一种ALD基片架运输小车制造技术

本实用新型专利技术涉及真空镀膜技术领域，尤其是一种ALD基片架运输小车，所述运输小车的底座与其升降平台之间设置有可伸缩的多段式立柱，设置在所述升降平台上的所述装载小车可在所述多段式立柱的驱动下升降，所述运输小车上设置有控制装置，所述控制装置连接控制所述多段式立柱的动作状态。本实用新型专利技术的优点是：能高稳定自动升降，实现不同设备不同高度装载平台间流转、单一设备不同高度的稳定装载，或者对装载高度超过人体工程学高度时，能稳定升降到合适高度。合适高度。合适高度。

【技术实现步骤摘要】
一种ALD基片架运输小车


[0001]本技术涉及真空镀膜
，尤其是一种ALD基片架运输小车。

技术介绍

[0002]ALD是一种沉积方法，主要实现方式是：基片表面依次暴露于两种或多种气态前驱体中，由于前驱体之间的化学反应而使相应的材料镀在基片表面上。一般镀膜环境都伴随着高温，都要使用可靠的支架来承载基片，而承载了基片的架子一般要通过纯人工或者借助运输小车的半人工方式来实现搬运。
[0003]大多数情况下人工搬运简单快捷，但人工搬运会产生各种的人为因素，影响基片安全或者人身安全，例如当生产结束后，基片架一般处于高温状态，人工无法直接搬运，需要待基片架冷却后方可进行搬运，而且在架子基片装载达到一定重量时，人工搬运是困难的。此时，必须借助于运输小车，来实现更重载量时的搬运。一般运输小车如图3所示，结构比较简单，运输小车11的底部带四个滚轮，上部平台安装适用于装载小车13的小车导轨14，该装载小车13用于装载放置有待镀膜基片的基片支架12。一般操作步骤是：移动运输小车11至装载室15并完成其小车导轨14与装载室导轨16之间的对位后，推动装载着基片支架12的装载小车13，使其在导轨上运行至装载室平台17上方，然后通过装载小车13自带的手动压升松降的功能，实现基片支架12与自身的脱离，然后完成与装载室平台17的对接，而后基片支架12由升降机构18抬升到镀膜室19内进行镀膜。
[0004]然而，如图3所示的此类运输小车，一般适用于高度固定的装载，对于如有自动倒片机、预热烘箱等的存在有不同高度装载平台及装载高度过高时的情况是不适用的。此外，如何保证运输小车的使用安全，尤其是避免基片支架倾覆的情况发生，也是亟待解决的问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是根据上述现有技术的不足，提供了一种ALD基片架运输小车，利用多段密闭式高升降比立柱作为升降平台的提升机构，由操作便捷的操作手柄对控制盒发出指令，实现立柱的伸缩，从而完成运输小车升降平台的自动升降。
[0006]本技术目的实现由以下技术方案完成：
[0007]一种ALD基片架运输小车，包括可走行的运输小车本体、装载小车、基片支架，所述运输小车的升降平台上设置有小车导轨，所述装载小车架设在所述小车导轨上并可沿所述小车导轨移动，所述基片支架装载在所述装载小车上，其特征在于：所述运输小车与其升降平台之间设置有可伸缩的多段式立柱，设置在所述升降平台上的所述装载小车可在所述多段式立柱的驱动下升降，所述运输小车上设置有控制装置，所述控制装置连接控制所述多段式立柱的动作状态。
[0008]所述控制装置包括操作手柄、控制器和锂电池，其中所述操作手柄通过所述控制器连接控制所述多段式立柱，所述锂电池用于供电。
[0009]所述锂电池通过锂电池支架安装在所述运输小车上，所述锂电池支架与所述运输小车之间构成可拆卸式的连接。
[0010]所述控制装置与所述多段式立柱之间的电气线路均通过穿设在所述运输小车的框架内部构成隐蔽式走线布置。
[0011]在所述升降平台的底部设置有水平陀螺安全装置，所述水平陀螺安全装置用于监测所述运输小车的所述升降平台的水平状态。
[0012]所述水平陀螺安全装置与控制装置之间构成信号连接，所述控制装置根据所述水平陀螺安全装置的监测数据控制多段式立柱动作。
[0013]所述多段式立柱的各伸缩节段之间分别设置有防尘挡圈。
[0014]所述多段式立柱为三段式立柱。
[0015]本技术的优点是：
[0016]1）能高稳定自动升降，实现不同设备不同高度装载平台间流转、单一设备不同高度的稳定装载，或者对装载高度超过人体工程学高度时，能稳定升降到合适高度；
