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本技术提出一种真空镀膜板式加热器，其包括承载装配构件、外缘发热构件、内缘发热构件、中部发热构件及遮护定位构件，该加热器在承载座板中开设外缘槽口、内缘槽口及中部槽口，对承载座板进行从外向内分区，并在外缘槽口、内缘槽口及中部槽口中分别安装含有加...
该专利属于上海宏端精密机械有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海宏端精密机械有限公司授权不得商用。

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