一种法兰组件制造技术

本实用新型专利技术提供了一种法兰组件

【技术实现步骤摘要】
一种法兰组件、尾气处理装置及半导体制程系统


[0001]本技术涉及尾气处理
，尤其涉及一种法兰组件
、
尾气处理装置及半导体制程系统
。

技术介绍

[0002]工艺尾气含有易燃
、
有毒
、
高温室效应等物质，必须将这些有害气体无害化处理后才能排放到环境中去
。
[0003]无害化处理方法通常是将废气先在热分解腔中分解，之后在反应腔中与氧气进行反应，部分生成固体颗粒被喷淋塔捕获，部分生成可溶于水的气体被喷淋塔吸收，其余的生成无害产物排放
。
[0004]相关技术中，空气通过法兰组件进入反应腔后，会反流至反应腔顶部或热分解腔中
。
反流的空气与工艺尾气反应形成粉尘易黏附在热分解腔的上盖和底部壁面，并逐渐堆积于内腔需要经常对其进行清理维护
。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种法兰组件
、
尾气处理装置及半导体制程系统，以解决进入反应腔的空气反流至热分解腔会产生灰尘堵塞的技术问题
。
[0006]为了实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0007]第一方面，本技术实施例提供一种法兰组件，用于为尾气处理的反应腔导入空气，所述法兰组件包括进气法兰和用于将所述进气法兰的空气导向至反应腔中间区域的导向环；
[0008]所述导向环包括筒体以及位于所述筒体一端的凸缘，所述凸缘用于与所述反应腔的进气端连接，所述筒体用于延伸至所述反应腔的内部以阻挡所述进气法兰的空气反流至所述反应腔的进气端；
[0009]所述进气法兰具有与所述反应腔连通的环形气流通道，所述气流通道位于所述筒体的外侧，且靠近所述导向环的凸缘
。
[0010]根据本技术的至少一个实施方式，所述筒体为圆柱状的筒体
。
[0011]根据本技术的至少一个实施方式，所述筒体为圆锥台状的筒体，沿着所述反应腔尾气的来流方向，所述筒体的横截面逐渐减小
。
[0012]根据本技术的至少一个实施方式，所述圆锥台状的筒体的锥角小于或等于
120
°
。
[0013]根据本技术的至少一个实施方式，所述圆锥台状的筒体的锥角小于或等于
100
°
[0014]根据本技术的至少一个实施方式，所述气流通道的出口与所述凸缘之间具有第一间距，所述第一间距与所述导向环的轴向长度之比的值小于或等于
0.5。
[0015]根据本技术的至少一个实施方式，所述导向环的轴向长度为
30mm
～
200mm。
[0016]根据本技术的至少一个实施方式，沿着所述反应腔中尾气气流的方向，所述气流通道向靠近所述导向环的方向倾斜；
[0017]所述气流通道的中心轴线与所述导向环背离所述凸缘的端部不相交
。
[0018]本技术示例性实施例中提供的一个或多个技术方案中，至少可实现如下有益效果之一
。
[0019](1)
本技术示例性实施例的法兰组件用于为反应腔中导入空气以及工艺尾气，通过空气与工艺尾气的氧化进行无害化处理
。
法兰组件包括进气法兰和导向环，其中进气法兰为反应腔中提供空气，而导向环为反应腔中导入尾气并且将尾气尽量导向至反应腔的中间区域，使得尾气与空气尽量在反应腔的中间区域进行混合和反应，以达到均匀反应提高无害化的效率
。
具体地，导向环包括筒体和设在筒体一端的凸缘，凸缘用于与反应腔的进气端连接，筒体的另一端则向反应腔的中间区域进行延伸
。
由于进气法兰具有的环形气流通道位于筒体的外侧，且靠近导向环的凸缘，也即气流通道的出口在筒体背离凸缘的端部的上方
。
