【技术实现步骤摘要】
本申请涉及泛半导体加工装备中尾气处理设备领域，具体涉及一种粉尘捕捉系统及其工作方法。
技术介绍
1、在泛半导体产业的各种生产制程中，常会产生大量的尾气，并且有些尾气是有毒的，因此需要尾气处理器处理尾气中的有毒有害物质。并且尾气中还常含有大量粉尘颗粒（如二氧化硅），粉尘会随尾气进入尾气处理器中，并堆积在尾气处理器的排气管道中。当粉尘太多，或处理时间过长，粉尘就可能会堵塞排气管道，影响外延设备稳定生产。因此常常在工艺腔体和尾气处理器之间设置粉尘捕捉装置，通过使用粉尘捕捉装置去除尾气中的粉尘颗粒，处理后的尾气再进入尾气处理器，就不易造成尾气处理器中的排气管道的堵塞。具体的，可参阅图1所示的现有技术的泛半导体系统结构示意图，粉尘捕捉装置110连接在工艺腔体120和尾气处理器130之间，用于捕捉尾气中的粉尘颗粒。图1中的尾气处理器130处还可为真空泵。可将尾气处理器130和真空泵统称为后处理组件。
2、现有的粉尘捕捉装置详见专利文本cn2182107028u，粉尘捕捉装置运行一定时间后，粉尘捕捉装置中的过滤部件会吸附大量粉尘颗粒，需要...
【技术保护点】
1.一种粉尘捕捉系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的粉尘捕捉系统，其特征在于，延时控制单元还集成有报警装置，延时控制单元在输出控制信号Sc时，报警装置还发出报警信号。
3.根据权利要求2所述的粉尘捕捉系统，其特征在于，延时控制单元包括时间继电器和保持继电器。
4.根据权利要求3所述的粉尘捕捉系统，其特征在于，时间继电器用于接收粉尘捕集量指示信号TRc和粉尘捕集量阈值信号TRref，并比较粉尘捕集量指示信号TRc和粉尘捕集量阈值信号TRref，当粉尘捕集量指示信号TRc大于等于粉尘捕集量阈值信号TRref时，时间继电器延...
【技术特征摘要】
1.一种粉尘捕捉系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的粉尘捕捉系统，其特征在于，延时控制单元还集成有报警装置，延时控制单元在输出控制信号sc时，报警装置还发出报警信号。
3.根据权利要求2所述的粉尘捕捉系统，其特征在于，延时控制单元包括时间继电器和保持继电器。
4.根据权利要求3所述的粉尘捕捉系统，其特征在于，时间继电器用于接收粉尘捕集量指示信号trc和粉尘捕集量阈值信号trref，并比较粉尘捕集量指示信号trc和粉尘捕集量阈值信号trref，当粉尘捕集量指示信号trc大于等于粉尘捕集量阈值信号trref时，时间继电器延时延时时间ts后导通，并输出继电器控制信号s1给保持继电器，使得保持继电器也导通，并且保持继电器输出控制信号sc给三通阀。
5.根据权利要求4所述的粉尘捕捉系统，其特征在于，时间继电器集成报警装置，当粉尘捕集量指示信号trc增大到大于等于粉尘捕集量阈值信号trref时，时间继电器延时延时时间ts后发出报警信号。
6.根据权利要求5所述的粉尘捕捉系统，其特征在于，捕捉量测量装置为重量测量装置，用以测量粉尘捕捉装置的总体重量，粉尘捕集量指示信号trc为代表重量的指示信号trc1。
7.根据权利要求5所述的粉尘捕捉系统，其特征在于，捕捉量测量装置为压力测量装置，用以测量进入粉尘捕捉装置的气体在进口的压力，粉尘捕集量指示信号trc为代表进口压力的指示信号trc2。
8.根据权利要求5所述的粉尘捕捉系统，其特征在于，捕捉量测量装置为重量测量装置和压力测量装置，重量测量装置用以测量粉尘捕捉装置的总体重量，压力测量装置用以测量进入粉尘捕捉装置的气体在进口的压力，粉尘捕集量指示信号trc为代表进口压力的指示信号trc2和代...
【专利技术属性】
技术研发人员：王福清，张源源，陈佳明，
申请(专利权)人：上海协微环境科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。