【技术实现步骤摘要】
本公开涉及显示装置和显示装置的制造方法。
技术介绍
1、诸如液晶显示器(lcd)或有机发光二极管(oled)显示器的显示装置包括包含能够显示图像的多个像素的显示面板。每个像素包括用于接收数据信号的像素电极，并且像素电极连接到至少一个晶体管以接收数据信号。
2、为了制造显示装置，诸如晶体管和电容器的各种电子元件和导体可通过在衬底上堆叠各种材料的多个层并且通过诸如包括使用光掩模的曝光的光刻工艺的方法图案化这些层来形成。
3、在本
技术介绍
部分中所公开的以上信息仅用于增强对本专利技术的背景的理解，并且因此，其可包含不形成在本国由本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
技术实现思路
1、包括在显示装置的像素中的电容器需要保持预定电容，并且具体地，对于具有较高分辨率的显示装置，可能难以确保具有足够容量的电容器。
2、本公开已致力于在不增加在平面视图中由包括在显示装置的像素中的电容器占据的面积的情况下确保足够的电容器容量。另外，这促进高分辨率显示装置的实现。
3、显示装置的实施方式包括：衬底；第一导电层，布置在衬底上；第一绝缘层，定位在第一导电层上并且具有形成开口的底切结构；第一电容器电极，包括形成在底切结构中的部分；第二电容器电极，包括形成在底切结构中并且与第一电容器电极重叠以形成电容器的部分；以及第二绝缘层，包括形成在底切结构中并且定位在第一电容器电极与第二电容器电极之间以用作电容器的电介质的部分。
4、底切结构可包括第一绝缘层的
5、形成在底切结构中的第一电容器电极可包括与衬底的上表面平行的第一底部分、连接到第一底部分的第一底切侧部分、以及连接到第一底切侧部分的第一底切上部分。
6、形成在底切结构中的第二电容器电极可包括面对第一底部分并且与第一底切部分重叠的第二底部分。
7、在截面视图中，第二底部分可定位在第一底部分与第一底切上部分之间。
8、第二底部分可与第一绝缘层的定位在下表面上的突出部重叠。
9、第一电容器电极还可包括连接到第一底切上部分的第一侧部分、以及连接到第一侧部分并且定位在第一绝缘层的上表面上的第一上部分。
10、第二电容器电极还可包括连接到第二底部分并且面对第一侧部分的第二侧部分、以及连接到第二侧部分并且面对第一上部分的第二上部分。
11、第一绝缘层的突出部、第一电容器电极的第一底部分、第一电容器电极的第一底切上部分、第一电容器电极的第一上部分、第二电容器电极的第二底部分和第二电容器电极的第二上部分可在与衬底的上表面垂直的方向上彼此重叠。
12、显示装置还可包括定位在衬底上的第一晶体管、第二晶体管和第三晶体管，第一电容器电极可电连接到第一晶体管的栅电极，并且第二电容器电极可电连接到第一晶体管的第一导电区和第三晶体管的第一导电区。
13、第一晶体管的第二导电区能够接收驱动电压，并且第三晶体管的第二导电区能够接收初始化电压。
14、第一导电层可包括与第一晶体管的栅电极重叠的导电图案。
15、本专利技术的实施方式提供显示装置，显示装置包括：衬底和定位在衬底上的电容器，其中电容器包括：定位在衬底上的第一导电层的第一底部分、定位在第一导电层的第一底部分上以与第一底部分重叠的第二导电层的第二底部分、定位在第二导电层的第二底部分上以与第二底部分重叠的第一导电层的底切上部分，其中在第一导电层与第二导电层之间绝缘的连续的第一绝缘层包括定位在第一导电层的第一底部分与第二导电层的第二底部分之间的部分、以及定位在第二导电层的第二底部分与第一导电层的底切上部分之间的部分，并且第一导电层的第一底部分和第一导电层的底切上部分一体地形成为一个连续的导电层。
16、第一导电层还可包括底切侧部分，该底切侧部分连接在第一导电层的第一底部分与第一导电层的底切上部分之间并且隔着第一绝缘层面对第二导电层的第二底部分的侧表面。
