【技术实现步骤摘要】
本技术涉及掩模工件台，特别涉及一种气动的主动隔振器。
技术介绍
1、光刻机是半导体制造过程中关键的设备，用于制作微电子器件中的图案和结构。光刻机的掩模工件台是其中一个重要组成部分，它承载掩模(光刻版)和硅片，用来传递图案到硅片上。隔振器则是一种用来隔离掩模工件台振动的装置，其作用是保证光刻机在工作时不受外界振动的干扰，确保图案的精确传递和定位。
2、隔振器可以有效减少外部环境或设备本身的振动传递到掩模工件台上，确保掩模和硅片的相对位置稳定。这对于微米甚至亚微米级别的制作精度非常重要，因为任何微小的振动都可能导致图案偏移或失真。光刻制程中，掩模的准确定位对于图案的传递至关重要。隔振器能够帮助稳定掩模工件台的位置，确保掩模和硅片的对准度达到设计要求。通过隔离外界振动，隔振器可以提高光刻机的制程稳定性，确保每一步制程的一致性和重复性。这对于保证芯片制造的一致品质和性能非常关键。
3、传统的掩模工件台常常采用气动隔振器来实现振动隔离，气动隔振器内部装有压缩空气或气体，通过调节内部气压来支撑和调整掩模工件台的高度和位置。这种气体支撑可以减缓外部振动对工件台的传递，达到隔振的目的。气动隔振器中包含空气弹簧，就像传统机械弹簧一样，但是是使用气体来代替。这些空气弹簧可以根据气压的变化调整其刚度和高度，以实现对外部振动的隔离。气动隔振器内设有气压阀，通过调节阀来控制气体的流入和排出，从而调整内部气压，这种调节能力使得隔振效果可以根据需要进行调整和优化。随着外界环境的变化和设备运行状态的变化，气动隔振器可以动态调整气压，确保
4、但是，这种传统的技术仅仅是将轴向力进行硬接触并加以抵消，为了进一步提高传统主动隔振器的隔振效果，本申请提出一种气动的主动隔振器。
技术实现思路
1、有鉴于此，本技术实施例希望提供一种气动的主动隔振器，以解决或缓解现有技术中存在的技术问题，即本申请希望进一步优化隔振效果，并对此至少提供一种有益的选择；
2、本技术实施例的技术方案是这样实现的：
3、一种气动的主动隔振器，包括底接触座和顶接触座；所述底接触座以环形阵列的形式搭载有至少三个隔振机构，所述底接触座通过所述隔振机构与所述顶接触座建立连接关系；所述隔振机构包括以倾斜于所述顶接触座并环形阵列式布置的若干个隔振单元，所述隔振单元通过数量相同的软体隔振单元和缓冲隔振单元，将所述顶接触座传递的轴向力分散为若干个径向力，所述若干个径向力以球形的形式发散。
4、其中在一种实施方式中：所述隔振机构包括第一抵顶座和第二抵顶架，所述第一抵顶座固设于所述底接触座，所述第二抵顶架通过支撑臂固设于所述顶接触座的底部，所述隔振单元安装于所述第一抵顶座和第二抵顶架之间。
5、在上述的实施方式中：隔振机构的结构由第一抵顶座、第二抵顶架以及连接它们的支撑臂组成。第一抵顶座固定在底接触座上，而第二抵顶架通过支撑臂固定在顶接触座的底部。隔振单元被安装在第一抵顶座和第二抵顶架之间。
6、其中在一种实施方式中：所述第二抵顶架和所述支撑臂之间的接触面上设有以环形阵列的形式排布的压力传感器，所述压力传感器用于检测由所述第一抵顶座传递给所述支撑臂的力的方位。
7、在上述的实施方式中：第二抵顶架和支撑臂之间的接触面上设有压力传感器，这些传感器以环形阵列的方式排布。压力传感器用于检测由第一抵顶座传递给支撑臂的力的方位。
8、其中在一种实施方式中：所述隔振机构包括作为所述软体隔振单元的肌肉束部，所述肌肉束部是柔性的密封中空体；若干个所述肌肉束部以环形阵列的形式布置。所述肌肉束部的一端和另一端固设于所述第一抵顶座和所述第二抵顶架之间相互相对的一面上。
9、在上述的实施方式中：隔振机构的结构包括作为软体隔振单元的肌肉束部。这些肌肉束部是柔性的密封中空体，以环形阵列的形式布置。每个肌肉束部在隔振机构中的作用类似于软体隔振单元。
10、其中在一种实施方式中：所述肌肉束部为条形气囊，每个所述条形气囊由独立的气阀单元连通。
11、在上述的实施方式中：肌肉束部被设计为条形气囊，而每个条形气囊通过独立的气阀单元与气泵连通。气阀单元由气泵供气，控制气体流入或排出。
12、其中在一种实施方式中：所述条形气囊的壁固设有一个或多个记忆金属铰丝。
13、在上述的实施方式中：条形气囊的壁上固设有一个或多个记忆金属铰丝。每个记忆金属铰丝的一端固定在条形气囊壁上，另一端固定在第一抵顶座或第二抵顶架上。
