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本实用新型涉及真空自动化技术领域，尤其是一种真空腔体内部实现快速数片的装置，包括推送机构、检片传感器和检片传感器安装机构，其中所述检片传感器连接在所述检片传感器安装机构上，所述检片传感器安装机构与所述推送机构连接以使所述检片传感器安装机构可...
该专利属于光驰半导体技术（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过光驰半导体技术（上海）有限公司授权不得商用。

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