17、第一导电层还可包括连接到第一导电层的底切上部分并且不与衬底的上表面平行的第一侧部分，并且第二导电层还可包括连接到第二导电层的第二底部分并且隔着第一绝缘层面对第一导电层的第一侧部分的第二侧部分。
18、第一导电层还可包括连接到第一导电层的第一侧部分并且与衬底的上表面平行的第一上部分，并且第二导电层还可包括连接到第二导电层的第二侧部分并且隔着第一绝缘层面对第一导电层的第一上部分的第二上部分。
19、显示装置还可包括包含定位在第一导电层的第一上部分与底切上部分之间的突出部的第二绝缘层，并且第一导电层的底切上部分和第一上部分隔着第二绝缘层彼此面对。
20、本专利技术的实施方式提供显示装置的制造方法，该方法包括：在衬底上形成第一图案；通过在第一图案上堆叠第一绝缘层并且将第一绝缘层图案化来形成定位在第一图案上面的开口；通过经由开口去除第一图案来形成第一绝缘层的底切结构；通过在其上形成有第一绝缘层的衬底上堆叠第一导电层并且将其图案化，形成包括形成在底切结构中的部分的第一电容器电极；在其上形成有第一电容器电极的衬底上堆叠包括形成在底切结构中的部分的第二绝缘层；以及通过在其上形成有第二绝缘层的衬底上堆叠第二导电层并且将其图案化，形成包括形成在底切结构中的部分的第二电容器电极。
21、第一图案的去除可使用各向同性蚀刻。
22、第一导电层、第二绝缘层和第二导电层中的至少一个的堆叠方法可包括原子层沉积方法。
23、根据实施方式，能够在不增加在平面视图中由包括在显示装置的像素中的电容器占据的面积的情况下确保足够的电容器容量。另外，能够促进高分辨率显示装置的实现。
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1.一种显示装置，包括：
2.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述底切结构包括所述第一绝缘层的形成所述开口的第一侧表面、连接到所述第一侧表面的下表面以及连接到所述下表面的第二侧表面。
3.根据权利要求2所述的显示装置，其中，形成在所述底切结构中的所述第一电容器电极包括：
4.根据权利要求3所述的显示装置，其中，形成在所述底切结构中的所述第二电容器电极包括面对所述第一底部分并且与所述第一底部分重叠的第二底部分。
5.根据权利要求4所述的显示装置，其中，在截面视图中，所述第二底部分定位在所述第一底部分与所述第一底切上部分之间。
6.根据权利要求5所述的显示装置，其中，所述第二底部分与所述第一绝缘层的定位在所述下表面上的突出部重叠。
7.根据权利要求6所述的显示装置，其中，所述第一电容器电极还包括：
8.根据权利要求7所述的显示装置，其中，所述第二电容器电极还包括：
9.根据权利要求8所述的显示装置，其中，所述第一绝缘层的所述突出部、所述第一电容器电极的所述第一底部分、所述第一电容器电极
10.根据权利要求1所述的显示装置，还包括：
...【技术特征摘要】
1.一种显示装置，包括：
2.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述底切结构包括所述第一绝缘层的形成所述开口的第一侧表面、连接到所述第一侧表面的下表面以及连接到所述下表面的第二侧表面。
3.根据权利要求2所述的显示装置，其中，形成在所述底切结构中的所述第一电容器电极包括：
4.根据权利要求3所述的显示装置，其中，形成在所述底切结构中的所述第二电容器电极包括面对所述第一底部分并且与所述第一底部分重叠的第二底部分。
5.根据权利要求4所述的显示装置，其中，在截面视图中，所述第二底部分定位在所述第一底部分与所述第一底切上部分之间。
6.根据权利要求5所...
【专利技术属性】
技术研发人员：朴晙晳，具素英，金亨俊，朴根彻，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：
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