单体隔振器三向刚度测试装置制造方法及图纸

本技术公开了单体隔振器三向刚度测试装置，包括测试组件和检测组件；单体隔振器的底部置地，其顶部由所述检测组件抵顶，所述检测组件通过传感阵列组执行检测；多个所述测试组件以阵列的形式围绕所述单体隔振器的外表面布置，所述测试组件包括至少三个线性自由度；本技术的技术采用了优化的布局方式，使得测试更加高效。自动化控制和多维度测试减少了测试时间，提高了效率。通过伺服电缸、直线执行器和传感器网络的协同工作，本技术的技术可以实现更高的测试精确性。自动数据采集和分析减小了误差的可能性，从而更准确地评估单体隔振器的性能。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体生产，特别涉及单体隔振器三向刚度测试装置。

技术介绍

1、单体隔振器是光刻机中的一个重要部件，用于减小机械振动和环境干扰，以确保光刻机的稳定性和精确度。具体的，单体隔振器是一种用于隔离光刻机底座或平台与其支撑环境之间的振动和冲击的装置。它通常包括一个质量块(也称为隔振台)、减震支架和减震元件。光刻机的各个组件、特别是光学部件，对振动非常敏感，所以单体隔振器的主要目标是最大程度地减小振动传递，从而提高设备的性能和稳定性。

2、单体隔振器的核心功能是减小机械振动，特别是低频振动。这有助于确保光刻机的光学元件能够稳定地保持在所需的位置，从而提高图案的精确度和一致性。而且单体隔振器还能有效隔离来自环境的振动和冲击，如楼板的振动、机械设备的振动、空调系统的噪音等。这些环境干扰会干扰到光刻机的性能，因此隔离这些干扰是至关重要的。

3、生产单体隔振器后进行测试非常重要，因为测试能够确保隔振器的性能符合设计要求，从而保证其在实际应用中能够有效地减小振动并隔离环境干扰。传统的测试包括以下步骤：

4、s1、静态测试：隔振器首本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.单体隔振器三向刚度测试装置，其特征在于，包括测试组件(4)和检测组件(3)；

2.根据权利要求1所述的单体隔振器三向刚度测试装置，其特征在于：还包括机壳(1)，所述机壳(1)开设有容置槽(101)，所述单体隔振器置于所述容置槽(101)内进行测试；

3.根据权利要求1所述的单体隔振器三向刚度测试装置，其特征在于：所述检测组件(3)包括升降电缸(301)和板体(302)；

4.根据权利要求3所述的单体隔振器三向刚度测试装置，其特征在于：所述传感阵列组(303)包括若干个以矩形阵列形式布置并设于所述板体(302)上的震动传感器。p>

5.根据权...

【技术特征摘要】

1.单体隔振器三向刚度测试装置，其特征在于，包括测试组件(4)和检测组件(3)；

2.根据权利要求1所述的单体隔振器三向刚度测试装置，其特征在于：还包括机壳(1)，所述机壳(1)开设有容置槽(101)，所述单体隔振器置于所述容置槽(101)内进行测试；

3.根据权利要求1所述的单体隔振器三向刚度测试装置，其特征在于：所述检测组件(3)包括升降电缸(301)和板体(302)；

4.根据权利要求3所述的单体隔振器三向刚度测试装置，其特征在于：所述传感阵列组(303)包括若干个以矩形阵列形式布置并设于所述板体(302)上的震动传感器。

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【专利技术属性】
技术研发人员：陈庆生，李中秋，王聪，高建，
申请(专利权)人：苏州盛拓半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：