【技术实现步骤摘要】
本技术涉及聚氨酯主辊加工设备，特别涉及一种聚氨酯主辊激光开槽设备。
技术介绍
1、多线切割技术已经取代内圆切割技术成为晶圆片规模化生产中的主流技术，具有效率高、切口小、产品质量人为因素少等优点。聚氨酯主辊作为多线切割技术的重要零件之一，聚氨酯主辊需要在开槽设备上进行开槽加工后才能应用于多线切割，因此聚氨酯主辊的加工质量尤为重要。
2、聚氨酯主辊的加工质量将会直接影响到多线切割技术的生产，这关乎到硅片表面晶向、厚度、表面粗糙度、翘曲度等。
3、现有技术中，聚氨酯主辊通常使用机床对其进行开槽加工，而车床加工需要使用车刀和冷却液等耗材，车刀在加工过程中会产生较大的热影响区域，这会导致车刀以及聚氨酯主辊产生较大的形变，这会影响到聚氨酯主辊的加工精度，从而严重影响到聚氨酯主辊的加工质量。
技术实现思路
1、本技术的主要目的是提供一种聚氨酯主辊激光开槽设备，旨在减少聚氨酯主辊在加工过程中的热影响区域，使得聚氨酯主辊形变量更小，从而提高了聚氨酯主辊的加工质量。
2、为实现上述目的，本技术提出的聚氨酯主辊激光开槽设备，所述聚氨酯主辊激光开槽设备包括床身、激光发生装置、第一驱动装置和游动尾座；其中，
3、所述床身设有加工平台，所述加工平台设有加工位；
4、所述第一驱动装置安装于所述加工平台，且位于所述加工位的一侧，所述游动尾座滑动安装于所述加工平台，且位于所述加工位的另一侧，并能够朝靠近或者远离所述第一驱动装置的方向运动；
5、
6、所述激光发生装置的激光头正对所述加工位设置，且所述激光发生装置活动安装于所述加工平台，使得所述激光头能够相对所述聚氨酯主辊在第一方向和第二方向运动，所述第一方向为所述聚氨酯主辊的轴向，所述第二方向为所述激光头的激光发射方向。
7、在本技术的一些实施例中，所述聚氨酯主辊激光开槽设备包括移动模组，所述移动模组包括移动台和第二驱动装置，所述移动台滑动设置于所述加工平台，所述第二驱动装置安装于所述加工位，并与所述移动台驱动连接，以驱动所述移动台沿所述第一方向移动，所述激光发生装置安装于所述移动台。
8、在本技术的一些实施例中，所述移动台包括平台主体、安装板以及第三驱动装置，所述平台主体滑动设置于所述加工平台，所述平台主体上沿所述激光头的激光发射方向设置有第一导轨，所述安装板滑动安装于所述第一导轨，所述第三驱动装置安装于所述平台主体，并与所述安装板驱动连接，以驱动所述安装板沿所述第二方向运动，所述激光发生装置安装于所述安装板。
9、在本技术的一些实施例中，所述加工平台沿所述第一方向设置有第二导轨，所述游动尾座的底部滑动安装于所述第二导轨，所述聚氨酯主辊激光开槽设备包括第四驱动装置，所述第四驱动装置安装于所述加工平台，并与所述游动尾座的底部驱动连接，以驱动所述游动尾座沿所述第一方向运动。
10、在本技术的一些实施例中，所述聚氨酯主辊激光开槽设备还包括吸尘装置，所述吸尘装置活动设置于所述加工平台，使得所述吸尘装置的吸尘罩可跟随所述激光头移动，且所述吸尘罩的吸尘口正对所述激光头的加工区域设置。
11、在本技术的一些实施例中，所述吸尘罩设于所述激光头和所述聚氨酯主辊之间，所述吸尘罩包括相互连接的支撑体和罩体，所述支撑体和所述罩体内部设有连通的吸尘空间，所述吸尘口形成于所述罩体远离所述支撑体的一侧，所述支撑体远离所述罩体的一侧设有透光孔，以供所述激光头发射的光路通过；
12、所述吸尘装置包括吸尘管，所述吸尘管与所述支撑体的周侧连接，且与所述吸尘空间连通设置。
13、在本技术的一些实施例中，所述吸尘口的两侧形成有圆弧状的缺口，以使所述吸尘口与所述聚氨酯主辊的周侧相适配。
14、在本技术的一些实施例中，所述透光孔的一侧活动设置有遮挡件，所述遮挡件可相对于所述透光孔活动，以打开或者遮挡所述透光孔。
15、在本技术的一些实施例中，所述加工平台的一侧设有缺口，所述第一驱动装置和所述游动尾座分别位于所述缺口的两侧，以在所述缺口上形成所述加工位。
16、在本技术的一些实施例中，所述加工平台与水平面相倾斜设置。
17、本技术通过上述技术方案，床身设有加工平台，加工平台设有加工位，第一驱动装置安装于加工平台，且位于加工位的一侧，游动尾座滑动安装于加工平台，且位于加工位的另一侧，并能够朝靠近或者远离第一驱动装置的方向运动，激光发生装置的激光头正对加工位设置，且激光发生装置活动安装于加工平台，使得激光头能够相对聚氨酯主辊在第一方向和第二方向运动。如此设置，通过第一驱动装置与游动尾座共同夹持聚氨酯主辊，并驱动聚氨酯主辊转动，激光头可相对聚氨酯主辊进行第一方向和第二方向运动，以使得激光头发射出的光束照射在聚氨酯主辊的周侧上，具有高能量密度的光束照射在聚氨酯主辊表面，聚氨酯主辊表面吸收光束的能量，温度上升，产生熔融、烧蚀、蒸发等，从而达到开槽的目的，其中，相比于车刀，激光头发射出的光束范围较小，且光束所产生的热影响区更小，使得聚氨酯主辊形变量更小，开槽加工精度更高，从而提高了聚氨酯主辊的加工质量。
