【技术实现步骤摘要】
一种ALD基片架装载小车
[0001]本技术涉及真空镀膜
，尤其是一种ALD基片架装载小车。
技术介绍
[0002]ALD是一种沉积方法，主要实现方式是：基片表面依次暴露于两种或多种气态前驱体中，由于前驱体之间的化学反应而使相应的材料镀在基片表面上。一般镀膜环境都伴随着高温，都要使用可靠的支架来承载基片，而承载了基片的架子，一般通过纯人工的方式，利用取手架提起基片支架来实现搬运。
[0003]大多数情况下人工搬运简单快捷，如图1所示，手握取手架4，抬起基片架3使其与装在室1内的装载室平台2脱离即完成了搬运。但人工搬运会产生各种的人为因素，影响基片安全或者人身安全（因为生产结束，基片架子一般处于高温）。况且在架子基片装载达到一定重量的时候，人工搬运是困难的，这时必须要借助于具有装载小车的基片架运输小车，来实现更重载量时平稳安全的搬运。
[0004]一般运输小车如图2所示，运输小车5的结构比较简单，底部带四个滚轮，上部平台安装适用于装载小车的导轨。一般操作步骤是：移动运输小车5至装载室1并完成两者之间小车导...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种ALD基片架装载小车，设置在运输小车上用于装载基片架，其特征在于：该装载小车包括小车底座、基片架承载平台和按压把手，所述基片架承载平台设置在所述小车底座上且两者之间设置有导向机构，所述按压把手通过杠杆机构与所述基片架承载平台连接，所述基片架承载平台在所述按压把手的驱动下在所述小车底座之上升降。2.根据权利要求1所述的一种ALD基片架装载小车，其特征在于：所述杠杆机构包括旋转杠杆、抬升杠杆，其中所述旋转杠杆的一端与所述按压把手铰接，另一端与所述抬升杠杆的一端共同铰接于一旋转轴，所述抬升杠杆的另一端与所述基片架承载平台铰接。3.根据权利要求2所述的一种ALD基片架装载小车，其特征在于：所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：董黄华，崔国东，
申请(专利权)人：光驰半导体技术上海有限公司，
类型：新型
国别省市：
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