14、其中在一种实施方式中：所述隔振机构包括作为缓冲隔振单元的油压缓冲缸，所述油压缓冲缸的缸体和活塞杆分别固设于所述第一抵顶座和所述第二抵顶架之间相互相对的一面上，所述油压缓冲缸与作为所述软体隔振单元的所述肌肉束部的数量相同且内外对应，所述油压缓冲缸与作为所述软体隔振单元的所述肌肉束部共同构成了所述隔振单元。
15、在上述的实施方式中：隔振机构包括油压缓冲缸，作为缓冲隔振单元。油压缓冲缸的缸体和活塞杆分别固定在第一抵顶座和第二抵顶架之间相互相对的一面上。
16、与现有技术相比，本技术的有益效果是：
17、(1)高效的振动隔离：本技术通过肌肉束部、油压缓冲缸等结构的合理设计和协同作用，能够高效地将外界的轴向力分散为多个径向力，实现优异的振动隔离效果。
18、(2)适应不同工况：本技术利用压力传感器等设备实时监测力的输入，可以动态调整隔振单元的工作状态，使其适应不同工作条件和外界振动频率，保持隔振效果的稳定性和一致性。
19、(3)隔振调控化设计：本技术结合压力传感器、气泵和油压缓冲缸等元件，实现智能化的力分散和隔振调节，提高了整体系统的自适应性和智能化水平。
20、(3)可定制化设计：本技术的设计中采用了多种模块化结构，如肌肉束部的环形阵列布局，可根据需求进行定制化设计，适应不同应用场景和制程要求。
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1.一种气动的主动隔振器，其特征在于，包括底接触座(1)和顶接触座(2)；
2.根据权利要求1所述的气动的主动隔振器，其特征在于：所述隔振机构(3)包括第一抵顶座(304)和第二抵顶架(308)，所述第一抵顶座(304)固设于所述底接触座(1)，所述第二抵顶架(308)通过支撑臂(302)固设于所述顶接触座(2)的底部，所述隔振单元安装于所述第一抵顶座(304)和第二抵顶架(308)之间。
3.根据权利要求2所述的气动的主动隔振器，其特征在于：所述第二抵顶架(308)和所述支撑臂(302)之间的接触面上设有以环形阵列的形式排布的压力传感器(305)，所述压力传感器(305)用于检测由所述第一抵顶座(304)传递给所述支撑臂(302)的力的方位。
4.根据权利要求1所述的气动的主动隔振器，其特征在于：所述隔振机构(3)包括作为所述软体隔振单元的肌肉束部(301)，所述肌肉束部(301)是柔性的密封中空体；
5.根据权利要求4所述的气动的主动隔振器，其特征在于：所述肌肉束部(301)为条形气囊，每个所述条形气囊由独立的气阀单元(303)
6.根据权利要求5所述的气动的主动隔振器，其特征在于：所述条形气囊的壁固设有一个或多个记忆金属铰丝(306)。
7.根据权利要求2所述的气动的主动隔振器，其特征在于：所述隔振机构(3)包括作为缓冲隔振单元的油压缓冲缸(307)，所述油压缓冲缸(307)的缸体和活塞杆分别固设于所述第一抵顶座(304)和所述第二抵顶架(308)之间相互相对的一面上，所述油压缓冲缸(307)与所述软体隔振单元的的数量相同且内外对应，所述油压缓冲缸(307)与所述软体隔振单元的共同构成了所述隔振单元。
...【技术特征摘要】
1.一种气动的主动隔振器，其特征在于，包括底接触座(1)和顶接触座(2)；
2.根据权利要求1所述的气动的主动隔振器，其特征在于：所述隔振机构(3)包括第一抵顶座(304)和第二抵顶架(308)，所述第一抵顶座(304)固设于所述底接触座(1)，所述第二抵顶架(308)通过支撑臂(302)固设于所述顶接触座(2)的底部，所述隔振单元安装于所述第一抵顶座(304)和第二抵顶架(308)之间。
3.根据权利要求2所述的气动的主动隔振器，其特征在于：所述第二抵顶架(308)和所述支撑臂(302)之间的接触面上设有以环形阵列的形式排布的压力传感器(305)，所述压力传感器(305)用于检测由所述第一抵顶座(304)传递给所述支撑臂(302)的力的方位。
4.根据权利要求1所述的气动的主动隔振器，其特征在于：所述隔振机...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈庆生，刘鹏，王聪，
申请(专利权)人：苏州盛拓半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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