【技术实现步骤摘要】
本申请涉及泛半导体加工装备中尾气处理设备领域，具体涉及一种粉尘捕捉系统及其工作方法。
技术介绍
1、在泛半导体产业的各种生产制程中，常会产生大量的尾气，并且有些尾气是有毒的，因此需要尾气处理器处理尾气中的有毒有害物质。并且尾气中还常含有大量粉尘颗粒（如二氧化硅），粉尘会随尾气进入尾气处理器中，并堆积在尾气处理器的排气管道中。当粉尘太多，或处理时间过长，粉尘就可能会堵塞排气管道，影响外延设备稳定生产。因此常常在工艺腔体和尾气处理器之间设置粉尘捕捉装置，通过使用粉尘捕捉装置去除尾气中的粉尘颗粒，处理后的尾气再进入尾气处理器，就不易造成尾气处理器中的排气管道的堵塞。具体的，可参阅图1所示的现有技术的泛半导体系统结构示意图，粉尘捕捉装置110连接在工艺腔体120和尾气处理器130之间，用于捕捉尾气中的粉尘颗粒。图1中的尾气处理器130处还可为真空泵。可将尾气处理器130和真空泵统称为后处理组件。
2、现有的粉尘捕捉装置详见专利文本cn2182107028u，粉尘捕捉装置运行一定时间后，粉尘捕捉装置中的过滤部件会吸附大量粉尘颗粒，需要更换过滤部件才能够保证粉尘捕捉装置对尾气的处理效率。但是，现有的粉尘捕捉装置常常是靠工作人员的经验来判断是否更换过滤部件或更换过滤部件的周期。因此现有技术存在的问题在于：更换周期过短的话，过滤部件尚能保证尾气处理效率的时候就被更换掉，增大了粉尘捕捉装置的运行成本；更换周期过长的话，过滤部件已经无法保证尾气处理效率的时候才被更换掉，影响粉尘捕捉装置对尾气的处理效率。
技术
1、本专利技术需要解决的技术问题是：如何准确的获得过滤部件粘附的粉尘颗粒是否达到设计的容许值，并且能够自动切换为中间工作模式，避免更换周期不确定导致的过滤部件的浪费或者处理效率的降低。
2、为了解决以上技术问题，本专利技术提供一种粉尘捕捉系统，其目的在于，能够具备自动准确判断粉尘捕捉装置是否需要更换过滤部件，并且能够切换为中间工作模式，保证尾气处理效率且过滤部件利用率最大化。包括：
3、三通阀，包括第一通口、第二通口及第三通口，第一通口用于连接进气管路，进气管路用于接收包括粉尘的尾气，第三通口用于连接后处理组件，三通阀工作在第一通口与第二通口相连通的状态，或者三通阀工作在第一通口与第三通口相连通的状态；
4、粉尘捕捉组件，包括粉尘捕捉装置和捕捉量测量装置，粉尘捕捉装置的进口连接三通阀的第二通口，粉尘捕捉装置的出口用于连接后处理组件，捕捉量测量装置用以检测粉尘捕捉装置的粉尘捕集量，以输出粉尘捕集量指示信号trc；
5、延时控制单元，延时控制单元连接捕捉量测量装置，接收粉尘捕集量指示信号trc和粉尘捕集量阈值信号trref，当粉尘捕集量指示信号trc大于等于粉尘捕集量阈值信号trref时，延时一延时时间ts后，输出控制信号sc给三通阀，控制信号sc控制使得三通阀工作在第一通口和第三通口相连通的状态，并且在此期间，工作人员更换粉尘捕捉装置中的过滤部件，当粉尘捕集量指示信号trc小于粉尘捕集量阈值信号trref时，三通阀工作在默认的第一通口和第二通口相连通的状态。
6、更进一步的，延时控制单元还集成有报警装置，延时控制单元在输出控制信号sc时，报警装置还发出报警信号。
7、更进一步的，延时控制单元包括时间继电器和保持继电器。
8、更进一步的，时间继电器用于接收粉尘捕集量指示信号trc和粉尘捕集量阈值信号trref，并比较粉尘捕集量指示信号trc和粉尘捕集量阈值信号trref，当粉尘捕集量指示信号trc大于等于粉尘捕集量阈值信号trref时，时间继电器延时延时时间ts后导通，并输出继电器控制信号s1给保持继电器，使得保持继电器也导通，并且保持继电器输出控制信号sc给三通阀。
9、更进一步的，时间继电器集成报警装置，当粉尘捕集量指示信号trc增大到大于等于粉尘捕集量阈值信号trref时，时间继电器延时延时时间ts后发出报警信号。
10、更进一步的，捕捉量测量装置为重量测量装置，用以测量粉尘捕捉装置的总体重量，粉尘捕集量指示信号trc为代表重量的指示信号trc1。
11、更进一步的，捕捉量测量装置为压力测量装置，用以测量进入粉尘捕捉装置的气体在进口的压力，粉尘捕集量指示信号trc为代表进口压力的指示信号trc2。
