【技术实现步骤摘要】
本技术涉及cvd镀膜加热板，特别是涉及一种快速拆装的cvd镀膜加热板。
技术介绍
1、cvd(chemical vapor deposition，化学气相沉积)，是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质，在中温或高温条件下，在衬底表面上进行化学反应以生成薄膜的方法。传统的cvd镀膜加热板在加工过程中，通常直接将加热丝布设在两块铝板之间，两块铝板之间通过焊接密封，在加热板升温到400度时，铝板会软化、变形，从而使得平面度不良，对产线的正常运行产生影响。
技术实现思路
1、基于此，有必要针对传统的cvd镀膜加热板直接将加热丝布设在两块铝板之间，两块铝板之间通过焊接密封，在加热板升温到400度时，铝板会软化、变形，从而使得平面度不良，对产线的正常运行产生影响的问题，提供一种快速拆装的cvd镀膜加热板。
2、本技术提供的一种快速拆装的cvd镀膜加热板，包括：
3、底板，具有第一卡槽和肋条，所述肋条上具有第一通道；
4、盖板，具有第二卡槽、第三卡槽和第二通道，所述第二通道与第一通道相互连通；
5、加热丝，卡接在所述第一卡槽内，且自由端具有连接头；
6、其中，当底板与盖板之间通过紧固件组装时，底板与盖板之间形成加热腔，且肋条卡接在第三卡槽内。
7、在其中一个实施例中，所述加热丝包括第一异形部和第二异形部，所述第一异形部的终端与第二异形部的起始端相连，所述第一异形部和第二异形部分别位于底板中部
8、在其中一个实施例中，所述第一异形部包括第一凸起部和第一凹陷部，所述第一凹陷部位于相邻第一凸起部之间，所述第二异形部包括第二凸起部和第二凹陷部，所述第二凹陷部位于相邻第二凸起部之间，所述第一凸起部与第二凹陷部对应，所述第一凹陷部与第二凸起部对应。
9、在其中一个实施例中，所述肋条设置在第一凹陷部或第二凹陷部内。
10、在其中一个实施例中，所述底板的表面固定连接有限位框，所述限位框的高度小于肋条的高度。
11、在其中一个实施例中，所述第一通道延伸至限位框的外侧。
12、在其中一个实施例中，所述第二通道内固定连接有调节片，所述调节片上开设有第一凹槽，所述盖板的外壁转动连接有调节塞，所述调节塞上开设有第二凹槽，所述第二凹槽和第一凹槽均与第一通道相互连通，所述调节塞与调节片贴合。
13、在其中一个实施例中，所述紧固件为螺栓，所述底板和盖板四周均开设有与螺栓过盈配合的螺纹孔。
14、上述快速拆装的cvd镀膜加热板在组装时，只需将加热丝卡接在第一卡槽内，然后将盖板上的第三卡槽对准肋条，使盖板卡接在底板上，最后用紧固件将盖板与底板固定连接，由于在使用时，该cvd镀膜加热板的温度较高，为了减少cvd镀膜加热板在高温条件下的变形，第二通道与第一通道相互连通，且底板与盖板之间形成加热腔，能够保证盖板与底板之间受热均匀，同时，方便加热腔内的气流流通，进而减少高温对盖板和底板的损害。
15、当加热腔内的温度过高时，通过旋转调节塞，从而便于调节第二凹槽与第一凹槽之间的相对位置，当第二凹槽与第一凹槽对准时，加热腔与外界连通，能够迅速降低加热腔内的温度，当第二凹槽与第一凹槽错开时，加热腔为封闭的空间，方便迅速提高加热腔内的温度，从而便于根据需要调节加热腔内的温度。
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1.一种快速拆装的CVD镀膜加热板，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的快速拆装的CVD镀膜加热板，其特征在于，所述加热丝包括第一异形部和第二异形部，所述第一异形部的终端与第二异形部的起始端相连，所述第一异形部和第二异形部分别位于底板中部的两侧。
3.根据权利要求2所述的快速拆装的CVD镀膜加热板，其特征在于，所述第一异形部包括第一凸起部和第一凹陷部，所述第一凹陷部位于相邻第一凸起部之间，所述第二异形部包括第二凸起部和第二凹陷部，所述第二凹陷部位于相邻第二凸起部之间，所述第一凸起部与第二凹陷部对应，所述第一凹陷部与第二凸起部对应。
4.根据权利要求3所述的快速拆装的CVD镀膜加热板，其特征在于，所述肋条设置在第一凹陷部或第二凹陷部内。
5.根据权利要求1至4任一项所述的快速拆装的CVD镀膜加热板，其特征在于，所述底板的表面固定连接有限位框，所述限位框的高度小于肋条的高度。
6.根据权利要求5所述的快速拆装的CVD镀膜加热板，其特征在于，所述第一通道延伸至限位框的外侧。
7.根据权利要求6所述的快速拆装
8.根据权利要求7所述的快速拆装的CVD镀膜加热板，其特征在于，所述紧固件为螺栓，所述底板和盖板四周均开设有与螺栓过盈配合的螺纹孔。
...【技术特征摘要】
1.一种快速拆装的cvd镀膜加热板，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的快速拆装的cvd镀膜加热板，其特征在于，所述加热丝包括第一异形部和第二异形部，所述第一异形部的终端与第二异形部的起始端相连，所述第一异形部和第二异形部分别位于底板中部的两侧。
3.根据权利要求2所述的快速拆装的cvd镀膜加热板，其特征在于，所述第一异形部包括第一凸起部和第一凹陷部，所述第一凹陷部位于相邻第一凸起部之间，所述第二异形部包括第二凸起部和第二凹陷部，所述第二凹陷部位于相邻第二凸起部之间，所述第一凸起部与第二凹陷部对应，所述第一凹陷部与第二凸起部对应。
4.根据权利要求3所述的快速拆装的cvd镀膜加热板，其特征在于，所述肋条设置在第一凹陷部或第二凹陷...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐宏林，
申请(专利权)人：上海宏端精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：
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