[0017]2）利用三段密闭式高升降比立柱，安装于运输小车底座与升降平台间，作为升降平台的提升机构，由高密度锂电池为立柱电机提供动力，符合安全设定的特定程序为控制盒提供对立柱的控制，由操作便捷的操作手柄对控制盒发出指令，实现立柱的伸缩，从而方便地完成运输小车升降平台的自动化升降；
[0018]3）能提高单一设备的装载量，使用方便。
附图说明
[0019]图1为本技术的结构示意图；
[0020]图2为本技术中防尘挡圈的布置位置示意图；
[0021]图3为ALD基片架运输小车的使用原理示意图。
实施方式
[0022]以下结合附图通过实施例对本技术特征及其它相关特征作进一步详细说明，以便于同行业技术人员的理解：
[0023]如图1
‑
3所示，图中标记1
‑
19分别表示为：运输小车本体1、三段式立柱2、基片支架3、装载小车4、小车导轨5、水平陀螺安全装置6、操作手柄7、控制器8、锂电池9、防尘挡圈10、运输小车11、基片支架12、装载小车13、小车导轨14、装载室15、装载室导轨16、装载室平台17、升降机构18、镀膜室19。
[0024]实施例：如图1
‑
2所示，本实施例中实现高平稳自动升降及高升降比的ALD基片架运输小车包括运输小车本体1，该运输小车本体1的底座下方设置有可实现其走行的滚轮。在运输小车本体1的上部位置设置有升降平台，该升降平台的表面铺设有供装载小车4移动的小车导轨5。基片支架3装载在装载小车4上，该基片支架3用于装载基片。
[0025]如图1所示，在运输小车本体1的底座与其升降平台之间设置有三段式立柱2，该三段式立柱2具体是由三个采用嵌套式结构的节段构成，其中尺寸最大的节段与运输小车本体1的底座连接，尺寸中等的节段设置在尺寸最大的节段内部且两者之间构成伸缩式连接，而尺寸最小的节段设置在尺寸中等的节段内部且两者之间同样构成伸缩式连接，该尺寸最
小的节段顶部与运输小车本体1的升降平台之间连接；当三段式立柱2伸缩时，升降平台可在三段式立柱2的驱动下升降，进而带动设置在升降平台上的装载小车4在高度方向上产生位置变化，以使装载小车4可满足于不同设备不同高度装载平台的对位要求。
[0026]如图1所示，在运输小车本体1的一侧框架上设置有由操作手柄7、控制器8、锂电池9构成的控制装置，该控制装置用于控制三段式立柱2的动作状态，即三段式立柱2的伸缩高度。
[0027]具体而言，操作手柄7安装在运输小车本体1框架一侧具有一定高度的位置，例如符合人体工程学高度的位置，以便于操作人员通过操作手柄7进行三段式立柱2的控制操作。
[0028]控制器8为控制三段式立柱2的主要部件，其通过电气线路与三段式立柱2的驱动装置连接以控制三段式立柱2的升降，例如：三段式立柱2是由直流电机与大比例的减速机组合形成的大功率驱动部件，在三段式立柱的各节段里设置螺杆，驱动三段式立柱2内部的每一段螺杆运动实现每段螺杆的同步转动，从而达到三段式立柱2带动升降平台升降；此时，控制器8即与三段式立柱2的直流电机连接。
[0029]锂电池9安装在运输小车本体1框架一侧的底部位置，其可本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种ALD基片架运输小车，包括可走行的运输小车本体、装载小车、基片支架，所述运输小车的升降平台上设置有小车导轨，所述装载小车架设在所述小车导轨上并可沿所述小车导轨移动，所述基片支架装载在所述装载小车上，其特征在于：所述运输小车的底座与其升降平台之间设置有可伸缩的多段式立柱，设置在所述升降平台上的所述装载小车可在所述多段式立柱的驱动下升降，所述运输小车上设置有控制装置，所述控制装置连接控制所述多段式立柱的动作状态。2.根据权利要求1所述的一种ALD基片架运输小车，其特征在于：所述控制装置包括操作手柄、控制器和锂电池，其中所述操作手柄通过所述控制器连接控制所述多段式立柱，所述锂电池用于供电。3.根据权利要求2所述的一种ALD基片架运输小车，其特征在于：所述锂电池通过锂电池支架安装在所述运输小车上，所述锂电池支架与所述运输小车之间构...

【专利技术属性】
技术研发人员：董黄华，崔国东，
申请(专利权)人：光驰半导体技术上海有限公司，
类型：新型
国别省市：