12、更进一步的，捕捉量测量装置为重量测量装置和压力测量装置，重量测量装置用以测量粉尘捕捉装置的总体重量，压力测量装置用以测量进入粉尘捕捉装置的气体在进口的压力，粉尘捕集量指示信号trc为代表进口压力的指示信号trc2和代表重量的指示信号trc1。
13、本申请还提出一种粉尘捕捉系统的工作方法，应用于一粉尘捕捉系统，其中粉尘捕捉系统包括：三通阀、粉尘捕捉组件、时间继电器和保持继电器，三通阀包括第一通口、第二通口及第三通口，第一通口用于连接进气管路，进气管路用于接收包括粉尘的尾气，第三通口用于连接后处理组件，三通阀工作在第一通口与第二通口相连通的状态，或者三通阀工作在第一通口与第三通口相连通的状态；粉尘捕捉组件包括粉尘捕捉装置和捕捉量测量装置，粉尘捕捉装置的进口连接三通阀的第二通口，粉尘捕捉装置的出口用于连接后处理组件，捕捉量测量装置用以检测粉尘捕捉装置的粉尘捕集量，以输出粉尘捕集量指示信号trc，时间继电器用于接收粉尘捕集量指示信号trc，保持继电器连接时间继电器，用于输出控制信号sc给三通阀，包括：
14、时间继电器和保持继电器工作在默认的断开状态，三通阀工作在默认的第一通口和第二通口相连通的状态，以实现粉尘捕集，随着粉尘捕捉装置捕集的粉尘量增加，捕捉量测量装置输出的粉尘捕集量指示信号trc逐渐增大；
15、当粉尘捕集量指示信号trc增大到大于粉尘捕集量阈值信号trref时，时间继电器延时延时时间ts后，输出继电器控制信号s1并发出报警信号，并且继电器控制信号s1控制保持继电器导通，并且输出控制信号sc给三通阀，控制信号sc控制使得三通阀工作在第一通口和第三通口相连通的状态，并且在此期间，更换粉尘捕捉装置中的过滤部件；
16、在更换过滤部件后，按下时间继电器、保持继电器和三通阀的复位按钮，则时间继电器和保持继电器恢复到未导通的状态，三通阀恢复到工作在第一通口和第二通口相连通的状态，以实现粉尘捕集。
17、更进一步的，粉尘捕集量指示信号trc为代表重量的粉尘捕集量指示信号trc1、代表进口压力的粉尘捕集量指示信号trc2或代表重量的粉尘捕集量指示信号trc1和代表进口压力的粉尘捕集量指示信号trc2。
18、本申请还提出一种泛半导体制造系统，包括：
19、工艺腔体，用于执行泛半导体的制造工艺，并输出包括粉尘颗粒的尾气；
20、三通阀，包括第一通口、第二通口及第三通口，第一通口通过进气管路连接工艺腔体，以接收包括粉尘颗粒的尾气，三通阀工作在第一通口与第二通口相连通的状态，或者三通阀工作在第一通本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种粉尘捕捉系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的粉尘捕捉系统，其特征在于，延时控制单元还集成有报警装置，延时控制单元在输出控制信号Sc时，报警装置还发出报警信号。
3.根据权利要求2所述的粉尘捕捉系统，其特征在于，延时控制单元包括时间继电器和保持继电器。
4.根据权利要求3所述的粉尘捕捉系统，其特征在于，时间继电器用于接收粉尘捕集量指示信号TRc和粉尘捕集量阈值信号TRref，并比较粉尘捕集量指示信号TRc和粉尘捕集量阈值信号TRref，当粉尘捕集量指示信号TRc大于等于粉尘捕集量阈值信号TRref时，时间继电器延时延时时间Ts后导通，并输出继电器控制信号S1给保持继电器，使得保持继电器也导通，并且保持继电器输出控制信号Sc给三通阀。
5.根据权利要求4所述的粉尘捕捉系统，其特征在于，时间继电器集成报警装置，当粉尘捕集量指示信号TRc增大到大于等于粉尘捕集量阈值信号TRref时，时间继电器延时延时时间Ts后发出报警信号。
6.根据权利要求5所述的粉尘捕捉系统，其特征在于，捕捉量测量装置为重量测量装置，用
7.根据权利要求5所述的粉尘捕捉系统，其特征在于，捕捉量测量装置为压力测量装置，用以测量进入粉尘捕捉装置的气体在进口的压力，粉尘捕集量指示信号TRc为代表进口压力的指示信号TRc2。