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1.一种聚氨酯主辊激光开槽设备，其特征在于，所述聚氨酯主辊激光开槽设备包括床身、激光发生装置、第一驱动装置和游动尾座；其中，
2.如权利要求1所述的聚氨酯主辊激光开槽设备，其特征在于，所述聚氨酯主辊激光开槽设备包括移动模组，所述移动模组包括移动台和第二驱动装置，所述移动台滑动设置于所述加工平台，所述第二驱动装置安装于所述加工位，并与所述移动台驱动连接，以驱动所述移动台沿所述第一方向移动，所述激光发生装置安装于所述移动台。
3.如权利要求2所述的聚氨酯主辊激光开槽设备，其特征在于，所述移动台包括平台主体、安装板以及第三驱动装置，所述平台主体滑动设置于所述加工平台，所述平台主体上沿所述激光头的激光发射方向设置有第一导轨，所述安装板滑动安装于所述第一导轨，所述第三驱动装置安装于所述平台主体，并与所述安装板驱动连接，以驱动所述安装板沿所述第二方向运动，所述激光发生装置安装于所述安装板。
4.如权利要求1所述的聚氨酯主辊激光开槽设备，其特征在于，所述加工平台沿所述第一方向设置有第二导轨，所述游动尾座的底部滑动安装于所述第二导轨，所述聚氨酯主辊激光开槽设备
5.如权利要求1所述的聚氨酯主辊激光开槽设备，其特征在于，所述聚氨酯主辊激光开槽设备还包括吸尘装置，所述吸尘装置活动设置于所述加工平台，使得所述吸尘装置的吸尘罩可跟随所述激光头移动，且所述吸尘罩的吸尘口正对所述激光头的加工区域设置。
6.如权利要求5所述的聚氨酯主辊激光开槽设备，其特征在于，所述吸尘罩设于所述激光头和所述聚氨酯主辊之间，所述吸尘罩包括相互连接的支撑体和罩体，所述支撑体和所述罩体内部设有连通的吸尘空间，所述吸尘口形成于所述罩体远离所述支撑体的一侧，所述支撑体远离所述罩体的一侧设有透光孔，以供所述激光头发射的光路通过；
7.如权利要求6所述的聚氨酯主辊激光开槽设备，其特征在于，所述吸尘口的两侧形成有圆弧状的缺口，以使所述吸尘口与所述聚氨酯主辊的周侧相适配。
8.如权利要求6所述的聚氨酯主辊激光开槽设备，其特征在于，所述透光孔的一侧活动设置有遮挡件，所述遮挡件可相对于所述透光孔活动，以打开或者遮挡所述透光孔。
9.如权利要求1所述的聚氨酯主辊激光开槽设备，其特征在于，所述加工平台的一侧设有缺口，所述第一驱动装置和所述游动尾座分别位于所述缺口的两侧，以在所述缺口上形成所述加工位。
10.如权利要求1所述的聚氨酯主辊激光开槽设备，其特征在于，所述加工平台与水平面相倾斜设置。
...【技术特征摘要】
1.一种聚氨酯主辊激光开槽设备，其特征在于，所述聚氨酯主辊激光开槽设备包括床身、激光发生装置、第一驱动装置和游动尾座；其中，
2.如权利要求1所述的聚氨酯主辊激光开槽设备，其特征在于，所述聚氨酯主辊激光开槽设备包括移动模组，所述移动模组包括移动台和第二驱动装置，所述移动台滑动设置于所述加工平台，所述第二驱动装置安装于所述加工位，并与所述移动台驱动连接，以驱动所述移动台沿所述第一方向移动，所述激光发生装置安装于所述移动台。
3.如权利要求2所述的聚氨酯主辊激光开槽设备，其特征在于，所述移动台包括平台主体、安装板以及第三驱动装置，所述平台主体滑动设置于所述加工平台，所述平台主体上沿所述激光头的激光发射方向设置有第一导轨，所述安装板滑动安装于所述第一导轨，所述第三驱动装置安装于所述平台主体，并与所述安装板驱动连接，以驱动所述安装板沿所述第二方向运动，所述激光发生装置安装于所述安装板。
4.如权利要求1所述的聚氨酯主辊激光开槽设备，其特征在于，所述加工平台沿所述第一方向设置有第二导轨，所述游动尾座的底部滑动安装于所述第二导轨，所述聚氨酯主辊激光开槽设备包括第四驱动装置，所述第四驱动装置安装于所述加工平台，并与所述游动尾座的底部驱动连接，以驱动所述游动尾座沿所述第一方向运动。
5.如权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：熊丰强，周宇超，李加林，廖雁书，翟佳聪，唐宇辉，董天雪，
申请(专利权)人：海目星激光科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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