一种进气管的吹扫组件及尾气处理设备制造技术

本技术公开了一种进气管的吹扫组件及尾气处理设备，属于尾气处理技术领域，解决了现有技术中尾气处理设备的进气管中距离吹扫管道越远的位置粉尘堆积越严重的问题。该吹扫组件包括吹扫主管和吹扫支管；吹扫支管设于进气管中且沿进气管的长度方向延伸，吹扫支管上开设多个吹扫通孔；吹扫主管贯穿进气管的内壁，吹扫主管的一端与供气设备连接，另一端与吹扫支管相连通。本技术可用于尾气处理。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于尾气处理，具体涉及一种进气管的吹扫组件及尾气处理设备。

技术介绍

1、在以半导体、太阳能光伏、平板显示和led为代表的泛半导体产业的制程过程中，为了满足国家标准，需要对制程尾气进行处理，对于含尘量高的制程尾气，用于尾气输入的进气管容易被粉尘堵塞，在现有技术中通常使用吹扫气流对进气管的侧壁上堆积的粉尘进行吹扫。

2、但是，在吹扫气流行进的过程中力度会逐渐变弱，导致进气管中距离吹扫气流进气位置越远，粉尘的堆积情况越严重，常表现为尾气处理设备进气口处堆积大量粉尘，影响尾气处理设备的进气。

技术实现思路

1、鉴于以上分析，本技术旨在提供一种进气管的吹扫组件及尾气处理设备，解决了现有技术中尾气处理设备的进气管中粉尘堆积严重的问题。

2、本技术的目的主要是通过以下技术方案实现的：

3、本技术提供了一种进气管的吹扫组件，包括吹扫主管和吹扫支管；吹扫支管设于进气管中且沿进气管的长度方向延伸，吹扫支管上开设多个吹扫通孔；吹扫主管贯穿进气管的内壁，吹扫主管的一端与供气设备连接，另一端与吹扫支管相连通。

4、进一步地，多个吹扫通孔分多圈，每圈吹扫通孔的数量为多个，多圈吹扫通孔沿吹扫支管的长度方向布置。

5、进一步地，吹扫主管的一端与供气设备可拆卸连接；进气管具有吹扫模式和非吹扫模式；进气管处于吹扫模式，吹扫主管的一端与供气设备连接；进气管处于非吹扫模式，进气管的吹扫组件还包括堵头，堵头插入吹扫主管的一端且与吹扫主管密封连接。

<p>6、进一步地，还包括设于进气管外壁的支撑板，支撑板上开设支撑通孔，进气管上开设安装通孔，支撑通孔和安装通孔位置相对应，吹扫主管穿过支撑通孔和安装通孔且与两者固定连接。

7、进一步地，还包括紧固件，紧固件位于支撑板远离进气管的一侧，紧固件套设于吹扫主管的外壁且与吹扫主管固定连接。

8、进一步地，紧固件为内螺纹件，吹扫主管的外壁设有外螺纹，紧固件和吹扫主管之间为螺纹固定连接。

9、进一步地，进气管的内径大于吹扫主管的长度与吹扫支管的外径之和。

10、本技术还提供了一种尾气处理设备，包括进气管以及上述吹扫组件。

11、进一步地，进气管开设贯穿进气管侧壁的氮气旋流进气孔，氮气旋流进气孔的一端与供气设备连接，氮气旋流进气孔的另一端与进气管内连接。

12、进一步地，氮气旋流进气孔的出气方向与进气管内壁相切且向下倾斜。

13、与现有技术相比，本技术至少可实现如下有益效果之一：

14、本技术提供的进气管的吹扫组件，在进气管内设置沿其长度方向延伸的吹扫支管，吹扫支管上设置吹扫通孔，n2通过吹扫主管、吹扫支管输送至吹扫通孔，并通过吹扫通孔吹入进气管中，由于从每个吹扫通孔上流出的n2气流均具有足够的强度，从而能够对进气管内壁不同位置上沉积的粉尘进行整体、均匀吹扫，有效减少进气管粉尘堆积严重的问题，保证尾气处理设备的正常进气。

15、本技术的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分的从说明书中变得显而易见，或者通过实施本技术而了解。本技术的目的和其他优点可通过在所写的说明书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

16、附图说明

17、附图仅用于示出具体实施例的目的，而并不认为是对本技术的限制，在整个附图中，相同的参考符号表示相同的部件。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种进气管的吹扫组件，其特征在于，包括吹扫主管和吹扫支管；

2.根据权利要求1所述的进气管的吹扫组件，其特征在于，多个吹扫通孔分多圈，每圈吹扫通孔的数量为多个，多圈吹扫通孔沿吹扫支管的长度方向布置。

3.根据权利要求1所述的进气管的吹扫组件，其特征在于，所述吹扫主管的一端与供气设备可拆卸连接；

4.根据权利要求1所述的进气管的吹扫组件，其特征在于，还包括设于进气管外壁的支撑板，所述支撑板上开设支撑通孔，所述进气管上开设安装通孔，所述支撑通孔和安装通孔位置相对应，所述吹扫主管穿过支撑通孔和安装通孔且与两者固定连接。

5.根据权利要求4所述的进气管的吹扫组件，其特征在于，还包括紧固件，所述紧固件位于支撑板远离进气管的一侧，所述紧固件套设于吹扫主管的外壁且与吹扫主管固定连接。

6.根据权利要求5所述的进气管的吹扫组件，其特征在于，所述紧固件为内螺纹件，所述吹扫主管的外壁设有外螺纹，所述紧固件和吹扫主管之间为螺纹固定连接。

7.根据权利要求1至6任一项所述的进气管的吹扫组件，其特征在于，所述进气管的内径大于吹扫主管的长度与吹扫支管的外径之和。

8.一种尾气处理设备，其特征在于，包括进气管以及权利要求1至7任一项所述的吹扫组件。

9.根据权利要求8所述的尾气处理设备，其特征在于，所述进气管开设贯穿进气管侧壁的氮气旋流进气孔，所述氮气旋流进气孔的一端与供气设备连接，所述氮气旋流进气孔的另一端与进气管内连接。

10.根据权利要求9所述的尾气处理设备，其特征在于，所述氮气旋流进气孔的出气方向与进气管内壁相切且向下倾斜。

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【技术特征摘要】

1.一种进气管的吹扫组件，其特征在于，包括吹扫主管和吹扫支管；

2.根据权利要求1所述的进气管的吹扫组件，其特征在于，多个吹扫通孔分多圈，每圈吹扫通孔的数量为多个，多圈吹扫通孔沿吹扫支管的长度方向布置。

3.根据权利要求1所述的进气管的吹扫组件，其特征在于，所述吹扫主管的一端与供气设备可拆卸连接；

4.根据权利要求1所述的进气管的吹扫组件，其特征在于，还包括设于进气管外壁的支撑板，所述支撑板上开设支撑通孔，所述进气管上开设安装通孔，所述支撑通孔和安装通孔位置相对应，所述吹扫主管穿过支撑通孔和安装通孔且与两者固定连接。

5.根据权利要求4所述的进气管的吹扫组件，其特征在于，还包括紧固件，所述紧固件位于支撑板远离进气管的一侧，所述紧固件套设于吹扫主管的外壁且与吹扫主...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭潞阳，张源源，王福清，刘磊，陈佳明，
申请(专利权)人：上海协微环境科技有限公司，
类型：新型
国别省市：