一种ALD基片架装载小车制造技术

本实用新型专利技术涉及真空镀膜技术领域，尤其是一种ALD基片架装载小车，包括小车底座、基片架承载平台和按压把手，所述基片架承载平台设置在所述小车底座上且两者之间设置有导向机构，所述按压把手通过杠杆机构与所述基片架承载平台连接，所述基片架承载平台在所述按压把手的驱动下在所述小车底座之上升降。本实用新型专利技术的优点是：手动按压升降装载小车，解决大装载量基片架，人工无法平稳安全搬运及避免处于高温的基片架人工搬运可能带来的人身伤害；通过按压手柄带动杠杆，杠杆翘起装载小车装载平台，此装载平台安装四根导柱，受导柱导引限制，平台能实现上下同步平稳运动，保证基片架在搬运过程中的稳定性。运过程中的稳定性。运过程中的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种ALD基片架装载小车


[0001]本技术涉及真空镀膜
，尤其是一种ALD基片架装载小车。

技术介绍

[0002]ALD是一种沉积方法，主要实现方式是：基片表面依次暴露于两种或多种气态前驱体中，由于前驱体之间的化学反应而使相应的材料镀在基片表面上。一般镀膜环境都伴随着高温，都要使用可靠的支架来承载基片，而承载了基片的架子，一般通过纯人工的方式，利用取手架提起基片支架来实现搬运。
[0003]大多数情况下人工搬运简单快捷，如图1所示，手握取手架4，抬起基片架3使其与装在室1内的装载室平台2脱离即完成了搬运。但人工搬运会产生各种的人为因素，影响基片安全或者人身安全（因为生产结束，基片架子一般处于高温）。况且在架子基片装载达到一定重量的时候，人工搬运是困难的，这时必须要借助于具有装载小车的基片架运输小车，来实现更重载量时平稳安全的搬运。
[0004]一般运输小车如图2所示，运输小车5的结构比较简单，底部带四个滚轮，上部平台安装适用于装载小车的导轨。一般操作步骤是：移动运输小车5至装载室1并完成两者之间小车导轨7的对位后，推动装载着基片架3的装载小车，使其在小车导轨7上运行至装载室平台2上方，然后通过装载小车自带的按压把手8手动压升松降的功能，此时装在小车的位置从装载小车（低位）6变化为装在小车（高位）9，实现基片架3与自身的脱离，然后完成与装载室平台2的对接。然而，目前的装载小车施力困难，操作难度大且容易引起上方基片架倾覆，此外其升降高度不易控制。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是根据上述现有技术的不足，提供了一种ALD基片架装载小车，通过杠杆机构和导向机构的结构设计，实现基片架平稳安全搬运。
[0006]本技术目的实现由以下技术方案完成：
[0007]一种ALD基片架装载小车，设置在运输小车上用于装载基片架，其特征在于：该装载小车包括小车底座、基片架承载平台和按压把手，所述基片架承载平台设置在所述小车底座上且两者之间设置有导向机构，所述按压把手通过杠杆机构与所述基片架承载平台连接，所述基片架承载平台在所述按压把手的驱动下在所述小车底座之上升降。
[0008]所述杠杆机构包括旋转杠杆、抬升杠杆，其中所述旋转杠杆的一端与所述按压把手铰接，另一端与所述抬升杠杆的一端共同铰接于一旋转轴，所述抬升杠杆的另一端与所述基片架承载平台铰接。
[0009]所述旋转轴安装于固定在小车底座的衬套内实现旋转。
[0010]所述导向机构包括导向轴和直线轴承，所述导向轴与所述直线轴承配合连接，所述导向轴的顶端与所述基片架承载平台连接，所述直线轴承设置在所述小车底座中。
[0011]所述小车底座的底部设置有V型金属滚轮。
[0012]在所述小车底座的一侧设置有推行把手。
[0013]所述推行把手位于按压把手的按压旋转范围内，以对所述按压把手的按压动作进行限位。
[0014]本技术的优点是：
[0015]1）手动按压升降装载小车，解决大装载量基片架，人工无法平稳安全搬运及避免处于高温的基片架人工搬运可能带来的人身伤害；
[0016]2）通过按压手柄带动杠杆，杠杆翘起装载小车装载平台，此装载平台安装四根导柱，受导柱导引限制，平台能实现上下同步平稳运动，保证基片架在搬运过程中的稳定性；
[0017]3）与纯人工搬运相比，提高了基片装载多方面的安全性，以及解决了大装载量基片架人工无法搬运的困境，拓宽了设备装载能力，提高了设备竞争力。
