一种直流法兰反应腔和尾气处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种直流法兰和尾气处理装置，属于尾气处理技术领域，用以解决现有技术中反应气与尾气的氧化反应主要集中在反应腔的内壁处进行导致产生的粉尘颗粒堆积在反应腔的内壁

【技术实现步骤摘要】
一种直流法兰反应腔和尾气处理装置


[0001]本技术涉及尾气处理
，尤其涉及一种直流法兰反应腔和尾气处理装置
。

技术介绍

[0002]泛半导体产业的生产过程中会产生大量的尾气，这些尾气普遍具有易燃
、
有毒
、
高温室效应等性质，这些有害气体必须无害化处理后才能排放到环境中
。
无害化处理方法是将气体依次通入依次连接的热分解腔和反应腔，进行无害化处理
。
[0003]现有技术中，通常采用旋流法兰向反应腔中提供用于与尾气反应的反应气
(
例如，氧气或压缩反应气
)。
但是，由于旋流法兰产生的旋流反应气通常会沿着反应腔的内壁旋流，使得反应气与尾气的氧化反应主要集中在反应腔的内壁处进行，导致产生的粉尘颗粒堆积在反应腔的内壁，且不利于反应的均匀性
。

技术实现思路

[0004]鉴于上述的分析，本技术旨在提供一种直流法兰反应腔和尾气处理装置，用以解决现有技术中反应气与尾气的氧化反应主要集中在反应腔的内壁处进行导致产生的粉尘颗粒堆积在反应腔的内壁
、
不利于反应的均匀性的问题
。
[0005]本技术的目的主要是通过以下技术方案实现的
。
[0006]本技术提供了一种直流法兰反应腔，包括腔体和直流法兰；直流法兰内具有储气环腔；直流法兰的外圆周面开设与储气环腔连通的进气孔；储气环腔通过气流环道连通至腔体；沿着腔体中尾气气流的方向，气流环道向靠近直流法兰中心轴的方向倾斜；进气孔的出气方向沿着直流法兰的径向，气流环道的出气方向在直流法兰径向平面内的投影沿着直流法兰的径向
。
[0007]进一步地，直流法兰
、
储气环腔和气流环道同轴设置
。
[0008]进一步地，气流环道沿反应气流动方向向下倾斜
。
[0009]进一步地，储气环腔包括依次设置的进气孔所在的壁面
、
第二壁面
、
第一壁面和第三壁面；第二壁面与第三壁面相对，第一壁面与进气孔所在的壁面相对
。
[0010]进一步地，第二壁面上设有环形的凸台，将储气环腔分隔成沿着第一壁面到进气孔的方向依次连接的第一腔段
、
狭缝和第二腔段
。
[0011]进一步地，狭缝的高度小于储气环腔高度的一半
。
[0012]进一步地，气流环道的侧壁与第一壁面连接，且气流环道的侧壁的倾斜角度与第一壁面的倾斜角度相同
。
[0013]进一步地，气流环道的出气方向与直流法兰的中心轴线之间的夹角为
10
°
～
60
°
。
[0014]进一步地，气流环道的宽度为
3mm
～
10mm。
[0015]本技术还提供了一种尾气处理装置，包括上述直流法兰反应腔
。
[0016]与现有技术相比，本技术至少可实现如下有益效果之一
。
[0017]本技术提供的直流法兰反应腔，进气孔的出气方向以及气流环道的出气方向在直流法兰径向平面内的投影均沿直流法兰的径向设置，使得反应气在不产生旋流的基础上直接供入腔体的中间区域，并在中间区域与待处理尾气进行充分混合和反应，从而能够解决反应气与尾气的氧化反应主要集中在反应腔的内壁处进行导致产生的粉尘颗粒堆积在反应腔的内壁
。
[0018]本技术中，上述各技术方案之间还可以相互组合，以实现更多的优选组合方案
。
本技术的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分优点可从说明书中变得显而易见，或者通过实施本技术而了解
。
本技术的目的和其他优点可通过说明书实施例以及附图中所特别指出的内容中来实现和获得
。
附图说明
[0019]附图仅用于示出具体实施例的目的，而并不认为是对本技术的限制，在整个附图中，相同的参考符号表示相同的部件
。
[0020]图1为本技术实施例一提供的直流法兰反应腔中直流法兰的立体结构示意图；
[0021]图2为本技术实施例一提供的直流法兰反应腔中直流法兰的剖面图；
[0022]图3为图2的
A
部放大结构标注图
。
[0023]图4为图2的
A
部局部放大示意图
。
[0024]图5为本技术实施例一提供的直流法兰反应腔的结构示意图
。
[0025]附图标记：
[0026]10
‑
直流法兰；
11
‑
储气环腔；
111
‑
第一壁面；
112
‑
第二壁面；
113
‑
第三壁面；
11a
‑
第一腔段；
11b
‑
狭缝；
11c
‑
第二腔段；
12
‑
进气孔；
121
‑
沉孔；
13
‑
气流环道；
14
‑
凸台；
15
‑
第一凸缘；
20
‑
腔体
。
具体实施方式
[0027]下面结合附图来具体描述本技术的优选实施例，其中，附图构成本技术的一部分，并与本技术的实施例一起用于阐释本技术的原理，并非用于限定本技术的范围
。
[0028]实施例一
[0029]本实施例提供了一种直流法兰反应腔，参见图5，包括腔体
20
和直流法兰
10
，其中，直流法兰
10
内具有环形的储气环腔
11
，直流法兰
10
的外圆周面开设与储气环腔
11
连通的进气孔
12
，参见图1至图2；储气环腔
11
通过进气孔
12
与供气设备连通，供气设备可以为直流法兰
10
提供压缩干燥反应气
(Compress DryAir
，反应气
)
；储气环腔
11
通过气流环道
13
连通至腔体
20
，沿着腔体
20
中尾气气流的方向，气流环道
13
向靠近直流法兰
10
中心轴的方向倾斜，示例性地，腔体
20
中尾气气流的方向为竖直向下的方向；进气孔
12
的出气方向沿着直流法兰
10
的径向，气流环道
13
的出气方向在直流法兰
10
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种直流法兰反应腔，其特征在于，包括腔体和直流法兰；所述直流法兰内具有储气环腔；所述直流法兰的外圆周面开设与储气环腔连通的进气孔；所述储气环腔通过气流环道连通至腔体；沿着腔体中尾气气流的方向，所述气流环道向靠近直流法兰中心轴的方向倾斜；所述进气孔的出气方向沿着直流法兰的径向，所述气流环道的出气方向在直流法兰径向平面内的投影沿着直流法兰的径向
。2.
根据权利要求1所述的直流法兰反应腔，其特征在于，所述直流法兰
、
储气环腔和气流环道同轴设置
。3.
根据权利要求1所述的直流法兰反应腔，其特征在于，所述气流环道沿反应气流动方向向下倾斜
。4.
根据权利要求1至3任一项所述的直流法兰反应腔，其特征在于，所述储气环腔包括依次设置的进气孔所在的壁面
、
第二壁面
、
第一壁面和第三壁面；所述第二壁面与第三壁面相对，所述第一壁面与进气孔所在的壁面相对
。5.
根据权利要求4...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨国庆，郭潞阳，叶威，王福清，刘磊，陈佳明，
申请(专利权)人：上海协微环境科技有限公司，
类型：新型
国别省市：