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本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其是一种ALD基片架装载小车，包括小车底座、基片架承载平台和按压把手，所述基片架承载平台设置在所述小车底座上且两者之间设置有导向机构，所述按压把手通过杠杆机构与所述基片架承载平台连接，所述基片架承载平台在所...
该专利属于光驰半导体技术（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过光驰半导体技术（上海）有限公司授权不得商用。

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