附图说明
[0018]图1为现有技术中人工搬运基片架的方式图；
[0019]图2为现有技术中运输小车的使用原理示意图；
[0020]图3为本技术的结构示意图（高位）；
[0021]图4为本技术的结构示意图（低位）；
[0022]图5为本技术中导向机构的结构示意图；
[0023]图6为本技术中V型金属滚轮的结构示意图；
[0024]图7为本技术中杠杆机构的结构示意图。
实施方式
[0025]以下结合附图通过实施例对本技术特征及其它相关特征作进一步详细说明，以便于同行业技术人员的理解：
[0026]如图1
‑
7所示，图中标记1
‑
19分别表示为：装载室1、装载室平台2、基片架3、取手架4、运输小车5、装载小车（低位）6、小车导轨7、按压把手8、装载小车（高位）9、推行把手10、按压把手11、旋转杠杆12、旋转支点13、抬升杠杆14、基片装载平台15、小车底座16、导向轴17、V型金属滚轮18、直线轴承19。
[0027]实施例：如图3所示，本实施例中通过手动按压能实现平稳升降的ALD基片架装载小车包括小车底座16，该小车底座16为装载小车的主体部件。在小车底座16的框架底部设置有四个V型金属滚轮18，如图6所示，四个V型金属滚轮18内部自带轴承；通过在装载小车运行的方向铺设与V型金属滚轮18相匹配的圆柱型（圆钢）导轨，该V型金属滚轮18能在圆柱型（圆钢）导轨上自行形成定位，使装载小车可在导轨上平稳运行。
[0028]如图3所示，小车底座16的上方设置有基片装载平台15，该基片装载平台15用于装载基片架。在小车底座16的一侧设置有按压把手11，该按压把手11通过杠杆机构与基片装载平台15连接以使基片装载平台15可在按压把手11的驱动下升降，从而适应不同高度的装载要求。具体而言，结合图2和图7所示，杠杆机构包括旋转杠杆12和抬升杠杆14，其中旋转杠杆12的一端与按压把手11铰接，另一端和抬升杠杆14的一端均绑定在一根旋转轴上构成铰接，该旋转轴作为一旋转支点13可以在小车底座16的固定润滑轴套内转动，抬升杠杆14的另一端与基片装载平台15连接。
[0029]在使用时，对比图3和图4所示，按压按压把手11，该按压把手11同步带动其两侧的旋转杠杆12，两侧的旋转杠杆12同步旋转并分别抬升起对应的两根抬升杠杆14的一端，该抬升杠杆14的另一端处于基片架承载平台15的中心位置，这样抬升杠杆14端部翘起时，能同步平稳的抬升起两个基片架承载平台15，从而能平稳的抬升起置于基片架承载平台15上的基片架。
[0030]在本实施例中，旋转杠杆12与抬升杠杆14可按一定长度比例设计形成省力机构，并使抬升杠杆14的端点处于基片架装载平台15中心的合理位置。
[0031]为了提高基片架承载平台15在抬升时的稳定性，在基片架承载平台15和小车底座16之间还设置有导向机构。结合图3和图5所示，在基片架承载平台15的前、后两侧分别布置了四根导向轴17，每根导向轴17的顶端固定于基片架承载平台15，在小车底座16对应于每根导向轴17的位置处分别设置有直线轴承19，每根导向轴17和每个直线轴承19构成一一对应匹配；当基片架承载平台15抬升时带动导向轴17在直线轴承19内上下滑动并受直线轴承19限制，使整个基片架承载平台15可被限制在一定幅度内平稳上升下降。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种ALD基片架装载小车，设置在运输小车上用于装载基片架，其特征在于：该装载小车包括小车底座、基片架承载平台和按压把手，所述基片架承载平台设置在所述小车底座上且两者之间设置有导向机构，所述按压把手通过杠杆机构与所述基片架承载平台连接，所述基片架承载平台在所述按压把手的驱动下在所述小车底座之上升降。2.根据权利要求1所述的一种ALD基片架装载小车，其特征在于：所述杠杆机构包括旋转杠杆、抬升杠杆，其中所述旋转杠杆的一端与所述按压把手铰接，另一端与所述抬升杠杆的一端共同铰接于一旋转轴，所述抬升杠杆的另一端与所述基片架承载平台铰接。3.根据权利要求2所述的一种ALD基片架装载小车，其特征在于：所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：董黄华，崔国东，
申请(专利权)人：光驰半导体技术上海有限公司，
类型：新型
国别省市：