一种真空镀膜板式加热器制造技术

本技术提出一种真空镀膜板式加热器，其包括承载装配构件、外缘发热构件、内缘发热构件、中部发热构件及遮护定位构件，该加热器在承载座板中开设外缘槽口、内缘槽口及中部槽口，对承载座板进行从外向内分区，并在外缘槽口、内缘槽口及中部槽口中分别安装含有加热丝的外缘盘管、内缘盘管及中部盘管，分别对承载座板外缘、内缘及中部进行加热，还设置外缘热电偶、内缘热电偶及中部热电偶，分别对承载座板外缘、内缘及中部进行温度监控，以分区控制加热温度，使得承载座板面积内的温度控制更为精准，还在遮护盖板及承载座板中分别开设导热通孔，使得遮护盖板及承载座板与外界的接触面积更大更全面，避免热量局部累积，提升加热器的温度均匀性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及加热设备，尤其涉及一种真空镀膜板式加热器。

技术介绍

1、cn1791286a公开一种板式加热器，其由铝或铝合金的部件一及部件二构成，在其内部将加热电路配置于整个加热板上，在部件一及部件二上，在加热板外周部及加热电路的全周两侧，设有作为接合用嵌合部的槽部及凸部，并还设有多个作为增强用嵌合部的槽部及凸部，在加热板外周部的内侧，设有增强用嵌合部，且接合用嵌合部及增强用嵌合部相互的距离在18cm以内，这种加热板能够防止因加热板大型化而引起的变形，使加热板的热传导性优良且耐久性高。其加热电路采用整体式结构，加热板边缘传热速度大于其中部的传热速度，使得加热板中温度分布不均，并且无法根据加热板的温度分布状态进行适应性调节。因此，有必要对这种板式加热器进行结构优化，以克服上述缺陷。

技术实现思路

1、本技术的目的是提供一种真空镀膜板式加热器，以提升其温度均匀性及控制精度。

2、本技术为解决其技术问题所采用的技术方案是：

3、一种真空镀膜板式加热器，包括：

4、承载装配构件，该承本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种真空镀膜板式加热器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜板式加热器，其特征在于，承载装配构件包括：

3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜板式加热器，其特征在于，外缘发热构件包括：

4.根据权利要求2所述的一种真空镀膜板式加热器，其特征在于，内缘发热构件包括：

5.根据权利要求2所述的一种真空镀膜板式加热器，其特征在于，中部发热构件包括：

6.根据权利要求3或4或5所述的一种真空镀膜板式加热器，其特征在于，遮护定位构件包括：

7.根据权利要求6所述的一种真空镀膜板式加热器，其特征在于：...

【技术特征摘要】

1.一种真空镀膜板式加热器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜板式加热器，其特征在于，承载装配构件包括：

3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜板式加热器，其特征在于，外缘发热构件包括：

4.根据权利要求2所述的一种真空镀膜板式加热器，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄永杰，
申请(专利权)人：上海宏端精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：