【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空自动化，尤其是一种适用于多回路精确控制加热的方法，特别可应用在ald及其他对温控精确要求高的成膜设备上。
技术介绍
1、原子层沉积（atomic layer deposition)是一种可以将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法。原子层沉积与普通的化学沉积有相似之处。但在原子层沉积过程中，新一层原子膜的化学反应是直接与之前一层相关联的，这种方式使每次反应只沉积一层原子。ald本身通有化学源，故ald设备对温度控制要求较高，温度控制不当可能会使得ald反应变成cvd反应，ald设备对加热时间本身并无严格限制，但对加热精度要求较高，尤其是不能有过冲现象。
2、目前，针对ald设备的控制而言，较常所采用的温控方式是通过设置温控器进行控制。然而，在ald设备，尤其是在实施热法ald工艺时，涉及到的温控回路数量多，若使用温控器进行控制，成本较高，不利于提高产品竞争力。同时，对于各回路的控制周期较为复杂，延后性较大。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是根据上述现有技术的不足，提供了一种适用于多回路精确控制加热的方法，通过plc分回路数扫描的方式配合优化的pid算法，实现多加热回路的精确控制且不存在过冲现象，同时避免plc扫描周期明显增长。
2、本专利技术目的实现由以下技术方案完成：
3、一种适用于多回路精确控制加热的方法，用于对若干加热回路的精确控制，若干所述加热回路均由加热器实现加热，其特征在于：通过温度采集模块采集所述加热器
4、在plccpu模块的扫描过程中，采用分回路数的方式进行所有加热回路的扫描，即将若干所述加热回路按一定数量划分为若干组回路，所述plccpu模块在一个扫描周期内扫描一组回路，完成后逐一扫描各组回路。
5、当所述加热回路在升温阶段时，所述pid算法通过以下方式输出操作值信号：
6、当所述温度采集模块所采集的加热器温度距离设定的目标温度之间的温度差a度内时，所述pid算法输出的操作值信号mvn=b(mvn-1+△mvn)；
7、式中，b为修正系数，mvn-1为该加热回路上一扫描周期内的操作值信号，△mvn为输出变化值。
8、所述温度差a度为0-5度；所述修正系数b为0.7-0.99。
9、当通过所述温度采集模块检测到加热器的温度下落时，所述pid算法在经过运算所得出的输出操作值信号的基础上增加追加值c，即：
10、所述pid算法输出的操作值信号mvn=b（mvn-1+△mvn+c）；
11、式中，b为修正系数，mvn-1为该加热回路上一扫描周期内的操作值信号，△mvn为输出变化值，c为追加值。
12、所述追加值c为0-1之间的值。
13、当通过所述温度采集模块检测到当前温度距离目标温度0.1度或大于所述目标温度时，所述plccpu模块关闭其pid算法运算。
14、根据所述加热回路内的加热器的温度设定报警温度，所述报警温度是在所述加热器的正常工作温度的之外的温度范围内以多段式进行划分。
15、本专利技术的优点是：
16、1）通过优化后的pid算法提升加热控制的精度，进而提升工艺质量；
17、2）大大节约了成本；
18、3）可适应ald设备温控回路较多的特性，当回路数发生变化时，仅只需更改回路数这个参数即可实现新增回路的算法运算，灵活性高，具有良好的扩展性和可移植性；
19、4）完善的报警制度，程序中设置多种报警方式，使得系统更加安全、可靠。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种适用于多回路精确控制加热的方法，用于对若干加热回路的精确控制，若干所述加热回路均由加热器实现加热，其特征在于：通过温度采集模块采集所述加热器的温度，通过PLCCPU模块接收所述温度采集模块的温度采集信息并基于PID算法控制PLC输出模块输出操作值，所述PLC输出模块通过控制与所述加热器连接的固态继电器的通断控制所述加热器的温度；
2.根据权利要求1所述的一种适用于多回路精确控制加热的方法，其特征在于：当所述加热回路在升温阶段时，所述PID算法通过以下方式输出操作值信号：
3.根据权利要求2所述的一种适用于多回路精确控制加热的方法，其特征在于：所述温度差a度为0-5度；所述修正系数b为0.7-0.99。
4.根据权利要求2所述的一种适用于多回路精确控制加热的方法，其特征在于：当通过所述温度采集模块检测到加热器的温度下落时，所述PID算法在经过运算所得出的输出操作值信号的基础上增加追加值c，即：
5.根据权利要求4所述的一种适用于多回路精确控制加热的方法，其特征在于：所述追加值c为0-1之间的值。
6.根据权利要求1
7.根据权利要求1所述的一种适用于多回路精确控制加热的方法，其特征在于：根据所述加热回路内的加热器的温度设定报警温度，所述报警温度是在所述加热器的正常工作温度的之外的温度范围内以多段式进行划分。
...【技术特征摘要】
1.一种适用于多回路精确控制加热的方法，用于对若干加热回路的精确控制，若干所述加热回路均由加热器实现加热，其特征在于：通过温度采集模块采集所述加热器的温度，通过plccpu模块接收所述温度采集模块的温度采集信息并基于pid算法控制plc输出模块输出操作值，所述plc输出模块通过控制与所述加热器连接的固态继电器的通断控制所述加热器的温度；
2.根据权利要求1所述的一种适用于多回路精确控制加热的方法，其特征在于：当所述加热回路在升温阶段时，所述pid算法通过以下方式输出操作值信号：
3.根据权利要求2所述的一种适用于多回路精确控制加热的方法，其特征在于：所述温度差a度为0-5度；所述修正系数b为0.7-0.99。
4.根据权利要求2所述的一种适用于...
【专利技术属性】
技术研发人员：卜钦钦，刘新柱，赵磊，
申请(专利权)人：光驰半导体技术上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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