因此，在反应腔的进气端，也就是筒体具有凸缘的一端与环形气流通道之间被筒体隔开，从而可以防止来自气流通道的空气反流至反应腔的进气端
。
避免反应腔的进气端或者位于反应腔上方的热分解腔处生成粉尘造成堵塞
。
[0020](2)
本技术示例性实施例的法兰组件可以延长反应腔或热分解腔设备清理保养周期，降低设备清洁及维护保养成本，有助于提升生产效率和降低生产成本
。
[0021]第二方面，本技术还提供一种尾气处理装置，包括反应腔以及第一方面所述的法兰组件，所述反应腔用于将尾气与来自所述法兰组件的空气进行反应，所述导向环的凸缘
、
所述进气法兰分别与所述反应腔的进气端相连
。
[0022]根据本技术的至少一个实施方式，所述尾气处理装置还包括热分解腔，所述热分解腔通过所述导向环与所述反应腔连通
。
[0023]所述尾气处理装置相对于现有技术所具有的优势与第一方面提供的法兰组件相对于现有技术所具有的优势相同，在此不再赘述
。
[0024]第三方面，本技术还提供一种半导体制程系统，包括第二方面所述的尾气处理装置，所述尾气处理装置用于对所述半导体制程产生的废气进行无害化处理
。
[0025]所述半导体制程系统相对于现有技术所具有的优势与第一方面提供的法兰组件相对于现有技术所具有的优势相同，在此不再赘述
。
附图说明
[0026]附图示出了本技术的示例性实施方式，并与其说明一起用于解释本技术的原理，其中包括了这些附图以提供对本技术的进一步理解，并且附图包括在本说明书中并构成本说明书的一部分
。
[0027]图1是根据本技术的实施方式的法兰组件侧视结构示意图
。
[0028]图2是图1的
A
‑
A
剖面结构示意图
。
[0029]图3是根据本技术的实施方式的导向环的立体结构示意图
。
[0030]图4是根据本技术的实施方式的进气法兰的立体结构示意图
。
[0031]图5是图2的
B
部放大结构示意图
。
[0032]附图标记：
10、
法兰；
11、
腔体；
11a、
第一腔段；
11b、
狭缝；
11c、
第二腔段；
12、
通孔；
13、
气流通道；
14、
凸台；
20、
导向环；
21、
筒体；
22、
凸缘
。
具体实施方式
[0033]下面结合附图和实施方式对本技术作进一步的详细说明
。
[0034]工艺尾气进行无害化处理时，需要先在热分解腔中分解，之后在反应腔中与氧气进行反应，部分生成固体颗粒被喷淋塔捕获，部分生成可溶于水的气体被喷淋塔本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种法兰组件，其特征在于，用于为尾气处理的反应腔导入空气，所述法兰组件包括进气法兰和用于将所述进气法兰的空气导向至反应腔的中间区域的导向环；所述导向环包括筒体以及位于所述筒体一端的凸缘，所述凸缘用于与所述反应腔的进气端连接，所述筒体用于延伸至所述反应腔的内部以阻挡所述进气法兰的空气反流至所述反应腔的进气端；所述进气法兰具有与所述反应腔连通的环形气流通道，所述环形气流通道的出口位于所述筒体的外侧
。2.
根据权利要求1所述的法兰组件，其特征在于，所述筒体为圆柱状的筒体
。3.
根据权利要求1所述的法兰组件，其特征在于，所述筒体为圆锥台状的筒体，沿着所述反应腔中尾气的流动方向，所述筒体的横截面逐渐减小
。4.
根据权利要求3所述的法兰组件，其特征在于，所述圆锥台状的筒体的锥角小于或等于
120
°
。5.
根据权利要求3所述的法兰组件，其特征在于，所述圆锥台状的筒体的锥角小于或等于

【专利技术属性】
技术研发人员：叶威，杨国庆，郭潞阳，王福清，刘磊，陈佳明，
申请(专利权)人：上海协微环境科技有限公司，
类型：新型
国别省市：