一种法兰组件制造技术

本实用新型专利技术提供了一种法兰组件

【技术实现步骤摘要】
一种法兰组件、尾气处理装置及半导体制程系统


[0001]本技术涉及尾气处理
，尤其涉及一种法兰组件
、
尾气处理装置及半导体制程系统
。

技术介绍

[0002]工艺尾气含有易燃
、
有毒
、
高温室效应等物质，必须将这些有害气体无害化处理后才能排放到环境中去
。
[0003]无害化处理方法通常是将废气先在热分解腔中分解，之后在反应腔中与氧气进行反应，部分生成固体颗粒被喷淋塔捕获，部分生成可溶于水的气体被喷淋塔吸收，其余的生成无害产物排放
。
[0004]相关技术中，空气通过法兰组件进入反应腔后，会反流至反应腔顶部或热分解腔中
。
反流的空气与工艺尾气反应形成粉尘易黏附在热分解腔的上盖和底部壁面，并逐渐堆积于内腔需要经常对其进行清理维护
。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种法兰组件
、
尾气处理装置及半导体制程系统，以解决进入反应腔的空气反流至热分解腔会产生灰尘堵塞的技术问题
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种法兰组件，其特征在于，用于为尾气处理的反应腔导入空气，所述法兰组件包括进气法兰和用于将所述进气法兰的空气导向至反应腔的中间区域的导向环；所述导向环包括筒体以及位于所述筒体一端的凸缘，所述凸缘用于与所述反应腔的进气端连接，所述筒体用于延伸至所述反应腔的内部以阻挡所述进气法兰的空气反流至所述反应腔的进气端；所述进气法兰具有与所述反应腔连通的环形气流通道，所述环形气流通道的出口位于所述筒体的外侧
。2.
根据权利要求1所述的法兰组件，其特征在于，所述筒体为圆柱状的筒体
。3.
根据权利要求1所述的法兰组件，其特征在于，所述筒体为圆锥台状的筒体，沿着所述反应腔中尾气的流动方向，所述筒体的横截面逐渐减小
。4.
根据权利要求3所述的法兰组件，其特征在于，所述圆锥台状的筒体的锥角小于或等于
120
°
。5.
根据权利要求3所述的法兰组件，其特征在于，所述圆锥台状的筒体的锥角小于或等于

【专利技术属性】
技术研发人员：叶威，杨国庆，郭潞阳，王福清，刘磊，陈佳明，
申请(专利权)人：上海协微环境科技有限公司，
类型：新型
国别省市：