方法也提升了检测的准确率。
附图说明
[0022]图1为本技术的结构示意图；
[0023]图2为本技术的侧视图；
[0024]图3为本技术的电气系统框图；
[0025]图4为本技术的检片流程图；
[0026]图5为本技术的检片计算流程图；
[0027]图6为本技术中料框放置示意图。
具体实施方式
[0028]以下结合附图通过实施例对本技术特征及其它相关特征作进一步详细说明，以便于同行业技术人员的理解：
[0029]如图1
‑
6所示，图中标记1
‑
9分别表示为：推送电机真空侧部分1、真空导入法兰2、检片传感器安装机构3、推送电机大气侧部分4、检片传感器5、基板6、料框7、光纤传感器8、传感器固定钣金9。
[0030]实施例：如图1所示，本实施例中真空腔体内部实现快速数片的装置用于对装载在真空腔体内的若干基板6进行检测和计数。用于装载样片的若干基板6分别被逐一装载在位于真空腔体内的料框7的各个工位上。
[0031]结合图1和图2所示，该装置包括推送电机，优选为伺服推送电机，该推送电机包括位于真空腔体内部真空侧的推送电机真空侧部分1和位于真空腔体外部大气侧的推送电机大气部分4。在本实施例中，该推送电机真空侧部分1为丝杆，而推送电机大气侧部分4为主体电机，该主体电机与丝杆连接使丝杆可转动。
[0032]在推送电机真空侧部分1，即推送电机的丝杆底部设置有检片传感器安装机构3，该检片传感器安装机构3用于安装进行基板检测和计数的检片传感器5。在本实施例中，如图2所示，该检片传感器安装机构3为凹型结构的传感器固定钣金10，该传感器固定钣金10
的顶端与推送电机的丝杆之间构成传动配合连接，使该传感器固定钣金10可在推送电机丝杆的转动作用下，沿若干基板6的排列方向运动。
[0033]以图1为例，在图中检片传感器安装机构3的运动方向即为图示从左侧至右侧的水平方向；但在具体实施时，例如当若干基板6是以竖直方向进行排列时，推送电机应驱动检片传感器安装机构3是以竖直方向进行运动，以保证其运动方向始终是与若干基板6的排列方向是同向的。
[0034]结合图1和图2所示，作为检片传感器安装机构3的传感器固定钣金10具有一开口，该开口大小满足于使其两侧端部分别位于基板6两侧的要求，从而使安装在检片传感器安装机构3上的检片传感器5能够沿若干基板6的排列方向逐一进行检测和计数。
[0035]在本实施例中，检片传感器5为可用于真空环境的光纤传感器9，其包括光纤发送端、光纤接收端和放大器这三个部分，其中光纤发送端和光纤接收端分别安装在传感器固定钣金10的伸出两端且光纤发送端和光纤接收端构成位置对应；当两者之间的光被遮挡时，光纤强度发生变化，与光纤接收端连接的放大器便会触发信号，判断该料框7的该工位上正确装载有基板6。在检片传感器安装机构3的带动下，检片传感器5沿基板6的排列方向逐一进行检测和计数。
[0036]如图3所示，本实施例中的装置的电气系统包括PLC控制单元，该PLC控制单元用于对装置的工作状态进行控制。PLC控制单元主要包括PLC单元CPU模块、PLC单元轴控制器和PLC单元IO模块。其中，PLC单元CPU模块用于实现控制作用。当推送电机为伺服本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空腔体内部实现快速数片的装置，用于对真空腔体内的若干基片进行检测及计数，其特征在于：该装置包括推送机构、检片传感器和检片传感器安装机构，其中所述检片传感器连接在所述检片传感器安装机构上，所述检片传感器安装机构与所述推送机构连接以使所述检片传感器安装机构可在所述推送机构的驱动下沿若干所述基片的排列方向运动。2.根据权利要求1所述的一种真空腔体内部实现快速数片的装置，其特征在于：所述推送机构为一推送电机，所述推送电机的电机部分设置在所述真空腔体外部的大气侧，所述推送电机的丝杆部分设置在所述真空腔体内部的真空侧，该丝杆部分与所述检片传感器安装机构连接。3.根据权利要求1所述的一种真空腔体内部实现快速数片的装置，其特征在于：所述检片传感器安装机构为一凹型的传感器固定钣金，所述检片传感器安装在所述传感器固定钣金上。4.根据权利要求3所述的一种真空腔体内部实现快速数片的装置，其特征在于：所述检片传感器为光纤传感器，包括光纤发送端和光纤接收端，所述光纤发送端安装在所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：卜钦钦，刘新柱，赵磊，
申请(专利权)人：光驰半导体技术上海有限公司，
类型：新型
国别省市：