8.根据权利要求5所述的粉尘捕捉系统，其特征在于，捕捉量测量装置为重量测量装置和压力测量装置，重量测量装置用以测量粉尘捕捉装置的总体重量，压力测量装置用以测量进入粉尘捕捉装置的气体在进口的压力，粉尘捕集量指示信号TRc为代表进口压力的指示信号TRc2和代表重量的指示信号TRc1。
9.一种粉尘捕捉系统的工作方法，应用于一粉尘捕捉系统，其中粉尘捕捉系统包括：三通阀、粉尘捕捉组件、时间继电器和保持继电器，三通阀包括第一通口、第二通口及第三通口，第一通口用于连接进气管路，进气管路用于接收包括粉尘的尾气，第三通口用于连接后处理组件，三通阀工作在第一通口与第二通口相连通的状态，或者三通阀工作在第一通口与第三通口相连通的状态；粉尘捕捉组件包括粉尘捕捉装置和捕捉量测量装置，粉尘捕捉装置的进口连接三通阀的第二通口，粉尘捕捉装置的出口用于连接后处理组件，捕捉量测量装置用以检测粉尘捕捉装置的粉尘捕集量，以输出粉尘捕集量指示信号TRc，时间继电器用于接收粉尘捕集量指示信号TRc，保持继电器连接时间继电器，用于输出控制信号Sc给三通阀，其特征在于，包括：
10.根据权利要求9所述的粉尘捕捉系统的工作方法，其特征在于，粉尘捕集量指示信号TRc为代表重量的粉尘捕集量指示信号TRc1、代表进口压力的粉尘捕集量指示信号TRc2或代表重量的粉尘捕集量指示信号TRc1和代表进口压力的粉尘捕集量指示信号TRc2。
11.一种泛半导体制造系统，其特征在于，包括：
12.根据权利要求11所述的泛半导体制造系统，其特征在于，后处理组件为尾气处理器或真空泵。
13.根据权利要求11所述的泛半导体制造系统，其特征在于，当三通阀的第一通口和第二通口相连通，工艺腔体输出的包括粉尘颗粒的尾气进入粉尘捕捉组件，通过粉尘捕捉装置捕捉尾气中的粉尘颗粒；
14.根据权利要求11所述的泛半导体制造系统，其特征在于，三通阀的第三通口连通后处理组件的管路、以及粉尘捕捉装置连通后处理组件的管路上均设置有单向阀，单向阀阻止气流从后处理组件流向三通阀或粉尘捕捉装置。
...【技术特征摘要】
1.一种粉尘捕捉系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的粉尘捕捉系统，其特征在于，延时控制单元还集成有报警装置，延时控制单元在输出控制信号sc时，报警装置还发出报警信号。
3.根据权利要求2所述的粉尘捕捉系统，其特征在于，延时控制单元包括时间继电器和保持继电器。
4.根据权利要求3所述的粉尘捕捉系统，其特征在于，时间继电器用于接收粉尘捕集量指示信号trc和粉尘捕集量阈值信号trref，并比较粉尘捕集量指示信号trc和粉尘捕集量阈值信号trref，当粉尘捕集量指示信号trc大于等于粉尘捕集量阈值信号trref时，时间继电器延时延时时间ts后导通，并输出继电器控制信号s1给保持继电器，使得保持继电器也导通，并且保持继电器输出控制信号sc给三通阀。
5.根据权利要求4所述的粉尘捕捉系统，其特征在于，时间继电器集成报警装置，当粉尘捕集量指示信号trc增大到大于等于粉尘捕集量阈值信号trref时，时间继电器延时延时时间ts后发出报警信号。
6.根据权利要求5所述的粉尘捕捉系统，其特征在于，捕捉量测量装置为重量测量装置，用以测量粉尘捕捉装置的总体重量，粉尘捕集量指示信号trc为代表重量的指示信号trc1。
7.根据权利要求5所述的粉尘捕捉系统，其特征在于，捕捉量测量装置为压力测量装置，用以测量进入粉尘捕捉装置的气体在进口的压力，粉尘捕集量指示信号trc为代表进口压力的指示信号trc2。
8.根据权利要求5所述的粉尘捕捉系统，其特征在于，捕捉量测量装置为重量测量装置和压力测量装置，重量测量装置用以测量粉尘捕捉装置的总体重量，压力测量装置用以测量进入粉尘捕捉装置的气体在进口的压力，粉尘捕集量指示信号trc为代表进口压力的指示信号trc2和代...
【专利技术属性】
技术研发人员：王福清，张源源，陈佳明，
申请(专利权)人：上海协微环境科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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